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公開番号2025094434
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-25
出願番号2023209965
出願日2023-12-13
発明の名称加工水供給装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B23Q 11/10 20060101AFI20250618BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】低コストかつ長寿命の加工水供給装置を提供する。
【解決手段】加工水供給装置2は、加工装置4で使用された廃液を貯水する貯水槽6と、貯水槽6の廃液を加工水に精製する加工水精製手段8と、貯水槽6に貯水された廃液を加工水精製手段8に送り込む遠心ポンプ10を備えた廃液供給経路12と、加工水精製手段8から送り出される加工水を加工装置4に供給する供給ポンプ14を備えた加工水供給経路16と、制御手段18とを含む。遠心ポンプ10は、加工水精製手段8に廃液を送り込む圧力を許容するとともに加工水精製手段8から送り出される加工水の流量が加工装置4で使用される加工水の流量を許容する能力を備える。供給ポンプ14は、加工水精製手段8から送り出される加工水を加工装置4に供給する圧力と流量を許容する能力を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
加工装置に加工水を供給する加工水供給装置であって、
加工装置で使用された廃液を貯水する貯水槽と、
該貯水槽の廃液を加工水に精製する加工水精製手段と、
該貯水槽に貯水された廃液を該加工水精製手段に送り込む遠心ポンプを備えた廃液供給経路と、
該加工水精製手段から送り出される加工水を加工装置に供給する供給ポンプを備えた加工水供給経路と、
制御手段と、を含み、
該遠心ポンプは、該加工水精製手段に廃液を送り込む圧力を許容するとともに該加工水精製手段から送り出される加工水の流量が加工装置で使用される加工水の流量を許容する能力を備え、
該供給ポンプは、該加工水精製手段から送り出される加工水を加工装置に供給する圧力と流量を許容する能力を備える加工水供給装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
該加工水精製手段と該供給ポンプとの間の該加工水供給経路に連結され余剰の加工水を該貯水槽に戻す戻し経路が配設される請求項１記載の加工水供給装置。
【請求項３】
該供給ポンプは、２以上の加工装置に加工水を供給する請求項１記載の加工水供給装置。
【請求項４】
該加工水精製手段は、廃液をろ過し清水を生成するフィルタと、清水に混入する有機物を破壊する紫外線照射器と、温度コントローラと、清水から純水を生成するイオン交換樹脂と、を含む請求項１記載の加工水供給装置。
【請求項５】
精密フィルタが該供給ポンプの後に配設される請求項４記載の加工水供給装置。
【請求項６】
該制御手段は、該加工水精製手段から送り出される加工水の流量が加工装置で使用される加工水の流量を上回る場合、該遠心ポンプの回転数を低減させ加工水の流量を適正に調整する請求項１または２記載の加工水供給装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に加工水を供給する加工水供給装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、研削ホイールに研削水（純水）を供給する研削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に研削することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、切削ブレードに切削水（純水）を供給する切削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献２参照）。
【０００５】
研削水や切削水、洗浄水などの加工水（純水）は、純水設備（水源）から貯水槽に送られて貯水槽に貯えられる。そして、貯水槽に貯えられた加工水は、ポンプによって温度調整手段に送られ、所望の温度に調整された後、研削装置やダイシング装置などの加工装置に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－１５８７６８号公報
特開２０１９－１４５５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、比較的高額な純水を加工水として使用した後、使用済みの加工水を廃棄するのは不経済であるという問題がある。特に、純水を入手することが困難な地域においては尚更である。
【０００８】
そこで、本出願人は、使用済みの加工水（廃液）から純水を精製する加工水廃液処理装置を提案した（たとえば、特開２００９－１９０１２８号公報参照）。だが、装置のコストおよび寿命の点に関しては改善の余地がある。
【０００９】
本発明の課題は、低コストかつ長寿命の加工水供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の加工水供給装置が提供される。すなわち、
「加工装置に加工水を供給する加工水供給装置であって、
加工装置で使用された廃液を貯水する貯水槽と、
該貯水槽の廃液を加工水に精製する加工水精製手段と、
該貯水槽に貯水された廃液を該加工水精製手段に送り込む遠心ポンプを備えた廃液供給経路と、
該加工水精製手段から送り出される加工水を加工装置に供給する供給ポンプを備えた加工水供給経路と、
制御手段と、を含み、
該遠心ポンプは、該加工水精製手段に廃液を送り込む圧力を許容するとともに該加工水精製手段から送り出される加工水の流量が加工装置で使用される加工水の流量を許容する能力を備え、
該供給ポンプは、該加工水精製手段から送り出される加工水を加工装置に供給する圧力と流量を許容する能力を備える加工水供給装置」が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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