特許ウォッチ

公開番号2024168275
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023084808
出願日2023-05-23
発明の名称ワーク測定装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241128BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】矩形ワークをチャックテーブルの保持面に保持させる前に、該矩形ワークの隣接する2辺の長さを測定することができるワーク測定装置を提供すること。
【解決手段】ワーク測定装置60は、テーブル61と、該テーブル61を回転させるサーボモータ62と、テーブル61の回転角度を検出するエンコーダ63と、テーブル61の回転中心O1から距離Lだけ離れた位置で、矩形ワークWの辺を検知するとON信号、検知しないとOFF信号を出力するフォトセンサFSと、制御部100とを備え、制御部100は、矩形ワークWを保持したテーブル61を回転させ、角度算出部101が算出する角度差a,b,c,dを用いて矩形ワークWの隣接する2辺の長さS,Tを次式:
S=L*cos(a/2)+L*cos(c/2)
T=L*cos(b/2)+L*cos(d/2)
によって算出する辺長さ算出部102を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
隣接する２辺が互いに直交する矩形ワークの該２辺の長さＳ，Ｔを測定するワーク測定装置であって、
保持面で該矩形ワークを保持するテーブルと、
該保持面の中心を軸として該テーブルを回転させる回転機構と、
該テーブルの回転角度を検出する角度検出部と、
該テーブルの回転中心から該保持面に平行な方向に予め設定した距離Ｌだけ離れた位置で、回転する該矩形ワークの辺を検知するとＯＮ信号、検知しないとＯＦＦ信号を出力する検知部と、
制御部と、
を備え、
該制御部は、
該矩形ワークを保持した該テーブルを回転させ、該検知部が出力する信号がＯＮからＯＦＦになったときの該矩形ワークの回転角度とＯＦＦからＯＮになったときの回転角度との差を４つの角度差ａ，ｂ，ｃ，ｄとして算出する角度算出部と、
該角度差ａ，ｂ，ｃ，ｄを用いて該矩形ワークの隣接する２辺の長さＳ，Ｔを次式：
Ｓ＝Ｌ＊ｃｏｓ（ａ／２）＋Ｌ＊ｃｏｓ（ｃ／２）
Ｔ＝Ｌ＊ｃｏｓ（ｂ／２）＋Ｌ＊ｃｏｓ（ｄ／２）
によって算出する辺長さ算出部と、
を備えることを特徴とするワーク測定装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
該制御部は、直交Ｘ－Ｙ座標上の該テーブルの回転中心と該矩形ワークの中心とのＸ方向とＹ方向のズレ量Ｘ，Ｙを次式：
Ｘ＝｜Ｓ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ａ／２）｜
または、Ｘ＝｜Ｓ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ｃ／２）｜
Ｙ＝｜Ｔ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ｂ／２）｜
または、Ｙ＝｜Ｔ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ｄ／２）｜
によって算出する中心ズレ量算出部を備えることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項３】
該検知部は、該テーブルの回転中心からの距離が異なる第１検知部と第２検知部を備えることを特徴とする請求項１または２記載のワーク測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、隣接する２辺が互いに直交する矩形ワークの２辺の長さなどを測定するワーク測定装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、各種電気製品に使用される半導体チップの製造工程においては、ウェーハの裏面（ＩＣやＬＳＩなどのデバイスが形成された面とは反対側の面）に対して研削や研磨などの加工が施されるが、ウェーハには、非円形の正方形や長方形などの矩形のものもあり、例えば、特許文献１，２には、矩形のウェーハを均一な厚みに研削することができる研削装置が提案されている。
【０００３】
このような研削装置において矩形のウェーハをチャックテーブルの保持面に保持させる際には、保持面の中心とウェーハの中心とを一致させ、さらに保持面の寸法・形状とウェーハの寸法・形状とを一致させている。そして、特許文献３に開示されているように、矩形のウェーハを仮置きテーブル上で位置決めした後、搬送機構によってウェーハを保持して該ウェーハをチャックテーブルへと搬送している。そして、チャックテーブルへと搬送されたウェーハは、チャックテーブルの保持面が吸引されることによって該保持面上に吸引保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－２０５３５８号公報
特開２０１６－１５０４２１号公報
特開２０２１－１８６９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、チャックテーブルの保持面の寸法・形状に一致しない形状の矩形のウェーハをチャックテーブルに搬送した場合、例えば、ウェーハのチャックテーブルへの吸引保持に際して、ウェーハと保持面との間からのエアリークが発生し、ウェーハを保持面で確実に保持して研削することができないという不具合が発生する。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、矩形ワークをチャックテーブルの保持面に保持させる前に、該矩形ワークの隣接する２辺の長さを測定することができるワーク測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明は、隣接する２辺が互いに直交する矩形ワークの該２辺の長さＳ，Ｔを測定するワーク測定装置であって、保持面で該矩形ワークを保持するテーブルと、該保持面の中心を軸として該テーブルを回転させる回転機構と、該テーブルの回転角度を検出する角度検出部と、該テーブルの回転中心から該保持面に平行な方向に予め設定した距離Ｌだけ離れた位置で、回転する該矩形ワークの辺を検知するとＯＮ信号、検知しないとＯＦＦ信号を出力する検知部と、制御部と、を備え、該制御部は、該矩形ワークを保持した該テーブルを回転させ、該検知部が出力する信号がＯＮからＯＦＦになったときの該矩形ワークの回転角度とＯＦＦからＯＮになったときの回転角度との差を４つの角度差ａ，ｂ，ｃ，ｄとして算出する角度算出部と、該角度差ａ，ｂ，ｃ，ｄを用いて該矩形ワークの隣接する２辺の長さＳ，Ｔを次式：
Ｓ＝Ｌ＊ｃｏｓ（ａ／２）＋Ｌ＊ｃｏｓ（ｃ／２）
Ｔ＝Ｌ＊ｃｏｓ（ｂ／２）＋Ｌ＊ｃｏｓ（ｄ／２）
によって算出する辺長さ算出部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、該制御部は、直交Ｘ－Ｙ座標上の該テーブルの回転中心と該矩形ワークの中心とのＸ方向とＹ方向のズレ量Ｘ，Ｙを次式：
Ｘ＝｜Ｓ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ａ／２）｜
または、Ｘ＝｜Ｓ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ｃ／２）｜
Ｙ＝｜Ｔ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ｂ／２）｜
または、Ｙ＝｜Ｔ／２－Ｌ＊ｃｏｓ（ｄ／２）｜
によって算出する中心ズレ量算出部を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、矩形ワークをチャックテーブルの保持面に保持する前に、該矩形ワークの隣接する２辺の長さＳ，Ｔを算出することができるため、チャックテーブルの保持面に保持される矩形ワークが正規の寸法のものであるか否かを判断することができる。
【００１０】
また、算出された矩形ワークの２辺の長さＳ，Ｔを用いて、テーブルの回転中心と矩形ワークの中心との直交Ｘ－Ｙ座標上のＸ方向とＹ方向のズレ量Ｘ，Ｙを算出することができるため、テーブル上の矩形ワークを保持してチャックテーブルへと搬送する搬送手段の矩形ワークの保持位置を調整し、算出されたズレ量Ｘ，Ｙが０となるように搬送手段が矩形ワークを保持するように調整した状態で、搬送手段が矩形ワークを保持してチャックテーブルへと搬送することができるため、矩形ワークをチャックテーブルの所定位置に正確に位置決めした状態で保持させることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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