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公開番号2025031798
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2024223735,2021558029
出願日2024-12-19,2020-11-09
発明の名称表示装置
出願人株式会社半導体エネルギー研究所
代理人
主分類G09F 9/33 20060101AFI20250228BHJP(教育;暗号方法;表示;広告;シール)
要約【課題】精細度が高い表示装置を提供する。
【解決手段】トランジスタ、発光ダイオード、第1の導電層、第2の導電層、第1の絶縁層、及び、第2の絶縁層を有する表示装置である。トランジスタは、第1の導電層と電気的に接続され、第1の導電層及び第1の絶縁層は、それぞれトランジスタ上に位置する。第2の導電層は、第1の導電層上に位置する。第2の絶縁層は、第1の絶縁層上に位置する。発光ダイオードは、第2の絶縁層上の第1の電極と、第1の電極上の発光層と、発光層上の第2の電極と、を有する。第2の電極は、第2の導電層と電気的に接続される。第1の導電層の第2の導電層側の面の高さは、第1の絶縁層の第2の絶縁層側の面の高さと概略一致する。第1の絶縁層と第2の絶縁層とは、直接接合している。第2の導電層は、第2の絶縁層の開口内部に位置し、かつ、第1の導電層と電気的に接続されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
トランジスタ、発光ダイオード、第１の導電層、第２の導電層、第１の絶縁層、及び、第２の絶縁層を有し、
前記トランジスタは、前記第１の導電層と電気的に接続され、
前記第１の導電層は、前記トランジスタ上に位置し、
前記第１の絶縁層は、前記トランジスタ上に位置し、
前記第２の導電層は、前記第１の導電層上に位置し、
前記第２の絶縁層は、前記第１の絶縁層上に位置し、
前記発光ダイオードは、前記第２の絶縁層上の第１の電極と、前記第１の電極上の発光層と、前記発光層上の第２の電極と、を有し、
前記第２の電極は、前記第２の導電層と電気的に接続され、
前記第１の導電層の前記第２の導電層側の面の高さは、前記第１の絶縁層の前記第２の絶縁層側の面の高さと概略一致し、
前記第１の絶縁層と前記第２の絶縁層とは、直接接合しており、
前記第２の導電層は、前記第２の絶縁層の開口内部に位置し、かつ、前記第１の導電層と電気的に接続されている、表示装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一態様は、表示装置、表示モジュール、電子機器、及びこれらの作製方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【０００２】
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置（例えば、タッチセンサなど）、入出力装置（例えば、タッチパネルなど）、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。
【背景技術】
【０００３】
近年、マイクロ発光ダイオード（マイクロＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ））を表示デバイス（表示素子ともいう）に用いた表示装置が提案されている（例えば特許文献１）。マイクロＬＥＤを表示デバイスに用いた表示装置は、高輝度、高コントラスト、長寿命などの利点があり、次世代の表示装置として研究開発が活発である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
米国特許出願公開第２０１４／０３６７７０５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マイクロＬＥＤを表示デバイスに用いた表示装置は、ＬＥＤチップの実装にかかる時間が極めて長く、製造コストの削減が課題となっている。例えば、ピック・アンド・プレイス方式では、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のＬＥＤをそれぞれ異なるウエハ上に作製し、ＬＥＤを１つずつ切り出して回路基板に実装する。したがって、表示装置の画素数が多いほど、実装するＬＥＤの個数が増え、実装にかかる時間が長くなる。また、表示装置の精細度が高いほど、ＬＥＤの実装の難易度が高くなる。
【０００６】
本発明の一態様は、精細度が高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、解像度が高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、表示品位の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、消費電力の低い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の一とする。
【０００７】
本発明の一態様は、マイクロＬＥＤを表示デバイスに用いた表示装置の製造コストを削減することを課題の一とする。本発明の一態様は、高い歩留まりで、マイクロＬＥＤを表示デバイスに用いた表示装置を製造することを課題の一とする。
【０００８】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、トランジスタ、発光ダイオード、第１の導電層、第２の導電層、第１の絶縁層、及び、第２の絶縁層を有する表示装置である。トランジスタは、第１の導電層と電気的に接続され、第１の導電層及び第１の絶縁層は、それぞれトランジスタ上に位置する。第２の導電層は、第１の導電層上に位置する。第２の絶縁層は、第１の絶縁層上に位置する。発光ダイオードは、第２の絶縁層上の第１の電極と、第１の電極上の発光層と、発光層上の第２の電極と、を有する。第２の電極は、第２の導電層と電気的に接続される。第１の導電層の第２の導電層側の面の高さは、第１の絶縁層の第２の絶縁層側の面の高さと概略一致する。第１の絶縁層と第２の絶縁層とは、直接接合している。第２の導電層は、第２の絶縁層の開口内部に位置し、かつ、第１の導電層と電気的に接続されている。
【００１０】
本発明の一態様の表示装置は、さらに、第３の絶縁層及び第４の絶縁層を有することが好ましい。第３の絶縁層は、トランジスタと第１の絶縁層との間に位置することが好ましい。第４の絶縁層は、発光ダイオードと第２の絶縁層との間に位置することが好ましい。第１の絶縁層及び第２の絶縁層は、それぞれ、酸化シリコン膜を有することが好ましい。第３の絶縁層及び第４の絶縁層は、それぞれ、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、及び、窒化シリコン膜のうち少なくとも一つを有することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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