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公開番号2024173241
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023091538
出願日2023-06-02
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241205BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持する対象物の温度を精度よく測定できる保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、保持面11と、保持面11とは反対側に設けられる下図12と、を備える板状部材10を有し、板状部材10は、保持面11に凸部14を備え、凸部14にて半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、板状部材10は、内部にチャック電極51と第1測温抵抗体61を備え、第1測温抵抗体61は、チャック電極51よりも保持面11側の位置であって、かつ、保持面11側から見たときに凸部14と重なる位置に配置されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、を備える板状部材を有し、
前記板状部材は、前記第１の面に凸部を備え、
前記凸部にて対象物を保持する
保持装置において、
前記板状部材は、内部にチャック電極と第１測温抵抗体を備え、
前記第１測温抵抗体は、前記チャック電極よりも前記第１の面側の位置であって、かつ、前記第１の面側から見たときに前記凸部と重なる位置に配置されていること、
を特徴とする保持装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
請求項１の保持装置において、
前記板状部材は、前記第１測温抵抗体よりも前記第２の面側の位置に配置され、かつ、前記第１測温抵抗体に接続する第２測温抵抗体を備えていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項２の保持装置において、
前記第２測温抵抗体は、前記板状部材の厚み方向について前記チャック電極と同じ位置または略同じ位置、あるいは、前記チャック電極よりも前記第１の面側の位置に配置されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項２または３の保持装置において、
前記板状部材は、円盤状に形成されており、
前記板状部材の内径側に、前記第１測温抵抗体のみで構成される１層構造の測温抵抗体部が配置されており、
前記板状部材の外径側に、前記第１測温抵抗体と前記第２測温抵抗体で構成される２層構造の測温抵抗体部が配置されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項１または２の保持装置において、
前記第１測温抵抗体は、前記凸部の内部に配置されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項６】
請求項１または２の保持装置において、
前記板状部材は、前記チャック電極よりも前記第２の面側の位置にヒータ電極を備えること、
を特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、載置台本体の基板載置面側に形成される凸部の間の凹部の表面に熱電対を設け、この熱電対により基板載置面近傍の温度を検出する基板載置台（保持装置）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１７８０６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される基板載置台において、熱電対は、基板載置面近傍の温度を検出するものであり、基板（対象物）が載置される凸部から離れた位置に設けられている。そのため、特許文献１に開示される熱電対は、凸部の上に保持する基板から離れているので、基板の温度を精度よく測定できないおそれがある。
【０００５】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、保持する対象物の温度を精度よく測定できる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、第１の面と、前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、を備える板状部材を有し、前記板状部材は、前記第１の面に凸部を備え、前記凸部にて対象物を保持する保持装置において、前記板状部材は、内部にチャック電極と第１測温抵抗体を備え、前記第１測温抵抗体は、前記チャック電極よりも前記第１の面側の位置であって、かつ、前記第１の面側から見たときに前記凸部と重なる位置に配置されていること、を特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、第１測温抵抗体を凸部に保持される対象物に近づけることができる。そのため、対象物の近くで第１測温抵抗体による温度測定ができる。したがって、保持する対象物の温度を精度よく測定できる。
【０００８】
上記の態様においては、前記板状部材は、前記第１測温抵抗体よりも前記第２の面側の位置に配置され、かつ、前記第１測温抵抗体に接続する第２測温抵抗体を備えていること、が好ましい。
【０００９】
この態様によれば、２つの測温抵抗体を用いることにより、測定できる抵抗値の範囲を拡げることができる。そのため、保持する対象物の温度をさらに精度よく測定できる。
【００１０】
上記の態様においては、前記第２測温抵抗体は、前記板状部材の厚み方向について前記チャック電極と同じ位置または略同じ位置、あるいは、前記チャック電極よりも前記第１の面側の位置に配置されていること、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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