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公開番号2025154628
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057738
出願日2024-03-29
発明の名称揺動装置、電磁波照射装置、及び制御装置
出願人京セラ株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20251002BHJP(光学)
要約【課題】位相のずれ及び最大駆動角度の低下が低減する。
【解決手段】揺動装置10は揺動部と検出部16と制御部17とを有する。揺動部は第1の周波数を有する駆動信号に応じて第1軸回りに揺動する。検出部16は揺動部の角度を検出する。制御部17は駆動信号の位相と揺動部の角度の位相との位相差とに基づいて駆動信号の第1の周波数を制御する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の周波数を有する駆動信号に応じて第１軸回りに揺動する揺動部と、
前記揺動部の角度を検出する検出部と、
前記駆動信号の位相と、前記揺動部の角度の位相との位相差とに基づいて、前記駆動信号の前記第１の周波数を制御する制御部と、を備える、
揺動装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
請求項１に記載の揺動装置であって、
前記制御部は、
所定期間に前記検出部が前記角度を連続して検出した、第１の時点、第２の時点、第３の時点のうち、該第１の時点から該第２の時点までの時間と、該第２の時点から第３の時点までの時間とに基づいて、前記第１軸回りに揺動する反射面の第１の角度の変化を推定し、
前記駆動信号の位相と、前記反射面の前記第１の角度の位相との位相差に基づいて、前記第１の周波数を制御する、
揺動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の揺動装置であって、
前記揺動部は、
前記第１軸と異なる第２軸回りに揺動することにより該第２軸回りの揺動における反射面の第２の角度を変化させる、
揺動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の揺動装置において、
前記揺動部は、
前記駆動信号に応じて前記第１軸回りに揺動するミラー部を有し、入射される電磁波を該ミラー部の反射面で反射し、
前記ミラー部を前記第２軸回りに揺動可能に保持する第２の保持部と、
前記第２の保持部を介して前記ミラー部を前記第１軸回りに揺動可能に保持する第１の保持部と、
前記駆動信号に応じて前記第１軸回りに前記ミラー部を共振駆動させ、前記第２軸回りに前記ミラー部を非共振駆動させる駆動部と、を有する、
揺動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の揺動装置において、
前記駆動部は、
前記第１の保持部に設置され、前記第１軸回りに前記ミラー部を揺動させる第１の駆動部と、
前記第２の保持部に設置され、前記第２軸回りに前記ミラー部を揺動させる第２の駆動部と、を含む、
揺動装置。
【請求項６】
請求項３に記載の揺動装置であって、
前記検出部は、前記第２軸回りに揺動する前記反射面の前記第２の角度を検出し、
前記制御部は、
所定範囲に含まれる前記第２の角度を連続して検出した、第１の時点、第２の時点、第３の時点のうち、該第１の時点から該第２の時点までの時間と、該第２の時点から第３の時点までの時間とに基づいて、前記第１軸回りに揺動する前記反射面の第１の角度の変化を推定し、
前記駆動信号の位相と、前記反射面の前記第１の角度の位相との位相差に基づいて、前記第１の周波数を制御する、
揺動装置。
【請求項７】
電磁波を放射する放射部と、
第１の周波数を有する駆動信号に応じて第１軸回りに揺動するミラー部を有し、前記放射部から入射される前記電磁波を該ミラー部の反射面で反射する走査部と、
前記反射面の角度を検出する検出部と、
前記第１の周波数で前記ミラー部を揺動させた駆動信号の位相と、前記反射面の角度の位相との位相差に基づいて、前記駆動信号の前記第１の周波数を制御する制御部と、を備える、
電磁波照射装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電磁波照射装置であって、
前記走査部が反射した前記電磁波が物体で反射した反射波を検出する第２の検出部を更に備える
電磁波照射装置。
【請求項９】
第１の周波数を有する駆動信号に応じて第１軸回りに揺動するミラー部を有し、入射される電磁波を該ミラー部の反射面で反射する走査部を備える揺動装置を制御する制御装置であって、
前記反射面の角度を取得し、前記第１の周波数で前記ミラー部を揺動させた駆動信号の位相と、前記反射面の角度の位相との位相差に基づいて、前記駆動信号の前記第１の周波数を制御する制御部を備える、
制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動装置、電磁波照射装置、及び制御装置に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｌｉｄａｒ等の測距装置では、ＭＥＭＳミラーを用いてビーム状の光の放射方向を変化させることにより、対象物が走査される。ＭＥＭＳミラーには、２軸回転式のミラーにおける一方の軸周りを共振周波数で揺動させることにより、走査速度及び駆動角度の拡大が図られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０４８５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、共振周波数で揺動させるように当該共振周波数と周期の同じ第１の周波数を印加していると、位相のずれ、最大駆動角度が低下することが生じていた。
【０００５】
従って、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされた本開示の目的は、位相のずれ及び最大駆動角度の低下を低減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した諸課題を解決すべく、第１の観点による揺動装置揺動装置は、
第１の周波数を有する駆動信号に応じて第１軸回りに揺動する揺動部と、
前記揺動部の角度を検出する検出部と、
前記駆動信号の位相と、前記揺動部の角度の位相との位相差とに基づいて、前記駆動信号の前記第１の周波数を制御する制御部と、を備える。
【０００７】
第２の観点による電磁波照射装置は、
電磁波を放射する放射部と、
第１の周波数を有する駆動信号に応じて第１軸回りに揺動するミラー部を有し、前記放射部から入射される前記電磁波を該ミラー部の反射面で反射する走査部と、
前記反射面の角度を検出する検出部と、
前記第１の周波数で前記ミラー部を揺動させた駆動信号の位相と、前記反射面の角度の位相との位相差に基づいて、前記駆動信号の前記第１の周波数を制御する制御部と、を備える。
【０００８】
第３の観点による制御装置は、
第１の周波数を有する駆動信号に応じて第１軸回りに揺動するミラー部を有し、入射される電磁波を該ミラー部の反射面で反射する走査部を備える揺動装置を制御する制御装置であって、
前記反射面の角度を取得し、前記第１の周波数で前記ミラー部を揺動させた駆動信号の位相と、前記反射面の角度の位相との位相差に基づいて、前記駆動信号の前記第１の周波数を制御する制御部を備える。
【発明の効果】
【０００９】
上記のように構成された本開示係る揺動装置、電磁波照射装置、及び制御装置によれば、位相のずれ及び最大駆動角度の低下が低減する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
一実施形態に係る揺動装置を含む電磁波検出装置の概略構成を示す機能ブロック図である。
図１の揺動装置の構成図である。
図２の走査部の構成図である。
図２のスリット板を検出素子側から見た図である。
第１の駆動信号による反射面の第１の回動方向に沿った揺動を説明する図である。
第２の駆動信号による反射面の第２の回動方向に沿った角度変化を説明するための図である。
検出信号の受信時に基づく第１軸及び第２軸周りの傾斜方向の算出方法を説明するための、第１の軸周りの傾斜方向と時間との関係を示すグラフである。
図２の制御部が行う周波数調整処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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