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公開番号2025007899
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023109615
出願日2023-07-03
発明の名称リニアモータ、ステージ装置、リソグラフィー装置および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H02P 25/064 20160101AFI20250109BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】ダイナミックブレーキのための構成を単純化するために有利な技術を提供する。
【解決手段】リニアモータは、磁石列を有する可動子と、前記可動子の可動範囲に配置された複数のコイルを含む固定子と、前記複数のコイルを駆動するドライバと前記複数のコイルのそれぞれとの間に配置された複数の選択スイッチと、前記ドライバと前記複数の選択スイッチとの間に設けられ、ブレーキ動作時に、前記複数のコイルのうち前記磁石列に対面するコイルと前記複数のコイルのうち前記磁石列に対面しないコイルとを短絡させる経路と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
磁石列を有する可動子と、前記可動子の可動範囲に配置された複数のコイルを含む固定子と、を備えるリニアモータであって、
前記複数のコイルを駆動するドライバと前記複数のコイルのそれぞれとの間に配置された複数の選択スイッチと、
前記ドライバと前記複数の選択スイッチとの間に設けられ、ブレーキ動作時に、前記複数のコイルのうち前記磁石列に対面するコイルと前記複数のコイルのうち前記磁石列に対面しないコイルとを短絡させる経路と、
を備えることを特徴とするリニアモータ。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記複数のコイルは、複数のコイル対を構成し、
各コイル対は、前記磁石列に同時に対面しない位置に配置され、前記経路を通して短絡可能な２つのコイルで構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記複数のコイル対を相互に分離する複数の分離スイッチと、を更に備え、
前記複数の分離スイッチの各々は、前記ドライバと前記複数のコイル対のうち対応するコイル対との間に配置され、
前記複数の選択スイッチの各々は、前記複数のコイルのうち対応するコイルと前記複数の分離スイッチのうちの１つの分離スイッチとの間に配置されている、
ことを特徴とする請求項２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記複数の分離スイッチは、前記複数のコイル対のそれぞれに対応する、
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記複数の分離スイッチの個数は、前記複数のコイル対の個数より１少ない、
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項６】
各コイル対を構成する２つのコイルの中心間距離は、前記ドライバによって駆動される前記複数のコイルのうち互いに隣り合うコイルの中心間距離の２倍である、
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項７】
各コイル対を構成する２つのコイルの中心間距離は、前記ドライバによって駆動される前記複数のコイルのうち互いに隣り合うコイルの中心間距離の４倍である、
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項８】
前記ドライバによって駆動される前記複数のコイルの個数は偶数であり、
各コイル対を構成する２つのコイルの中心間距離は、前記ドライバによって駆動される前記複数のコイルの個数の１／２と、前記複数のコイルのうち互いに隣り合うコイルの中心間距離と、の積と一致する、
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項９】
前記可動子を駆動する時は、前記複数の分離スイッチが導通状態にされ、かつ、前記複数の選択スイッチから選択される選択スイッチが導通状態にされ、
前記可動子を停止させる時は、前記複数の分離スイッチが非導通状態にされ、かつ、前記複数の選択スイッチが導通状態にされる、
ことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項１０】
磁石列を有する可動子と、前記可動子の可動範囲に配置された複数のコイルを含む固定子と、を備え、前記複数のコイルが、第１ドライバによって駆動される複数の第１コイルと、第２ドライバによって駆動される複数の第２コイルとを含むリニアモータであって、
前記複数の第１コイルにそれぞれ対応する複数の第１選択スイッチと、
前記複数の第２コイルにそれぞれ対応する複数の第２選択スイッチと、
前記第１ドライバと前記複数の第１選択スイッチとの間に設けられ、ブレーキ動作時に、前記複数の第１コイルのうち前記磁石列に対面する第１コイルと前記複数の第１コイルのうち前記磁石列に対面しない第１コイルとを短絡させる第１経路と、
前記第２ドライバと前記複数の第２選択スイッチとの間に設けられ、ブレーキ動作時に、前記複数の第２コイルのうち前記磁石列に対面する第２コイルと前記複数の第２コイルのうち前記磁石列に対面しない第２コイルとを短絡させる第２経路と、
を備えることを特徴とするリニアモータ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ、ステージ装置、リソグラフィー装置および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、リニアモータによって移動体を移動させるステージ装置が記載されている。このリニアモータは、固定子としての複数のコイルと、可動子としての磁石とを有し、複数のコイルのうち通電するコイルを切り替えることによってローレンツ力によって推力を発生する。このステージ装置では、互いに離れた位置に配置された一対のコイルのうち磁石に対面しているコイルをダイナミックブレーキ用コイルとして使い、他方のコイルを電流制限抵抗として使う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－２３７０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ダイナミックブレーキの動作時にダイナミックブレーキ用コイルに流れる電流を制限することによってコイルの破損を防止することができる。しかし、２つのコイルのグランド側の端子を相互に接続したり、グランドに接続したりするためには、１つのコイルに対してグランド側に２つのスイッチ（例えば、ＦＥＴ等のトランジスタ）を設ける必要がある。したがって、このような構成では、り、構成が複雑化しうる。
【０００５】
本発明は、ダイナミックブレーキのための構成を単純化するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、磁石列を有する可動子と、前記可動子の可動範囲に配置された複数のコイルを含む固定子と、を備えるリニアモータに係り、前記リニアモータは、前記複数のコイルを駆動するドライバと前記複数のコイルのそれぞれとの間に配置された複数の選択スイッチと、前記ドライバと前記複数の選択スイッチとの間に設けられ、ブレーキ動作時に、前記複数のコイルのうち前記磁石列に対面するコイルと前記複数のコイルのうち前記磁石列に対面しないコイルとを短絡させる経路と、を備えることを特徴とするリニアモータ。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ダイナミックブレーキのための構成を単純化するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態のステージ装置およびリニアモータの構成を示す斜視図。
第１施形態のステージ装置およびリニアモータの構成を示す斜視図。
図２の一部の拡大図。
第１実施形態のリニアモータの磁石アセンブリおよびコイルアセンブリの構成を示す断面図。
第１実施形態のステージ装置およびリニアモータの構成を示す上面図。
第１実施形態のリニアモータの磁石アセンブリおよびコイルアセンブリの構成を示す上面図。
第１実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成を示す図。
第１実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの動作を示す図。
第１実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの動作を示す図。
第２実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第２実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第２実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの動作を示す図。
第３実施形態のステージ装置およびリニアモータの構成を示す斜視図。
第３実施形態のステージ装置およびリニアモータの構成を示す斜視図。
第３実施形態のリニアモータの磁石アセンブリおよびコイルアセンブリの構成を示す断面図。
第３実施形態のステージ装置およびリニアモータの構成を示す上面図。
第３実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第３実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第３実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第４実施形態のリニアモータの磁石アセンブリおよびコイルアセンブリの構成を示す上面図。
第４実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第４実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの回路構成および動作を示す図。
第４実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの動作を示す図。
第４実施形態のステージ装置に組み込まれたリニアモータの動作を示す図。
一実施形態のリソグラフィー装置の構成を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
まず、図１、図２、図３、図４、図５、図６を参照しながら第１実施形態のステージ装置ＳＴの構成例を説明する。図１は、ステージ装置ＳＴの斜視図である。図２は、図１のステージ装置ＳＴから一部の構成要素を取り除いた斜視図である。図３は、図２の一部を拡大した斜視図である。図４は、コイルアセンブリ（固定子）５０５および磁石アセンブリ（可動子）５０４の構成例を示す断面図である。図５は、ステージ装置ＳＴの上面図である。図６は、コイルアセンブリ（固定子）５０５および磁石アセンブリ（可動子）５０４の構成例を示す上面図。コイルアセンブリ（固定子）５０５および磁石アセンブリ（可動子）５０４は、リニアモータを構成する。
（【００１１】以降は省略されています）

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