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公開番号2025014379
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023116882
出願日2023-07-18
発明の名称レーザ加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B23K 26/082 20140101AFI20250123BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工位置のずれを抑制することができるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】レーザ加工装置1は、保持ユニットで保持された被加工物200に集光されて照射されるレーザビーム21を発生させる発振器23と、レーザビーム21を被加工物200に対してY方向に直交するX方向に走査する走査ユニット24とを備え、走査ユニット24は、発振器23で発生されたレーザビーム21をX方向に走査するスキャナ27と、スキャナ27からのレーザビーム21が入射されてレーザビーム21を被加工物200に対して垂直にする第1レンズ28と、第1レンズ28から出射されたレーザビーム21をY方向に集光する第2レンズ29とを有し、第1レンズ28と第2レンズ29とはそれぞれX方向の長さが保持ユニットで保持される被加工物200のX方向の長さ以上に設定される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
レーザ加工装置であって、
被加工物を保持する保持ユニットと、
該保持ユニットで保持された被加工物に集光されて照射されるレーザビームを発生させる光源と、
被加工物を保持した該保持ユニットを該レーザビームの集光点に対してＹ方向に相対移動させるインデックス送りユニットと、
該光源で発生された該レーザビームを、該保持ユニットで保持された被加工物に対して該Ｙ方向に直交するＸ方向に走査する走査ユニットと、を備え、
該走査ユニットは、
該光源で発生された該レーザビームを該Ｘ方向に走査するスキャナと、
該スキャナからのレーザビームが入射されて該レーザビームを該保持ユニットで保持された被加工物に対して垂直にする曲率を該Ｘ方向に有した第１レンズと、
該第１レンズから出射されたレーザビームを該Ｙ方向に集光する曲率を該Ｙ方向に有した第２レンズと、を有し、
該第１レンズと該第２レンズとはそれぞれ該Ｘ方向の長さが該保持ユニットで保持される被加工物の該Ｘ方向の長さ以上に設定される、レーザ加工装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
該スキャナは、該光源で発生された該レーザビームを反射するミラーを複数有したポリゴンスキャナからなる、請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
該第２レンズと該保持ユニットとの間に配設され、該保持ユニットで保持された被加工物の上面で少なくとも該レーザビームが照射される領域に液体を供給する液体供給ユニットを更に備え、
該液体供給ユニットは、該第２レンズで集光されたレーザビームを透過させる透過ウィンドウと、
該Ｙ方向で該透過ウィンドウに隣接して形成された液体噴出口を有した液体供給部と、を有した請求項１または請求項２に記載のレーザ加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物にレーザビームを集光し照射しつつ被加工物を保持した保持ユニットを移動機構でレーザビームに対して加工送り方向とインデックス送り方向に相対移動させることで被加工物にレーザ加工を施す加工装置が広く利用されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－０３１８７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に示された加工装置の移動機構にはボールネジやリニアモータを利用した軸ユニットが使用されている。加工送りの移動に伴い生じる摩擦熱によって軸ユニットや集光レンズホルダの周囲が熱膨張して加工位置（レーザビームの集光点の位置）が所望の位置からずれてしまうおそれがあるため、適宜加工位置を補正しており、更なる改善が切望されている。
【０００５】
本発明は、加工位置のずれを抑制することができるレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のレーザ加工装置は、レーザ加工装置であって、被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物に集光されて照射されるレーザビームを発生させる光源と、被加工物を保持した該保持ユニットを該レーザビームの集光点に対してＹ方向に相対移動させるインデックス送りユニットと、該光源で発生された該レーザビームを、該保持ユニットで保持された被加工物に対して該Ｙ方向に直交するＸ方向に走査する走査ユニットと、を備え、該走査ユニットは、該光源で発生された該レーザビームを該Ｘ方向に走査するスキャナと、該スキャナからのレーザビームが入射されて該レーザビームを該保持ユニットで保持された被加工物に対して垂直にする曲率を該Ｘ方向に有した第１レンズと、該第１レンズから出射されたレーザビームを該Ｙ方向に集光する曲率を該Ｙ方向に有した第２レンズと、を有し、該第１レンズと該第２レンズとはそれぞれ該Ｘ方向の長さが該保持ユニットで保持される被加工物の該Ｘ方向の長さ以上に設定されることを特徴とする。
【０００７】
前記レーザ加工装置では、該スキャナは、該光源で発生された該レーザビームを反射するミラーを複数有したポリゴンスキャナからなっても良い。
【０００８】
前記レーザ加工装置では、該第２レンズと該保持ユニットとの間に配設され、該保持ユニットで保持された被加工物の上面で少なくとも該レーザビームが照射される領域に液体を供給する液体供給ユニットを更に備え、該液体供給ユニットは、該第２レンズで集光されたレーザビームを透過させる透過ウィンドウと、該Ｙ方向で該透過ウィンドウに隣接して形成された液体噴出口を有した液体供給部と、を有しても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、加工位置のずれを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態１に係るレーザ加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
図２は、実施形態１に係るレーザ加工装置の加工対象のウェーハを模式的に示す斜視図である。
図３は、図１に示されたレーザ加工装置の他の斜視図である。
図４は、図１に示されたレーザ加工装置のレーザビーム照射ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。
図５は、図４に示されたレーザビーム照射ユニットの第１レンズ等を模式的に示す斜視図である。
図６は、図４に示されたレーザビーム照射ユニットの第２レンズ等を模式的に示す斜視図である。
図７は、実施形態２に係るレーザ加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
図８は、図７に示されたレーザ加工装置の他の斜視図である。
図９は、図７に示されたレーザ加工装置の液体供給ユニット等の構成を模式的に一部断面で示す側面図である。
図１０は、図９に示された液体供給ユニットを下方からみた平面図である。
図１１は、図７に示されたレーザ加工装置の過加工中の状態を模式的に一部断面で示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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