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公開番号2025117836
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024012780
出願日2024-01-31
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 55/02 20060101AFI20250805BHJP(研削;研磨)
要約【課題】水の消費を抑えつつ、ウェーハの上面が汚れることを抑制する。
【解決手段】使用済切削水は、加工点K1から-X方向に向かって排出された後、第1方向変更部70の第3側面73に衝突して、第3側面73の延びる方向に沿って、-X方向に対して斜め方向に進路を変える。これにより、使用済切削水は、側壁64に対して斜め方向に衝突して、+Y方向側に沿って流れながら側壁64を伝い落ちる。したがって、側壁64に衝突した使用済切削水が、切削ブレード51側に跳ね返ることを抑制することができる。これにより、使用済切削水がウェーハ100の被切削面を汚すことを抑制することが可能である。また、ウェーハ100の上面の汚染を抑制するために、ウェーハ100の上面に水層を形成する必要がない。このため、水の消費量が多くなることを防止することができる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、切削水を供給しながら回転する切削ブレードによって該ウェーハを切削する切削ユニットと、該チャックテーブルと該切削ブレードとを相対的に該保持面に平行な該切削ブレードの切削送り方向に移動させる切削送り機構と、少なくとも該チャックテーブルと該切削ブレードとを収容する加工室と、を備える切削装置であって、
該切削ユニットは、該ウェーハと該切削ブレードとの接点である加工点から該切削送り方向に平行に排出される該切削水の方向を、該切削送り方向に対し斜め方向に変更する方向変更部を備える、
切削装置。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
該方向変更部は、該切削水の方向を少なくとも２方向に分岐する、
請求項１記載の切削装置。
【請求項３】
該方向変更部を該切削ブレードの回転軸方向に移動させる移動機構をさらに備える、
請求項１または２記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１および２に開示のように、切削水を供給しながら切削ブレードを回転させてウェーハを切削する切削装置は、切削ブレードの遠心力を受けた切削水が加工室内で霧化することを抑制するための霧抑制部を備えている。しかし、これらの文献の構成では、切削水の霧化を抑えるために、複雑な構造の霧抑制部を備える必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１７８３９４号公報
特開２０１６－０８２０８３号公報
特開２０１７－０９４４５５号公報
特開２０２２－０６４０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
なお、上記の切削水は、切削屑を含んでおり、加工室の側壁に当たって跳ね返りブレードカバーなどに付着して、その後、滴下して、ウェーハの上面を汚すことがある。
【０００５】
そのため、特許文献３および４に開示の技術では、切削加工しているときに、ウェーハの上面に水層を形成している。しかし、この技術では、水の消費量が多くなる。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、水の消費を抑えつつ、ウェーハの上面が汚れることを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の切削装置（本切削装置）は、保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、切削水を供給しながら回転する切削ブレードによって該ウェーハを切削する切削ユニットと、該チャックテーブルと該切削ブレードとを相対的に該保持面に平行な該切削ブレードの切削送り方向に移動させる切削送り機構と、少なくとも該チャックテーブルと該切削ブレードとを収容する加工室と、を備える切削装置であって、該切削ユニットは、該ウェーハと該切削ブレードとの接点である加工点から該切削送り方向に平行に排出される該切削水の方向を、該切削送り方向に対し斜め方向に変更する方向変更部を備える。
【０００８】
本切削装置では、該方向変更部は、該切削水の方向を少なくとも２方向に分岐するように構成されていてもよい。
【０００９】
本切削装置は、該方向変更部を該切削ブレードの回転軸方向に移動させる移動機構をさらに備えてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本切削装置では、切削加工に使用された切削水（使用済切削水）は、回転する切削ブレードの遠心力を受けて、加工点から、切削送り方向に平行に排出される。そして、本切削装置では、使用済切削水は、加工点から排出された後、方向変更部によって、切削送り方向に対して斜め方向に進路を変える。
（【００１１】以降は省略されています）

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