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公開番号2025103783
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221410
出願日2023-12-27
発明の名称板状物の処理方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250702BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】効率良く板状物から保護部材を剥離できる板状物の処理方法を提供すること。
【解決手段】板状物の処理方法は、洗浄ステップの前に板状物の一方の面に保護部材を固定する固定ステップ101と、板状物の他方の面を処理する処理ステップ102と、第一剥離ステップ104の前に、洗浄テーブルと、洗浄テーブルに保持された板状物に洗浄液を供給するノズルと、を有する洗浄ユニットにおいて、板状物を洗浄する洗浄ステップ103と、板状物と板状物の一方の面に固定された保護部材と、間に流体を侵入させ、板状物の外周部から保護部材を剥離する第一剥離ステップ104と、第一剥離ステップ104において保護部材が剥離した箇所を起点に板状物から保護部材の全面を剥離する第二剥離ステップ105と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状物と該板状物の一方の面に固定された保護部材との間に流体を侵入させ、該板状物の少なくとも外周部の一部から該保護部材を剥離する第一剥離ステップと、
該第一剥離ステップにおいて該保護部材が剥離した箇所を起点に該板状物から該保護部材の全面を剥離する第二剥離ステップと、を備える
板状物の処理方法。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
該保護部材は、板状物の外縁からわずかに突出した突出部を有し、
該第一剥離ステップでは、該突出部に流体を供給することを特徴とする請求項１に記載の板状物の処理方法。
【請求項３】
該第一剥離ステップの前に、洗浄テーブルと、該洗浄テーブルに保持された該板状物に洗浄液を供給するノズルと、を有する洗浄ユニットにおいて、該板状物を洗浄する洗浄ステップと、を備え、
該第一剥離ステップは、該洗浄テーブルに該板状物が保持された状態で実施されることを特徴とする請求項１に記載の板状物の処理方法。
【請求項４】
該洗浄ステップの前に板状物の一方の面に該保護部材を固定する固定ステップと、
該板状物の他方の面を処理する処理ステップと、
を備える請求項３に記載の板状物の処理方法。
【請求項５】
該処理ステップは、該板状物を研削ホイールで研削する事を特徴とする請求項４に記載の板状物の処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物の処理方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
板状物であるウエーハの一方の面を平坦化するために、他方の面を樹脂からなる保護部材で被覆し、一方の面に研削加工等を施す方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－１６７５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１等に示された方法において、板状物から保護部材を剥離する際に、従来、板状物を被覆する保護部材の外縁を挟持して、板状物と相対移動することで剥離していた。このために、板状物にかかる負荷が大きく、低速で徐々に剥離していくため時間がかかり、作業効率が低下するという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、効率良く板状物から保護部材を剥離できる板状物の処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の板状物の処理方法は、板状物と該板状物の一方の面に固定された保護部材との間に流体を侵入させ、該板状物の少なくとも外周部の一部から該保護部材を剥離する第一剥離ステップと、該第一剥離ステップにおいて該保護部材が剥離した箇所を起点に該板状物から該保護部材の全面を剥離する第二剥離ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
前記板状物の処理方法では、該保護部材は、板状物の外縁からわずかに突出した突出部を有し、該第一剥離ステップでは、該突出部に流体を供給しても良い。
【０００８】
前記板状物の処理方法では、該第一剥離ステップの前に、洗浄テーブルと、該洗浄テーブルに保持された該板状物に洗浄液を供給するノズルと、を有する洗浄ユニットにおいて、該板状物を洗浄する洗浄ステップと、を備え、該第一剥離ステップは、該洗浄テーブルに該板状物が保持された状態で実施されても良い。
【０００９】
前記板状物の処理方法では、該洗浄ステップの前に板状物の一方の面に該保護部材を固定する固定ステップと、該板状物の他方の面を処理する処理ステップと、を備えても良い。
【００１０】
前記板状物の処理方法では、該処理ステップは、該板状物を研削ホイールで研削しても良い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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