特許ウォッチ

公開番号2025118502
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024187044
出願日2024-10-24
発明の名称剥離装置及び剥離方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250805BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】板状ワークからの保護部材の剥離にて板状ワークに割れが発生することや、糊が付着することを防止できるようにすること。
【解決手段】剥離装置(1)は、板状ワーク(W)の他方の面(W2)側を保持する保持テーブル(12)と、保持テーブルに保持された板状ワークの一方の面(W1)を覆う保護テープ(T1)を板状ワークから剥離する剥離機構(13)とを備えている。剥離機構は、保護テープを把持するローラ(23)と、ローラと保持テーブルとを相対的に水平方向に一直線に移動させる第1水平移動機構(22)と、ローラによって保持テーブルから保護テープを離隔させる回転駆動部(38)と、板状ワークの一方の面に貼着されている保護テープと剥離された保護テープとの間の内角(θ)を設定する内角設定部(88)と、保護テープを剥離する際に内角設定部に設定した角度を維持する制御を行う制御部(90)とを備えている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状ワークの一方の面を保護する保護部材を、該一方の面から剥離する剥離装置であって、
保持面によって該板状ワークの他方の面側を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状ワークの該一方の面を覆う該保護部材を該板状ワークから剥離する剥離機構と、を備え、
該剥離機構は、
該保護部材を把持する把持部と、該把持部と該保持テーブルとを相対的に水平方向に一直線に移動させる水平移動機構と、該把持部によって該保持テーブルから該保護部材を離隔させる離隔機構と、該板状ワークの一方の面に貼着されている該保護部材と剥離された該保護部材との間の内角を設定する内角設定部と、該保護部材を剥離する際に該内角設定部に設定した角度を維持する制御を行う制御部と、を備える、剥離装置。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
該把持部は、２本のローラであって、
該離隔機構は、該２本のローラを相対的な方向に回転させる回転駆動部であって、
該剥離機構は、
水平方向の引っ張り荷重を検知する水平方向荷重検知部と、
鉛直方向の引っ張り荷重を検知する鉛直方向荷重検知部と、をさらに備え、
該制御部は、
該内角設定部に設定された該内角となるように水平方向の荷重と鉛直方向の荷重との割合を算出する割合算出部を備え、
該水平方向荷重検知部が検知した水平方向荷重と、該鉛直方向荷重検知部が検知した鉛直方向荷重との割合が該割合算出部で算出した割合となるよう該水平移動機構および該離隔機構を制御する、請求項１記載の剥離装置。
【請求項３】
該把持部は、該保護部材の外周部分を把持するクランプであって、
該離隔機構は、該クランプを上昇させるクランプ昇降機構であって、
該剥離機構は、
水平方向の引っ張り荷重を検知する水平方向荷重検知部と、
鉛直方向の引っ張り荷重を検知する鉛直方向荷重検知部と、をさらに備え、
該制御部は、
該内角設定部に設定された該内角となるように水平方向の荷重と鉛直方向の荷重との割合を算出する割合算出部を備え、
該水平方向荷重検知部が検知した水平方向荷重と、該鉛直方向荷重検知部が検知した鉛直方向荷重との割合が該割合算出部で算出した割合となるよう該水平移動機構および該離隔機構を制御する、請求項１記載の剥離装置。
【請求項４】
該把持部は、２本のローラであって、
該離隔機構は、該２本のローラを相対的な方向に回転させる回転駆動部であって、
該剥離機構は、
該把持部と該保持テーブルとの相対的な水平方向の位置を検知する水平方向位置検知部と、
該水平方向の位置によって該回転駆動部の回転速度を設定したデータテーブルと、をさらに備え、
該制御部は、
該水平移動機構によって相対的に等速移動させ、
該水平方向位置検知部が検知した水平方向の位置で、該データテーブルを参照して、該回転駆動部の回転速度を制御する、請求項１記載の剥離装置。
【請求項５】
該把持部は、該保護部材の外周部分を把持するクランプであって、
該離隔機構は、該クランプを上昇させるクランプ昇降機構であって、
該剥離機構は、
該把持部と該保持テーブルとの相対的な水平方向の位置を検知する水平方向位置検知部と、該水平方向の位置によって該クランプ昇降機構による該クランプの上昇速度を設定したデータテーブルと、をさらに備え、
該制御部は、
該水平移動機構によって相対的に等速移動させ、
該水平方向位置検知部が検知した水平方向の位置で、該データテーブルを参照して、該クランプ昇降機構による上昇速度を制御する、請求項１記載の剥離装置。
【請求項６】
該鉛直方向荷重検知部は、該保持テーブルの下方で支持するように配置され、
該水平方向荷重検知部は、該保護部材の剥離方向で該保持テーブルの横に配置されている、請求項２または請求項３記載の剥離装置。
【請求項７】
板状ワークの一方の面を保護する保護部材を、該一方の面から剥離する剥離方法であって、
該板状ワークの他方の面側を保持テーブルで保持する保持工程と、
該保護部材を把持部で把持する把持工程と、
該把持部と該保持テーブルとを相対的に水平方向に一直線に移動させつつ、該把持部によって該保持テーブルから該保護部材を離隔させ、該板状ワークの一方の面に貼着されている該保護部材と剥離された該保護部材との間の内角を予め設定した角度に維持して剥離する剥離工程と、からなる、剥離方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、剥離装置及び剥離方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ウェーハに貼着した保護テープを剥離する剥離装置を開示している。かかる剥離装置では、保護テープの外周部に剥離シートを貼着してから、その剥離シートを把持部が把持する。その後、把持部とウェーハを保持する保持テーブルとを相対的に水平方向に移動させ、保護テープを屈曲させながらウェーハから剥離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１３２１７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のように保護テープを剥離すると、剥離中に保護テープの屈曲角度が変化し、ウェーハに割れが発生する、または、保護テープの糊がウェーハに残るという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、板状ワークからの保護部材の剥離にて板状ワークに割れが発生すること、または、板状ワークに糊が付着することを防止することができる剥離装置及び剥離方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の剥離装置は、板状ワークの一方の面を保護する保護部材を、該一方の面から剥離する剥離装置であって、保持面によって該板状ワークの他方の面側を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状ワークの該一方の面を覆う該保護部材を該板状ワークから剥離する剥離機構と、を備え、該剥離機構は、該保護部材を把持する把持部と、該把持部と該保持テーブルとを相対的に水平方向に一直線に移動させる水平移動機構と、該把持部によって該保持テーブルから該保護部材を離隔させる離隔機構と、該板状ワークの一方の面に貼着されている該保護部材と剥離された該保護部材との間の内角を設定する内角設定部と、該保護部材を剥離する際に該内角設定部に設定した角度を維持する制御を行う制御部と、を備える。
【０００７】
本発明の一態様の剥離方法は、板状ワークの一方の面を保護する保護部材を、該一方の面から剥離する剥離方法であって、該板状ワークの他方の面側を保持テーブルで保持する保持工程と、該保護部材を把持部で把持する把持工程と、該把持部と該保持テーブルとを相対的に水平方向に一直線に移動させつつ、該把持部によって該保持テーブルから該保護部材を離隔させ、該板状ワークの一方の面に貼着されている該保護部材と剥離された該保護部材との間の内角を予め設定した角度に維持して剥離する剥離工程と、からなる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、保護部材の剥離中において、貼着されている保護部材と剥離された保護部材との間の内角が、内角設定部に設定した角度を維持するよう制御部によって制御される。これにより、剥離中に保護部材の屈曲角度が変化することを抑制でき、板状ワークに割れが発生すること、または、板状ワークに糊が残ることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１の実施の形態に係る剥離装置の概略斜視図である。
第１の実施の形態の剥離装置における部分概略断面図である。
第２の実施の形態の剥離装置の図２と同様の断面図である。
第３の実施の形態の剥離装置の図２と同様の断面図である。
第４の実施の形態の剥離装置の図２と同様の断面図である。
第５の実施の形態の剥離装置の図２と同様の断面図である。
第５の実施の形態における荷重センサ及び水平方向荷重検知部の設置位置の説明用平面図である。
引っ張り荷重と内角との関係を示すグラフである。
第６の実施の形態の剥離装置の図３と同様の断面図である。
第７の実施の形態の剥離装置の図４と同様の断面図である。
第８の実施の形態の剥離装置の図５と同様の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［第１の実施の形態］
以下、添付図面を参照して、第１の実施の形態に係る剥離装置について説明する。図１は、第１の実施の形態に係る剥離装置の概略斜視図である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許