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公開番号2025006430
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023107222
出願日2023-06-29
発明の名称管理装置、管理方法、およびプログラム
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250109BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】多様な調整条件に対応し、かつ、調整エラーに対応して、複数の調整項目についての調整順序を効果的に計画するのに有利な技術を提供する。
【解決手段】産業機器の複数の調整項目についての調整の実施を管理する管理装置は、前記複数の調整項目が実施順序に従いリスト化された工程表を取得する取得部と、前記工程表に従う調整が実施されている間に調整エラーが発生したことに応じて、各調整項目について他の調整項目との関係に基づく実施許可条件を規定した相関情報に基づいて、前記工程表を更新する処理部とを有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
産業機器の複数の調整項目についての調整の実施を管理する管理装置であって、
前記複数の調整項目が実施順序に従いリスト化された工程表を取得する取得部と、
前記工程表に従う調整が実施されている間に調整エラーが発生したことに応じて、各調整項目について他の調整項目との関係に基づく実施許可条件を規定した相関情報に基づいて、前記工程表を更新する処理部と、
を有することを特徴とする管理装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記相関情報は、前記複数の調整項目における調整項目の組み合わせ毎に、一方の調整項目の調整の完了が他方の調整項目の調整の実施許可条件であるか否かを示す情報を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の管理装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記工程表に従う調整が実施されている間に、前記複数の調整項目のうちの第１の調整項目について調整エラーが発生したことに応じて、前記相関情報に基づいて、前記第１の調整項目の調整の完了が実施許可条件となっていない第２の調整項目を選定し、前記第２の調整項目の実施順序が前記第１の調整項目より前になるように前記工程表を更新する、ことを特徴とする請求項２に記載の管理装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記第１の調整項目の調整が行われた後、前記第１の調整項目についての性能評価値を取得し、該性能評価値が許容範囲内に収束しないと判定した場合に、前記第１の調整項目について前記調整エラーが発生したと判定する、ことを特徴とする請求項３に記載の管理装置。
【請求項５】
前記第２の調整項目が複数存在し、
前記処理部は、
前記更新された工程表に従い実施された前記複数の第２の調整項目それぞれの調整の成功率を取得し、
前記複数の第２の調整項目の実施順序が成功率の高い順に並ぶよう、前記工程表を更新する、
ことを特徴とする請求項３に記載の管理装置。
【請求項６】
前記処理部は、前記複数の調整項目のうち、作業者による手作業を伴う２つ以上の調整項目を工程段取りとして集約し、前記工程段取りの実施順序が最初になるよう、前記工程表を更新する、
ことを特徴とする請求項１に記載の管理装置。
【請求項７】
前記産業機器は、ストッカー装置から搬入された基板に原版のパターンを転写するリソグラフィ装置であり、
前記処理部は、前記ストッカー装置の基板の収納可能数を制約条件として、処理する基板の数が前記収納可能数を上回らないように、前記２つ以上の調整項目を集約する、
ことを特徴とする請求項６に記載の管理装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記工程表を作業者に提示すべく出力装置に出力するように構成され、
前記工程表は、前記２つ以上の調整項目についての各調整において使用される基板の数の情報を含む、
ことを特徴とする請求項７に記載の管理装置。
【請求項９】
前記処理部は、前記工程表に基づくガントチャートを出力装置に出力するように構成され、
前記ガントチャートは、前記工程段取りの時刻情報を含む、
ことを特徴とする請求項７に記載の管理装置。
【請求項１０】
前記リソグラフィ装置は、基板を露光することにより原版のパターンを前記基板に転写する露光装置であり、
前記複数の調整項目は、前記露光装置の照明光学系の性能調整、前記露光装置の投影光学系の結像性能調整、前記投影光学系のフォーカス調整、アライメント性能調整のうちの少なくとも１つを含む、
ことを特徴とする請求項７に記載の管理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、管理装置、管理方法、およびプログラムに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
露光装置等のリソグラフィ装置を構成する各ユニットを組み立てた後、誤差を計測し、オフセット調整を行う調整工程が実施される。そのような誤差には、ユニットの取り付け誤差、光学部品等の加工誤差、光量センサ等の部品誤差（製造ばらつき）、駆動機構のリニアリティ誤差等が含まれうる。調整工程では、性能仕様の評価値（以下「性能評価値」という。）が許容範囲内に収まるよう、誤差の計測およびオフセット調整が繰り返される。
【０００３】
従来作業者が実施していた調整工程を、自己計測機能の組み合わせを用いた自動調整に置き換えることで、調整工程のリードタイムを短縮することが提案されている。特許文献１は、作業者が選択したメンテナンス項目を実行することと、自動調整項目に対する自己計測機能を実行することとを組み合わせた方法を開示している。特許文献２は、メンテナンス項目（自動調整項目）を定期的に実施するため、メンテナンスのスケジューリング作成機能を備え、メンテナンス実施日時を移動可能にするスケジューリング方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１０－４０４７号公報
特開２００３－３３８４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、露光装置の高精度化及び顧客要求の性能仕様の多様化に伴って、作業者が行う事前準備（工程段取り作業）が複雑化している。また、性能評価値が許容範囲に収束せずに調整エラーとなって露光装置が停止する頻度が増えている。
【０００６】
露光装置毎に、多様化する作業者による事前準備（工程段取り作業）の回数を減らした自動調整の調整順序をいかに効果的に計画するかが現状の課題である。また、露光装置が調整エラーとなった場合でも、露光装置の調整エラー状態に応じた自動調整の調整順序をいかに効果的に計画するかも現状の課題である。
【０００７】
本発明は、多様な調整条件に対応し、かつ、調整エラーに対応して、複数の調整項目についての調整順序を効果的に計画するのに有利な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、産業機器の複数の調整項目についての調整の実施を管理する管理装置であって、前記複数の調整項目が実施順序に従いリスト化された工程表を取得する取得部と、前記工程表に従う調整が実施されている間に調整エラーが発生したことに応じて、各調整項目について他の調整項目との関係に基づく実施許可条件を規定した相関情報に基づいて、前記工程表を更新する処理部と、を有することを特徴とする管理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、多様な調整条件に対応し、かつ、調整エラーに対応して、複数の調整項目についての調整順序を効果的に計画するのに有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
露光装置の構成を示す図。
調整順序及び調整条件を示す工程表を例示する図。
第１の調整順序に従い更新された工程表を例示する図。
調整エラー発生後の実行可否の情報が記述された工程表を例示する図。
第１の調整順序に従い更新された工程表を例示する図。
調整順序を示すガントチャートを例示する図。
更新後のガントチャートを例示する図。
更新後のガントチャートを例示する図。
調整順序を示すダイアグラムを例示する図。
第１の調整順序に従い更新されたダイアグラムを例示する図。
調整エラー発生時のダイアグラムを例示する図。
第２の調整順序に従い更新されたダイアグラムを例示する図。
更新された第２の調整順序に従うダイアグラムを例示する図。
工程相関情報を例示する図。
第１実施形態における管理方法のフローチャート。
第２実施形態における管理方法のフローチャート。
工程相関学習表を例示する図。
成功率が反映された後の工程相関学習表を例示する図。
情報処理システムの構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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