特許ウォッチ

公開番号2024176442
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023094977
出願日2023-06-08
発明の名称被加工物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20241212BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】実際に加工する被加工物において複数回のヘアライン合わせや加工の蛇行のチェックを実施できる被加工物の加工方法を提供する事。
【解決手段】被加工物の加工方法は、外周余剰領域に位置合わせ溝を形成する溝形成ステップ1001と、位置合わせ溝に撮像ユニットの基準線を合わせ、位置合わせ溝と基準線との距離を登録する距離登録ステップ1002と、位置合わせ溝のY方向の振れ量を検出する蛇行検出ステップ1003と、保持テーブルを回転させて、異なる外周余剰領域で、距離登録ステップ1002で登録した距離及び蛇行検出ステップ1003で検出した振れ量を確認する距離蛇行確認ステップ1004と、被加工物の分割予定ラインを加工すべき位置に設定する加工位置設定ステップ1005と、加工位置設定ステップ1005の後、被加工物を分割予定ラインに沿って加工する加工ステップ1006と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持した被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルと該加工ユニットとをＹ方向及び該Ｙ方向と直交するＸ方向に相対移動させる移動ユニットと、
該加工ユニットの位置合わせ用の基準線がＸ方向に形成された光学系を有し被加工物を撮像する撮像ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、
を備えた加工装置を用いた被加工物の加工方法であって、
該保持テーブルに保持された被加工物の外周余剰領域に位置合わせ溝を形成する溝形成ステップと、
該位置合わせ溝に該撮像ユニットの該基準線を合わせ、該位置合わせ溝と該基準線との距離を登録する距離登録ステップと、
該位置合わせ溝のＹ方向の振れ量を検出する蛇行検出ステップと、
該保持テーブルを回転させて、異なる外周余剰領域で、位置合わせ溝を形成し、該位置合わせ溝に該撮像ユニットの該基準線を合わせて該位置合わせ溝と該基準線との距離を算出して該距離登録ステップで登録した距離を確認するとともに該位置合わせ溝のＹ方向の振れ量を検出することで、該蛇行検出ステップで検出した振れ量を確認する距離蛇行確認ステップと、
該被加工物に設定された分割予定ラインに該基準線を合わせ、加工すべき位置を設定する加工位置設定ステップと、
該加工位置設定ステップで設定された位置から該距離の分だけ補正した位置に該加工ユニットを位置付け、被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ステップと、を備え、
該距離蛇行確認ステップは、１回または複数回実施される事を特徴とする被加工物の加工方法。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
該溝形成ステップは、被加工物を完全に分割しない深さに該位置合わせ溝を形成する請求項１に記載の被加工物の加工方法。
【請求項３】
該加工ユニットは、スピンドルの先端に固定された切削ブレードである請求項１または２に記載の被加工物の加工方法。
【請求項４】
該加工ユニットは、第１スピンドルの先端に固定された第１切削ブレードと、第２スピンドルの先端に固定された第２切削ブレードと、を有し、
該第１切削ブレードと、該第２切削ブレードと、のそれぞれにおいて、該溝形成ステップと、該距離登録ステップと、該蛇行検出ステップと、該距離蛇行確認ステップと、を実施する事を特徴とする請求項１または２に記載の被加工物の加工方法。
【請求項５】
該加工ユニットは、レーザ光線を発振するレーザ光線発振器と、該レーザ光線を集光する集光レンズを含む光学系と、を含むレーザ光線照射ユニットである事を特徴とする請求項１に記載の被加工物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物に加工溝を形成する加工に際しては、事前に加工装置に搭載されたカメラ等の撮像ユニットの基準線と被加工物を加工する加工ユニットによる加工位置とを合わせる作業であるいわゆるヘアライン合わせを実施することが知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
このヘアライン合わせ作業は、具体的には、一度加工ユニットにて被加工物を加工して加工溝を形成し、この加工溝を撮像して画像処理を行ってこの加工溝の幅方向中央を検出し、この加工溝の幅方向中央の位置とカメラの基準線位置とのずれ量を算出し、このずれ量を座標位置に加減することにより、加工溝の幅方向中央の位置とカメラの基準線位置とを合致させた補正位置を装置に記憶させることで行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６６００２６７号公報
特許第６０３７７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなヘアライン合わせを確認のため二度行いたい場合もあるが、被加工物の外周領域にはヘアライン合わせを実施する十分なスペースがないという問題があった。特に、ヘアライン合わせとともに加工の蛇行を検出する場合には、加工溝の長さが長い方が好ましいため、スペースの確保がより困難であるという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、実際に加工する被加工物において複数回のヘアライン合わせや加工の蛇行のチェックを実施できる被加工物の加工方法を提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の加工方法は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持した被加工物を加工する加工ユニットと、該保持テーブルと該加工ユニットとをＹ方向及び該Ｙ方向と直交するＸ方向に相対移動させる移動ユニットと、該加工ユニットの位置合わせ用の基準線がＸ方向に形成された光学系を有し被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備えた加工装置を用いた被加工物の加工方法であって、該保持テーブルに保持された被加工物の外周余剰領域に位置合わせ溝を形成する溝形成ステップと、該位置合わせ溝に該撮像ユニットの該基準線を合わせ、該位置合わせ溝と該基準線との距離を登録する距離登録ステップと、該位置合わせ溝のＹ方向の振れ量を検出する蛇行検出ステップと、該保持テーブルを回転させて、異なる外周余剰領域で、位置合わせ溝を形成し、該位置合わせ溝に該撮像ユニットの該基準線を合わせて該位置合わせ溝と該基準線との距離を算出して該距離登録ステップで登録した距離を確認するとともに該位置合わせ溝のＹ方向の振れ量を検出することで、該蛇行検出ステップで検出した振れ量を確認する距離蛇行確認ステップと、該被加工物に設定された分割予定ラインに該基準線を合わせ、加工すべき位置を設定する加工位置設定ステップと、該加工位置設定ステップで設定された位置から該距離の分だけ補正した位置に該加工ユニットを位置付け、被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ステップと、を備え、該距離蛇行確認ステップは、１回または複数回実施される事を特徴とする。
【０００８】
該溝形成ステップは、被加工物を完全に分割しない深さに該位置合わせ溝を形成してもよい。
【０００９】
該加工ユニットは、スピンドルの先端に固定された切削ブレードであってもよい。
【００１０】
該加工ユニットは、第１スピンドルの先端に固定された第１切削ブレードと、第２スピンドルの先端に固定された第２切削ブレードと、を有し、該第１切削ブレードと、該第２切削ブレードと、のそれぞれにおいて、該溝形成ステップと、該距離登録ステップと、該蛇行検出ステップと、該距離蛇行確認ステップと、を実施してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許