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公開番号2025062999
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-15
出願番号2024146150
出願日2024-08-28
発明の名称洗浄機及び洗浄方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B08B 3/12 20060101AFI20250408BHJP(清掃)
要約【課題】洗浄効率を向上させることが可能な洗浄機を提供する。
【解決手段】対象物に接触する液体に超音波を伝播させて対象物を洗浄する洗浄機であって、液体を貯留する洗浄槽と、洗浄槽に貯留された液体と接するように設けられた超音波発振部と、超音波発振部に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備え、複数の振動子のフェーズドアレイ制御によって、超音波発振部から液体に付与される超音波の伝播を制御可能である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物に接触する液体に超音波を伝播させて該対象物を洗浄する洗浄機であって、
該液体を貯留する洗浄槽と、
該洗浄槽に貯留された該液体と接するように設けられた超音波発振部と、
該超音波発振部に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備え、
複数の該振動子のフェーズドアレイ制御によって、該超音波発振部から該液体に付与される超音波の伝播を制御可能であることを特徴とする洗浄機。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
該超音波発振部から該液体に付与される超音波を、該対象物が配置される領域の任意の位置で収束させることが可能であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄機。
【請求項３】
該超音波発振部から該液体に付与される超音波を、該対象物の被洗浄面で収束させることが可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄機。
【請求項４】
対象物に接触する液体に超音波を伝播させて該対象物を洗浄する洗浄方法であって、
該液体を貯留する洗浄槽と、該洗浄槽に貯留された該液体と接するように設けられた超音波発振部と、該超音波発振部に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備える洗浄機を準備する準備ステップと、
該対象物を該洗浄槽に貯留された該液体と接するように配置する配置ステップと、
該液体と接するように配置された該対象物を洗浄する洗浄ステップと、を備え、
該洗浄ステップでは、複数の該振動子のフェーズドアレイ制御によって、該超音波発振部から該液体に付与される超音波の伝播を制御することを特徴とする洗浄方法。
【請求項５】
該洗浄ステップでは、該超音波発振部から該液体に付与される超音波を、該対象物の任意の位置で収束させることを特徴とする請求項４に記載の洗浄方法。
【請求項６】
該洗浄ステップでは、該超音波発振部から該液体に付与される超音波を、該対象物の被洗浄面で収束させることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の洗浄方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に超音波を伝播させて対象物を洗浄する洗浄機、及び、液体に超音波を伝播させて対象物を洗浄する洗浄方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、所定の基板上に複数のデバイスチップを実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割してチップ化する際には、被加工物が各種の加工装置によって加工される。例えば、被加工物の分割には、環状の切削ブレードで被加工物を切削する切削装置や、被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工装置等が用いられる。また、研削装置を用いて分割前の被加工物を研削して薄化しておくことにより、薄型のチップが得られる。
【０００４】
上記のような加工装置で被加工物を加工すると、加工によって発生した屑（加工屑）が飛散して被加工物に付着する。そこで、被加工物の加工後には、被加工物を洗浄する洗浄工程が実施される。被加工物の洗浄には、例えば超音波洗浄機が用いられる（特許文献１参照）。超音波洗浄機は、洗浄用の液体（洗浄液）を貯留する洗浄槽を備え、被加工物が洗浄液中に配置された状態で洗浄液に超音波振動を付与することにより、被加工物を洗浄する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００４－３６３３６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
加工装置によって加工された被加工物等の対象物を超音波洗浄機の洗浄槽内に配置し、洗浄槽に貯留された洗浄液に超音波振動を付与すると、超音波振動が洗浄液を媒体として対象物へ伝播し、対象物に付着した加工屑等の異物に衝撃が加えられる。これにより、異物が対象物から離脱し、対象物の全体が洗浄される。
【０００７】
しかしながら、対象物の構造、対象物の材質、対象物に施される加工の内容等によっては、異物が対象物の全体にわたって均一に付着するのではなく、対象物の一部に集中的に付着することがある。この場合には、対象物の一部に付着した異物が除去されるまで超音波洗浄機を稼働し、対象物の全体を洗浄し続ける必要がある。これにより、対象物の洗浄時間が長くなり、洗浄効率が低下するおそれがある。
【０００８】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、洗浄効率を向上させることが可能な洗浄機及び洗浄方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、対象物に接触する液体に超音波を伝播させて該対象物を洗浄する洗浄機であって、該液体を貯留する洗浄槽と、該洗浄槽に貯留された該液体と接するように設けられた超音波発振部と、該超音波発振部に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備え、複数の該振動子のフェーズドアレイ制御によって、該超音波発振部から該液体に付与される超音波の伝播を制御可能である洗浄機が提供される。
【００１０】
なお、好ましくは、該洗浄機は、該超音波発振部から該液体に付与される超音波を、該対象物が配置される領域の任意の位置で収束させることが可能である。また、好ましくは、該洗浄機は、該超音波発振部から該液体に付与される超音波を、該対象物の被洗浄面で収束させることが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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