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公開番号2024176207
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023094582
出願日2023-06-08
発明の名称アライメント方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20241212BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】アライメントエラーを防止することができるアライメント方法を提供すること。
【解決手段】アライメント方法1000は、第1ワークを撮像して取得された基準画像において、デバイス領域に形成された任意のパターンをターゲットとして記憶するターゲット記憶ステップ1100と、基準画像の輝度を基準輝度として記憶する基準輝度記憶ステップ1200と、ターゲット記憶ステップ1100が実施された第1ワークと異なる第2ワークを撮像してアライメント画像を取得するアライメント画像取得ステップ1300と、アライメント画像の輝度が基準輝度に近くなるように第2ワークを照射する光量を調整する光量調整ステップ1400と、再度、第2ワークを撮像し調整済アライメント画像を取得する調整済アライメント画像取得ステップ1500と、調整済アライメント画像から画像処理によってターゲットを検出するターゲット検出ステップ1600と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
一方の面に複数の分割予定ラインによって区画された複数のデバイス領域が形成されたワークのアライメント方法であって、
第1ワークを撮像して取得された基準画像において、該デバイス領域に形成された任意のパターンをターゲットとして記憶するターゲット記憶ステップと、
該基準画像の輝度を基準輝度として記憶する基準輝度記憶ステップと、
該ターゲット記憶ステップが実施された該第1ワークと異なる第2ワークを撮像してアライメント画像を取得するアライメント画像取得ステップと、
該アライメント画像の輝度が該基準輝度に近くなるように該第2ワークを照射する光量を調整する光量調整ステップと、
該光量調整ステップの後に、再度、該第2ワークを撮像し調整済アライメント画像を取得する調整済アライメント画像取得ステップと、
該調整済アライメント画像から画像処理によって該ターゲットを検出するターゲット検出ステップと、
を備えることを特徴とするアライメント方法。
続きを表示(約 450 文字)【請求項2】
該アライメント画像の輝度と、該調整済アライメント画像を取得した際の光量条件と、を紐付けてデータベースに登録し、
該光量調整ステップは、
該データベースを参照して、該アライメント画像の輝度に応じた該光量条件に該光量を調整する請求項1に記載のアライメント方法。
【請求項3】
該ターゲットをもとに該分割予定ラインの位置を特定する分割予定ライン検出ステップをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のアライメント方法。
【請求項4】
該ターゲット検出ステップは、X軸方向に移動する保持テーブルが保持する該ワークの複数の該デバイス領域のうちの少なくとも2箇所で該ターゲットを検出し、
少なくとも2箇所で検出された該ターゲットの角度がそろうよう該保持テーブルを回転させ、該保持テーブルをX方向に加工送りする加工送りユニットと該分割予定ラインとの向きをそろえる向き回転ステップをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のアライメント方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、アライメント方法に関する。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
切削装置やレーザ加工装置等の加工装置ではパターンマッチングを利用したアライメントを行い、被加工物の加工予定ラインと加工ユニットとを整列させている。特許文献1には、入力手段によって入力された加工条件および撮像手段によって撮像された切削溝の状態に基づいて切削溝が適正でないと判定した場合には、撮像手段の光照射器の光量を所定範囲において調整しつつ切削溝が適正か否かを判定し、切削溝が適正であると判定した場合には適正であると判定したときに撮像した光量を修正光量として変更する切削装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特許第5389580号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
被加工物(ワーク)のデバイスが形成されている側に膜が積層されている場合、膜の厚みが均一に形成されていないと、同一の光量条件でワークに光を照射しても撮像する箇所によって取得する画像の輝度が異なる。そのため、ワークの量産中のアライメント時に、画像の輝度の違いの為にターゲットを検出できず、アライメントエラーが発生することがある。従来は、アライメントエラーが発生すると、オペレータがマニュアル操作で光量を調整し、アライメント動作を行っている。
【0005】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、アライメントエラーを防止することができるアライメント方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のアライメント方法は、一方の面に複数の分割予定ラインによって区画された複数のデバイス領域が形成されたワークのアライメント方法であって、第1ワークを撮像して取得された基準画像において、該デバイス領域に形成された任意のパターンをターゲットとして記憶するターゲット記憶ステップと、該基準画像の輝度を基準輝度として記憶する基準輝度記憶ステップと、該ターゲット記憶ステップが実施された該第1ワークと異なる第2ワークを撮像してアライメント画像を取得するアライメント画像取得ステップと、該アライメント画像の輝度が該基準輝度に近くなるように該第2ワークを照射する光量を調整する光量調整ステップと、該光量調整ステップの後に、再度、該第2ワークを撮像し調整済アライメント画像を取得する調整済アライメント画像取得ステップと、該調整済アライメント画像から画像処理によって該ターゲットを検出するターゲット検出ステップと、を備えることを特徴とする。
【0007】
前記アライメント方法において、該アライメント画像の輝度と、該調整済アライメント画像を取得した際の光量条件と、を紐付けてデータベースに登録し、該光量調整ステップは、該データベースを参照して、該アライメント画像の輝度に応じた該光量条件に該光量を調整してもよい。
【0008】
前記アライメント方法において、該ターゲットをもとに該分割予定ラインの位置を特定する分割予定ライン検出ステップをさらに備えてもよい。
【0009】
前記アライメント方法において、該ターゲット検出ステップは、X軸方向に移動する保持テーブルが保持する該ワークの複数の該デバイス領域のうちの少なくとも2箇所で該ターゲットを検出し、少なくとも2箇所で検出された該ターゲットの角度がそろうよう該保持テーブルを回転させ、該保持テーブルをX方向に加工送りする加工送りユニットと該分割予定ラインとの向きをそろえる向き回転ステップをさらに備えてもよい。
【発明の効果】
【0010】
本願発明は、アライメントエラーを防止することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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