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公開番号
2025002716
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-01-09
出願番号
2023103051
出願日
2023-06-23
発明の名称
位置合わせ用治具及び位置合わせ方法
出願人
株式会社ディスコ
代理人
個人
,
個人
,
個人
,
個人
,
個人
,
個人
主分類
B24B
41/06 20120101AFI20241226BHJP(研削;研磨)
要約
【課題】チャックテーブルの位置と支持ベースとの位置とを簡単に合わせることができるチャックテーブルの位置合わせ用治具を提供する。
【解決手段】使用時にチャックテーブルの上面に対向させる第1面を有する板状の本体部と、該本体部の外周よりも外側に設けられ、2以上の該締結穴に対応する位置に複数の貫通穴を有する取付部と、該本体部の該第1面から突出するように設けられ、該本体部の中央側に配置される側面が、該第1面から離れるにつれて該本体部の該外周側へと向かうように傾斜している突起部と、を備え、該第1面を該チャックテーブルに対向させた状態で、該貫通穴と該締結具挿入穴とを通じて位置合わせ用締結具が該締結穴に締結されると、該突起部の該側面が該チャックテーブルに押し当てられ、該支持ベースに対する該チャックテーブルの位置が調整される。
【選択図】図10
特許請求の範囲
【請求項1】
それぞれに締結具が締結される複数の締結穴を上面側に有する支持ベースに対して、複数の該締結穴に対応する位置に該締結具が挿入される複数の締結具挿入穴を有するチャックテーブルの位置を合わせるための位置合わせ用治具であって、
使用時に該チャックテーブルの上面に対向させる第1面を有する板状の本体部と、
該本体部の外周よりも外側に設けられ、複数の該締結穴のいずれか2以上に対応する位置に貫通穴を有する取付部と、
該本体部の該第1面から突出するように設けられ、該本体部の中央側に配置される側面が、該第1面から離れるにつれて該本体部の該外周側へと向かうように傾斜している突起部と、を備え、
該第1面を該チャックテーブルに対向させた状態で、該貫通穴と該締結具挿入穴とを通じて位置合わせ用締結具が該締結穴に締結されると、該突起部の該側面が該チャックテーブルに押し当てられ、該支持ベースに対する該チャックテーブルの位置が調整される位置合わせ用治具。
続きを表示(約 780 文字)
【請求項2】
該第1面上の基準となる点から等しい距離の位置に設けられた複数の該突起部を有する請求項1に記載の位置合わせ用治具。
【請求項3】
該第1面上の基準となる点を中心とする円周に沿って設けられた環状の該突起部を有する請求項1に載の位置合わせ用治具。
【請求項4】
請求項1から請求項3のいずれかに記載の該位置合わせ用治具を用いて、該支持ベースに対して該チャックテーブルの位置を合わせる位置合わせ方法であって、
該支持ベースの該上面側に該チャックテーブルを配置し、該チャックテーブルの該上面側に該位置合わせ用治具を配置する配置ステップと、
該貫通穴を通じて該締結具挿入穴に位置合わせ用締結具を挿入する挿入ステップと、
該貫通穴を通じて該締結具挿入穴に挿入された状態の該位置合わせ用締結具を該締結穴に締結することにより、該突起部の該側面を該チャックテーブルに押し当て、該支持ベースに対する該チャックテーブルの位置を調整する位置合わせステップと、を含む位置合わせ方法。
【請求項5】
該位置合わせステップの後に、該位置合わせ用締結具が挿入されていない該締結具挿入穴を通じて該締結穴に固定用締結具を締結する第1締結ステップを更に含む請求項4に記載の位置合わせ方法。
【請求項6】
該位置合わせステップの後に、該位置合わせ用締結具を該締結穴から取り外し、該位置合わせ用治具を該チャックテーブルの上面から取り外す取り外しステップを更に含む請求項5に記載の位置合わせ方法。
【請求項7】
該取り外しステップの後に、該位置合わせ用締結具が挿入されていた該締結具挿入穴を通じて該締結穴に固定用締結具を締結する第2締結ステップを更に有する請求項6に記載の位置合わせ方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、チャックテーブルと支持ベースとの位置を合わせるための位置合わせ用治具及び位置合わせ方法に関する。
続きを表示(約 1,900 文字)
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスの製造プロセスでは、ウェーハの表面に複数のストリートが格子状に設定され、この複数のストリートによって区画された複数の領域のそれぞれに、IC(Integrated Circuit)等のデバイスが形成される。このウェーハは、例えば、研削装置等により裏面側を研削されて所定の厚さへ薄化された後、切削装置等によりストリートで切削され、個々の領域に分割される。これにより、それぞれがデバイスを有する複数の半導体デバイスチップが製造される。
【0003】
上述した研削及び切削において、ウェーハは、チャックテーブルに保持された状態で加工される。チャックテーブルとして、例えば、特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1には、支持ベースの上面に固定されたチャックテーブルが記載されている。この支持ベースは、回転軸に接続されており、回転軸に接続されたモーターにより回転軸を回転駆動させることにより、支持ベースとともにチャックテーブルが回転軸の軸心(中心線)の周りに回転する。
【0004】
ウェーハは、チャックテーブルの上面側に設けられている保持面(吸引面)により保持される。チャックテーブル及び支持ベースの内部には、吸引路が設けられており、この吸引路がチャックテーブルの保持面と真空ポンプ等の吸引源とを接続している。吸引源により発生する負圧が、吸引路を介して保持面に伝達されることで、保持面に配置されたウェーハが吸引され、保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特開2023-58925号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、チャックテーブルの中心(重心)の位置が、例えば、支持ベースの中心(重心)を通る回転軸の軸心の延長上にない場合には、チャックテーブル及び支持ベースを回転させる際に加工装置が振動し、ウェーハが適切に加工されない可能性がある。また、この場合に、チャックテーブルを回転させる必要のあるウェーハの研削では、ウェーハの被研削面に沿う方向での研削によるウェーハの除去量(研削体積)が目標とする除去量からずれ、被研削面に沿う方向でウェーハの厚さがばらついてしまう。
【0007】
更に、この場合には、チャックテーブルの保持面からずれた位置にウェーハが載せられてしまうことがある。その結果、ウェーハとチャックテーブルの保持面との隙間から吸引源の負圧がリークし、ウェーハの吸着不良が発生する。このように、ウェーハが十分に吸着されないと、ウェーハが部分的にチャックテーブルから浮き上がって、例えば、ウェーハを研削する際に、ウェーハにチッピングや欠けが発生する恐れがある。
【0008】
上述のような問題を解消するために、例えば、支持ベースにチャックテーブルを固定する際には、チャックテーブルの中心(重心)の位置を支持ベースの中心(重心)を通る回転軸の軸心に合わせる作業(中心出し)が実施されている。一方で、この作業は、オペレータの経験等に基づきマニュアルで行われるので、作業の完了までに長い時間を要し、結果として、加工装置の稼働時間が必ずしも最大化されないという問題を発生させていた。
【0009】
よって、本発明の目的は、チャックテーブルの位置と支持ベースの位置とを簡単に合わせることができるチャックテーブルの位置合わせ用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一側面によれば、それぞれに締結具が締結される複数の締結穴を上面側に有する支持ベースに対して、複数の該締結穴に対応する位置に該締結具が挿入される複数の締結具挿入穴を有するチャックテーブルの位置を合わせるための位置合わせ用治具であって、使用時に該チャックテーブルの上面に対向させる第1面を有する板状の本体部と、該本体部の外周よりも外側に設けられ、複数の該締結穴のいずれか2以上に対応する位置に貫通穴を有する取付部と、該本体部の該第1面から突出するように設けられ、該本体部の中央側に配置される側面が、該第1面から離れるにつれて該本体部の該外周側へと向かうように傾斜している突起部と、を備え、該第1面を該チャックテーブルに対向させた状態で、該貫通穴と該締結具挿入穴とを通じて位置合わせ用締結具が該締結穴に締結されると、該突起部の該側面が該チャックテーブルに押し当てられ、該支持ベースに対する該チャックテーブルの位置が調整される位置合わせ用治具が提供される。
(【0011】以降は省略されています)
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