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公開番号2025025801
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2023130929
出願日2023-08-10
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250214BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持面において任意の領域ごとに静電引力の大きさを制御することができる保持部材を提供すること。
【解決手段】保持面11と、厚み方向(X軸方向)にて保持面11とは反対側に設けられる下面12と、保持面11と下面12の間に配置されるチャック電極50とを備え、保持面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、チャック電極50は、2以上に分割されて、厚み方向視で重なり合わないように配置される第1チャック電極51と、第1チャック電極51よりも下面12側で、厚み方向視で第1チャック電極51が配置されていない領域に少なくとも配置される第2チャック電極52と、を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されるチャック電極とを備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持部材において、
前記チャック電極は、
２以上に分割されて、前記厚み方向視で重なり合わないように配置される第１チャック電極と、
前記第１チャック電極よりも前記第２の面側で、前記厚み方向視で前記第１チャック電極が配置されていない領域に少なくとも配置される第２チャック電極と、を有する
ことを特徴とする保持部材。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持部材において、
前記第１チャック電極は、多数に細分化されている
ことを特徴とする保持部材。
【請求項３】
請求項１に記載する保持部材において、
前記第１チャック電極は、前記厚み方向における位置が異なる箇所に配置されている
ことを特徴とする保持部材。
【請求項４】
請求項１から請求項３に記載するいずれか１つの保持部材において、
前記第１チャック電極のうち外周側に配置されるものは、最も前記第１の面側に位置する
ことを特徴とする保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持部材に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、半導体ウエハを保持するために、静電チャック（保持部材）が使用されている。この静電チャックは、静電引力を発生させて保持面に半導体ウエハを保持するようになっている。そして、静電チャックに対して、保持面において静電引力を均一に発生させて半導体ウエハの吸着力が面内で局所的にばらつかないようにすることが要求されている。
【０００３】
そのため、例えば、特許文献１に記載された静電チャックでは、細部化されたピクセル電極を設けている。そして、この静電チャックでは、各ピクセル電極のＯＮ－ＯＦＦを制御することにより、保持面において静電引力を均一に発生させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６１２６７４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の静電チャックでは、ピクセル電極とピクセル電極との間に隙間があり、その隙間つまり電極が配置されていない領域において静電引力が発生しない。ここで、静電チャックに保持した半導体ウエハに対してプロセス処理が実施されている際、半導体ウエハが部分的に（例えば外周部分が）反ってしまうことがある。このように半導体ウエハが反った状態では、プロセス処理を精度よく行うことができないおそれがある。
【０００６】
そして、上記の静電チャックにおいて、ピクセル電極間の隙間の直上領域付近で半導体ウエハに反りが生じてしまうと、その領域付近では他の領域に比べて静電引力が弱いため、半導体ウエハの反りを抑制することができない。また、近年、半導体ウエハの形状が複雑化しており、局所的に静電引力を他の部分よりも強くしたいという要望もある。
【０００７】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、保持面において任意の領域ごとに静電引力の大きさを制御することができる保持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されるチャック電極とを備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持部材において、
前記チャック電極は、
２以上に分割されて、前記厚み方向視で重なり合わないように配置される第１チャック電極と、
前記第１チャック電極よりも前記第２の面側で、前記厚み方向視で前記第１チャック電極が配置されていない領域に少なくとも配置される第２チャック電極と、を有することを特徴とする。
【０００９】
この保持装置では、チャック電極が、第１の面側に配置される第１チャック電極と、第２の面側に配置される第２チャック電極とを備えている。そのため、第１チャック電極が発生する静電引力が、第２チャック電極が発生する静電引力よりも大きくなる。
【００１０】
ここで、第１チャック電極は、２以上（複数）に分割されて、厚み方向視で重なり合わないように配置されている。そして、厚み方向視で第１チャック電極が配置されていない領域（つまり第１チャック電極間）には、第２チャック電極が配置されている。なお、第２チャック電極を、厚み方向視で第１チャック電極と重なるように配置することにより、第１チャック電極の直上付近における静電引力をより強くすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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