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公開番号2025167089
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024071377
出願日2024-04-25
発明の名称光学装置及び調整方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G02B 5/00 20060101AFI20251030BHJP(光学)
要約【課題】回折格子を用いた回折光における0次光を調整することができる光学装置及び調整方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る光学装置1は、直線偏光を含む照明光L1を回折する回折格子10と、回折格子10によって回折された回折光LDを含む照明光L1の少なくとも一部を透過させる調整手段20と、調整手段20を支持する支持部30と、を備え、調整手段20は、照明光L1の光軸C1及び光軸C1に平行な直線と交わる平面上に、所定方向の直線偏光以外の光の透過を制限する偏光素子を含む偏光領域23を有し、支持部30は、光軸C1が偏光領域23を通るように、且つ、偏光領域23を平面上で回転可能に、調整手段を支持する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
直線偏光を含む照明光を回折する回折格子と、
前記回折格子によって回折された回折光を含む前記照明光の少なくとも一部を透過させる調整手段と、
前記調整手段を支持する支持部と、
を備え、
前記調整手段は、前記照明光の光軸及び光軸に平行な直線と交わる平面上に、所定方向の直線偏光以外の光の透過を制限する偏光素子を含む偏光領域を有し、
前記支持部は、
前記光軸が前記偏光領域を通るように、且つ、前記偏光領域を前記平面上で回転可能に、前記調整手段を支持する、
光学装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記調整手段は、前記平面上に前記偏光領域を取り囲む透過領域をさらに有し、
前記透過領域は、前記所定方向の直線偏光以外の光を前記偏光領域よりも透過させる、
請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記回折格子と前記調整手段との間に配置されたレンズを備え、
前記調整手段は、前記レンズのフーリエ面に配置された、
請求項１または２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記支持部は、前記調整手段の位置を前記光軸の方向に変位可能に前記調整手段を支持する、
請求項１または２に記載の光学装置。
【請求項５】
前記照明光が前記回折格子及び前記調整手段を介して対象物を照明する場合に、
前記支持部は、前記対象物を照明する前記照明光に含まれた前記回折光の０次光の強度と、０次光以外の強度と、の割合が所定値となる位置で前記前記調整手段を支持する、
請求項１または２に記載の光学装置。
【請求項６】
導波管をさらに備え、
前記調整手段を透過した前記照明光の少なくとも一部の光は、前記導波管に入射する、
請求項１または２に記載の光学装置。
【請求項７】
前記光軸が通る前記偏光領域は、第１の偏光領域であり、
前記調整手段は、前記平面上の前記第１の偏光領域の周囲に、前記所定方向と異なる方向の直線偏光以外の光の透過を制限する第２の偏光領域を有する、
請求項１に記載の光学装置。
【請求項８】
前記調整手段は、前記平面内に前記第２の偏光領域を取り囲む透過領域をさらに有し、
前記透過領域は、前記所定方向の直線偏光以外の光を前記第１の偏光領域よりも透過させ、前記所定方向と異なる方向の直線偏光以外の光を前記第２の偏光領域よりも透過させる、
請求項７に記載の光学装置。
【請求項９】
直線偏光を含む照明光を回折する回折格子と、
前記回折格子によって回折された回折光を含む前記照明光の少なくとも一部を透過させる調整手段であって、前記照明光の光軸及び光軸に平行な直線と交わる平面上に、所定方向の直線偏光以外の光の透過を制限する偏光素子を含む偏光領域を有する前記調整手段と、
前記調整手段を支持する支持部と、
前記支持部の駆動を制御する制御部と、
を備えた光学装置における前記照明光の調整方法であって、
前記光軸が前記偏光領域を通るようにさせるステップと、
前記偏光領域を前記平面上で回転可能に、前記調整手段を支持させるステップと、
を備えた調整方法。
【請求項１０】
前記調整手段は、前記平面上に、前記偏光領域を取り囲む透過領域をさらに有し、
前記透過領域は、前記所定方向の直線偏光以外の光を前記偏光領域よりも透過させる、
請求項９に記載の調整方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学装置及び調整方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、回折光の０次光が高い強度分布を有することによる影響を緩和するために、照明光の回折格子による回折光のフーリエ面に、回折光の０次光を遮蔽する遮蔽部を設けることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－２８４２３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の遮蔽部は、０次光の強度をほぼゼロとするものであるところ、回折格子による回折光の０次光の強度をより柔軟に任意に調整できる等、回折光の０次光を調整できることが好ましい。
【０００５】
本開示は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、回折格子を用いた回折光における０次光を調整することができる光学装置及び調整方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態の一態様に係る光学装置は、直線偏光を含む照明光を回折する回折格子と、
前記回折格子によって回折された回折光を含む前記照明光の少なくとも一部を透過させる調整手段と、前記調整手段を支持する支持部と、を備え、前記調整手段は、前記照明光の光軸及び光軸に平行な直線と交わる平面上に、所定方向の直線偏光以外の光の透過を制限する偏光素子を含む偏光領域を有し、前記支持部は、前記光軸が前記偏光領域を通るように、且つ、前記偏光領域を前記平面上で回転可能に、前記調整手段を支持する。
【０００７】
上記の光学装置では、前記調整手段は、前記平面上に前記偏光領域を取り囲む透過領域をさらに有し、前記透過領域は、前記所定方向の直線偏光以外の光を前記偏光領域よりも透過させてもよい。
【０００８】
上記の光学装置では、前記回折格子と前記調整手段との間に配置されたレンズを備え、前記調整手段は、前記レンズのフーリエ面に配置されてもよい。
【０００９】
上記の光学装置では、前記支持部は、前記調整手段の位置を前記光軸の方向に変位可能に前記調整手段を支持させてもよい。
【００１０】
上記の光学装置では、前記照明光が前記回折格子及び前記調整手段を介して対象物を照明する場合に、
前記支持部は、前記対象物を照明する前記照明光に含まれた前記回折光の０次光の強度と、０次光以外の強度と、の割合が所定値となる位置で前記前記調整手段を支持する、させてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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