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公開番号2025131057
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2024028556
出願日2024-02-28
発明の名称チャックテーブル
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250902BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チャックテーブルで保持する板状物の外周エッジを撮像する際、板状物の外周エッジの外側において照明部からの光の反射を抑えつつ、板状物が吸引保持されているか否かの判断が可能なチャックテーブルを提供すること。
【解決手段】チャックテーブル1は、ポーラステーブル体10と枠体20とを備え、枠体20は、吸引源28に連通する連通路27を有し、ポーラステーブル体10は、平面視で、略中央に配設され平面視で板状物100の外形よりも小さい外形を有する第1多孔質部30と、第1多孔質部30を囲繞するように配設され平面視で板状物100の外形よりも大きい外形を有する第2多孔質部40と、から構成され、第2多孔質部40の第2気孔45は、板状物100の外形が第1多孔質部30を覆いつつ第2多孔質部40の外形よりも小さくても板状物100を吸引保持できることを特徴とする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を吸引保持するチャックテーブルであって、
上面が保持面となる多孔質のポーラステーブル体と、
該ポーラステーブル体の該保持面を除く側面及び裏面を覆う枠体と、
を備え、
該枠体は、該枠体に形成され吸引源に連通する連通路を有し、
該ポーラステーブル体は、平面視で、略中央に配設された第１多孔質部と、該第１多孔質部を囲繞するように配設された第２多孔質部と、から構成され、
該第１多孔質部は、平面視で該板状物の外形よりも小さい外形を有し、
該第２多孔質部は、平面視で該板状物の外形よりも大きい外形を有し、
該第２多孔質部の気孔は、該板状物の外形が該第１多孔質部を覆いつつ該第２多孔質部の外形よりも小さくても該板状物を吸引保持できることを特徴とするチャックテーブル。
続きを表示（約 320 文字）【請求項２】
該第１多孔質部の該気孔の大きさは、該第２多孔質部の該気孔の大きさよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のチャックテーブル。
【請求項３】
該吸引源として減圧ポンプを連結し、該連通路に圧力計を設置して、該ポーラステーブル体の該保持面に何も載せていない状態と該板状物を載置した状態で該減圧ポンプを作動させた状態との該圧力計の圧力差を所定の閾値と比較することによって、該板状物を吸引保持しているか否かを判断することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチャックテーブル。
【請求項４】
該ポーラステーブル体は、導電性を有する材料を含むことを特徴とする請求項１に記載のチャックテーブル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質のポーラステーブル体を有するチャックテーブルに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
板状物を加工する加工装置や板状物を検査する検査装置では、板状物を保持面で吸引して保持するためのチャックテーブルが用いられている。一般的なチャックテーブルは、金属または非多孔質セラミックスで形成された円盤状の枠体を有する。枠体の上部には、円盤状の凹部が形成されており、この凹部には多孔質セラミックス製の円盤状の板（すなわちポーラステーブル体）が固定されていて、このポーラステーブル体の上面および枠体の凹部外周の凸部の上面にて保持面を形成している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１のようなチャックテーブルの保持面は、板状物の形状やサイズに合わせて大きさが形成されていて、板状物がポーラステーブル体の上面を覆った状態で吸引源を作動するとリークすること無く保持面で板状物を吸引保持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－１７８１７８号公報
特開２０１８－０４１７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、板状物の外周エッジを上方からカメラで撮像して検査する検査装置で、このようなチャックテーブルを使用すると、カメラによって板状物の外周エッジと枠体の上面を同時に撮像することがある。このとき上方の照明部から光を照射して鮮明に撮像しようとするが、照射する光が枠体の上面で反射して外周エッジが見えにくいという問題がある。
【０００６】
この問題を解決するために、板状物よりもポーラステーブル体の面積が大きくても吸引保持できるチャックテーブルを使用して、板状物の外周エッジを撮像する際に、板状物の外周エッジとポーラステーブル体の上面を同時に撮像するようにして照明部からの光の反射を抑えることが考えられている（例えば、特許文献２を参照）。しかし、特許文献２のようなチャックテーブルは、板状物を吸引保持している時と吸引保持していない時の圧力差が小さいため、検査装置でチャックテーブルに板状物が吸引保持されているか否かの判断が難しいという問題がある。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、板状物を吸引保持するチャックテーブルにおいて、チャックテーブルで保持する板状物の外周エッジを撮像する際、板状物の外周エッジの外側において照明部からの光の反射を抑えつつ、板状物が吸引保持されているか否かの判断が可能なチャックテーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のチャックテーブルは、板状物を吸引保持するチャックテーブルであって、上面が保持面となる多孔質のポーラステーブル体と、該ポーラステーブル体の該保持面を除く側面及び裏面を覆う枠体と、を備え、該枠体は、該枠体に形成され吸引源に連通する連通路を有し、該ポーラステーブル体は、平面視で、略中央に配設された第１多孔質部と、該第１多孔質部を囲繞するように配設された第２多孔質部と、から構成され、該第１多孔質部は、平面視で該板状物の外形よりも小さい外形を有し、該第２多孔質部は、平面視で該板状物の外形よりも大きい外形を有し、該第２多孔質部の気孔は、該板状物の外形が該第１多孔質部を覆いつつ該第２多孔質部の外形よりも小さくても該板状物を吸引保持できることを特徴とする。
【０００９】
該第１多孔質部の該気孔の大きさは、該第２多孔質部の該気孔の大きさよりも大きくてもよい。
【００１０】
該吸引源として減圧ポンプを連結し、該連通路に圧力計を設置して、該ポーラステーブル体の該保持面に何も載せていない状態と該板状物を載置した状態で該減圧ポンプを作動させた状態との該圧力計の圧力差を所定の閾値と比較することによって、該板状物を吸引保持しているか否かを判断してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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