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公開番号2024043482
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-29
出願番号2023098733
出願日2023-06-15
発明の名称液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、基板処理装置、および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B41J 2/165 20060101AFI20240322BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】液体吐出装置における液体の吐出異常の回復処理に要する時間および液体使用量の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】液体吐出装置は、駆動信号に従って液体を吐出する複数の吐出素子と、前記複数の吐出素子の各々への前記駆動信号の供給を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数の吐出素子の中から、吐出異常を有する吐出素子として、第1吐出素子と、前記第1吐出素子よりも吐出異常の度合いが低い第2吐出素子とを特定した場合、前記複数の吐出素子における吐出異常を低減させる回復処理において、第1周波数の第1駆動信号を前記第2吐出素子に供給せずに前記第1吐出素子に供給し、前記第1周波数より低い第2周波数の第2駆動信号を前記第2吐出素子に供給する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
駆動信号に従って液体を吐出する複数の吐出素子と、
前記複数の吐出素子の各々への前記駆動信号の供給を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数の吐出素子の中から、吐出異常を有する吐出素子として、第１吐出素子と、前記第１吐出素子よりも吐出異常の度合いが低い第２吐出素子とを特定した場合、前記複数の吐出素子における吐出異常を低減させる回復処理において、
第１周波数の第１駆動信号を前記第２吐出素子に供給せずに前記第１吐出素子に供給し、
前記第１周波数より低い第２周波数の第２駆動信号を前記第２吐出素子に供給する、
ことを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記回復処理において、前記第１駆動信号を前記第１吐出素子に供給した後に、前記第２駆動信号を前記第２吐出素子に供給する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記回復処理において、前記第２駆動信号を前記第１吐出素子にも供給する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記第１吐出素子は、吐出異常の度合いを示す指標が第１範囲内にある吐出素子であり、前記第２吐出素子は、前記指標が前記第１範囲より低い第２範囲内にある吐出素子である、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記第１範囲における前記指標の下限値は、前記第２範囲における前記指標の上限値より高い、ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記第１吐出素子における吐出異常の度合いは、前記第１吐出素子への前記第１駆動信号の供給により、前記指標が前記第２範囲内に遷移するように低減する、ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記第１駆動信号を前記第１吐出素子に供給することにより前記第１吐出素子の前記指標を前記第２範囲に遷移させ、その後、前記第２駆動信号を前記第１吐出素子および前記第２吐出素子に供給する、ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記第１吐出素子の前記指標が前記第２範囲に遷移するまで前記第１駆動信号を前記第１吐出素子に繰り返し供給する、ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記第１駆動信号の前記第１周波数は、前記第１吐出素子における吐出異常の度合いが低減するように事前に設定されており、
前記第２駆動信号の前記第２周波数は、前記第２吐出素子における吐出異常の度合いを低減させるように事前に設定されている、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記複数の吐出素子の各々について、吐出異常の度合いを示す指標を計測する計測部を更に備え、
前記制御部は、前記計測部の計測結果に基づいて、前記複数の吐出素子の中から、前記指標が第１範囲内にある吐出素子を前記第１吐出素子として特定し、前記指標が前記第１範囲より小さい第２範囲内にある吐出素子を前記第２吐出素子として特定する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、基板処理装置、および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、インクジェット装置を用いて機能素子の材料を基板上に付与してパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。インクジェット装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであり製造装置が比較的小型になること、大面積を高速に塗布できることなどのメリットを有している。
【０００３】
上記のインクジェット装置では、ドットパターン形成中や待機中に、流路内やノズル開口部近傍に付着した異物、インクの増粘やインク成分の沈降、電気泳動現象等により、吐出不良や品位の乱れといったトラブル（吐出異常）が発生することがある。特許文献１には、少量の予備吐から始めて、回復が確認できるまで、中量の予備吐、大量の予備吐を行う技術が開示されている。特許文献２には、記録ヘッド内の気泡を除去するために、記録ヘッドの駆動周波数を増減させながらインク排出を行うことが開示されている。特許文献３には、液滴吐出ヘッドの吐出異常の原因を特定し、特定した吐出異常の原因に応じて、フラッシング処理、ワイピング処理、ポンプ吸引処理のいずれかを液滴吐出ヘッドの回復処理として選択することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－２０１０７６号公報
特許第２６５９９５４号公報
特許第４２６９７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の回復方法では、予備吐量を変えながら回復させているだけで、回復できないノズルが発生する場合がある。特許文献２に記載の構成においては、全てのノズルに対して連続的に駆動周波数を変えながら予備吐を行うため、回復処理に長時間を要し、かつインク（液体）の消費量も多くなりうる。また、特許文献３に記載の構成においては、液滴吐出ヘッドの吐出異常の原因に応じて、フラッシング処理、ワイピング処理、ポンプ吸引処理のいずれかを回復処理として選択しているだけである。そのため、吐出異常の度合いによっては、選択された回復処理で使用されるインク（液体）の消費量が多くなりうる。
【０００６】
そこで、本発明は、液体吐出装置における液体の吐出異常の回復処理に要する時間および液体使用量の低減に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一側面としての液体吐出装置は、駆動信号に従って液体を吐出する複数の吐出素子と、前記複数の吐出素子の各々への前記駆動信号の供給を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数の吐出素子の中から、吐出異常を有する吐出素子として、第１吐出素子と、前記第１吐出素子よりも吐出異常の度合いが低い第２吐出素子とを特定した場合、前記複数の吐出素子における吐出異常を低減させる回復処理において、第１周波数の第１駆動信号を前記第２吐出素子に供給せずに前記第１吐出素子に供給し、前記第１周波数より低い第２周波数の第２駆動信号を前記第２吐出素子に供給する、ことを特徴とする。
【０００８】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、液体吐出装置における液体の吐出異常の回復処理に要する時間および液体使用量の低減に有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
インクジェット装置の構成を示す図
１つの吐出ヘッドの制御構成の例を示す図
各ノズルの回路構成例を示す図
残留信号波形と吐出異常状態との関係を説明する図
残留信号波形を用いてノズルの吐出異常状態を判定する方法を説明する図
予備吐による回復処理を説明する図
実施例１に係る回復処理を示すフローチャート
実施例２に係る回復処理を示すフローチャート
実施例２に係る回復処理を示すフローチャート
気泡の混入に起因する吐出異常が生じたときの残留信号波形を示す図
インクジェット装置の動作シーケンスを示すフローチャート
機能素子の材料の塗布の例を示す模式図
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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