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公開番号2025095663
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2023211815
出願日2023-12-15
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250619BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】カセットに対する被加工物の搬出入を行う加工装置で、被加工面の向きを適切に認識させて、ロボットの動きの設定確認及び設定変更を容易にする。
【解決手段】被加工物(W)を収容するカセット(17、18)と、被加工物を仮置きする仮置きテーブル(30)と、被加工物を加工する加工機構(50)と、被加工物を洗浄する洗浄機構(35)と、カセットと仮置きテーブルと洗浄機構とに対して被加工物を搬送するロボット(20)と、タッチパネル(71)とを備える加工装置(10)であって、タッチパネルは、カセットステージに載置したカセットに加工前のウェーハの加工される面(Wb)をイラスト表示させるとともに、洗浄機構からカセットステージに載置したカセットに被加工物を搬送したときに被加工物の加工された面(Wb)をイラスト表示する表示部(762、763、78、79)を備える。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
棚状に被加工物を収容可能なカセットを載置するカセットステージと、被加工物を仮置きする仮置きテーブルと、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工機構と、被加工物を洗浄する洗浄機構と、該カセットステージに載置したカセットと該仮置きテーブルと該洗浄機構とに対して被加工物を搬送するロボットハンドを装着したロボットと、タッチパネルと、を備える加工装置であって、
該タッチパネルは、
該カセットステージに載置した該カセットに加工前の被加工物の加工される面をイラスト表示させるとともに、
該洗浄機構から該カセットステージに載置した該カセットに被加工物を搬送したときに被加工物の加工された面をイラスト表示する表示部を備える、加工装置。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
該タッチパネルは、該表示部をタッチして、
該カセットステージに載置した該カセットから該仮置きテーブルに被加工物を搬送する際の該ロボットの動きを設定する第１設定部と、
該洗浄機構から該カセットステージに載置した該カセットに被加工物を搬送する際の該ロボットの動きを設定する第２設定部と、
を備える、請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
構成設定を備え、
該構成設定によって、設定できない動きを選択不可にする、請求項２記載の加工装置。
【請求項４】
該タッチパネルは、該カセットステージに載置した該カセットに収容されている被加工物の加工される面又は加工された面が上下のどちらになるか設定する面設定部を備える、請求項１又は請求項３記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２及び３に開示のように、研削砥石でウェーハを研削する研削装置は、ウェーハを収容したカセットからウェーハを取り出し、ウェーハをチャックテーブルに搬送し、チャックテーブルに保持され研削砥石で研削したウェーハをスピンナ洗浄ユニットで洗浄してカセットに収納している。
【０００３】
研削以外の加工を行う加工装置、例えば、ウェーハを切削する切削装置においても、カセットからウェーハを取り出して、ウェーハの切削とウェーハの洗浄を行い、その後にカセットに収納するという流れで、一連の動作が行われる。
【０００４】
加工装置において、カセットからのウェーハの搬出や、カセットへのウェーハの搬入は、ロボットによって行っている。ロボットは、ウェーハを保持するロボットハンドを装着している。複数種類のロボットハンドが準備され、ウェーハの搬送条件に応じた形状のロボットハンドが用いられる。また、ロボットハンドは、ウェーハの下面を吸引保持する場合と、ウェーハの上面を吸引保持する場合がある。
【０００５】
例えば、スピンナ洗浄機構のスピンナテーブルより外にはみ出したウェーハの下面を保持するときには、スピンナテーブルを通過可能な開放部分を有するＵ字型又はＣ字型のロボットハンドを用いる。スピンナテーブルに保持された例えば１００μｍ厚みに研削されたウェーハの上面を保持する場合には、ウェーハの上面全面を吸引保持可能な円形の保持面を有するＯ字型－１のロボットハンドを用いる。また、外周部分に反りがあるウェーハを搬送する際には、ウェーハの中央部分を保持する円形の保持面を有するＯ字型－２のロボットハンドを用いる。
【０００６】
また、カセット内でのウェーハは、研削などの加工を受ける面（被加工面）が上向きで収納されている場合と、被加工面が下向きで収納されている場合とがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０２０－１２３６１７号公報
特開２０２１－１３２１８０号公報
特開２０１９－１９８９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
カセットに対するウェーハの出し入れをロボットによって行う加工装置では、ロボットに装着したロボットハンドの種類や構成によって、ロボットの動作形態が異なる。また、カセット内に収容した加工前のウェーハの被加工面の向きや、加工後のウェーハをカセット内に収容するときの被加工面の向きが、加工条件によって異なっており、これらのウェーハの被加工面の向きの違いがロボットの動作設定に影響を及ぼす。
【０００９】
そのため、加工装置は、加工装置を操作するオペレータ（作業者）がロボットの動きを設定する際に、被加工物の被加工面の向きを適切に認識させて、ロボットの動きの設定確認及び設定変更を容易にするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、棚状に被加工物を収容可能なカセットを載置するカセットステージと、被加工物を仮置きする仮置きテーブルと、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工機構と、被加工物を洗浄する洗浄機構と、該カセットステージに載置したカセットと該仮置きテーブルと該洗浄機構とに対して被加工物を搬送するロボットハンドを装着したロボットと、タッチパネルと、を備える加工装置であって、該タッチパネルは、該カセットステージに載置した該カセットに加工前の被加工物の加工される面をイラスト表示させるとともに、該洗浄機構から該カセットステージに載置した該カセットに被加工物を搬送したときに被加工物の加工された面をイラスト表示する表示部を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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