特許ウォッチ

公開番号2025140616
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024040131
出願日2024-03-14
発明の名称診断方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20250919BHJP(研削;研磨)
要約【課題】泡の画像に基づいて目詰まりの程度を診断する場合に比べて安定的に目詰まりの診断ができる診断方法を提供する。
【解決手段】保持板における複数の吸引口の目詰まりを診断する診断方法であって、厚さ方向において反対側に位置する一面及び他面を有し、一面の面積が吸引面の面積よりも小さい測定用基板を準備する準備工程と、複数の吸引口のうち一以上の吸引口が測定用基板の一面で閉塞された閉塞領域を形成する様に測定用基板を保持板に載置し、次いで、測定用基板を吸引面で吸引すると共に吸引路の圧力を測定し、圧力値を取得する取得工程と、圧力値と、吸引面における閉塞領域の範囲又は吸引面のうち閉塞領域を除く露出領域の範囲と、に基づいて、複数の吸引口における目詰まりが生じているか否かを診断する診断工程と、を備える診断方法を提供する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
吸引路を介して吸引源に接続されている複数の吸引口を吸引面に有しており該吸引面で被加工物を吸引可能な保持板における該複数の吸引口の目詰まりを診断する診断方法であって、
厚さ方向において反対側に位置する一面及び他面を有し、該一面の面積が該吸引面の面積よりも小さい測定用基板を準備する準備工程と、
該準備工程の後、該複数の吸引口のうち一以上の吸引口が該測定用基板の該一面で閉塞された閉塞領域を形成する様に該測定用基板を該保持板に載置し、次いで、該測定用基板を該吸引面で吸引すると共に該吸引路の圧力を測定し、圧力値を取得する取得工程と、
該圧力値と、該吸引面における該閉塞領域の範囲又は該吸引面のうち該閉塞領域を除く露出領域の範囲と、に基づいて、該複数の吸引口における目詰まりが生じているか否かを診断する診断工程と、を備えることを特徴とする診断方法。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
該測定用基板は該一面から該他面まで貫通する貫通孔を有さず、該取得工程において該測定用基板を該保持板に載置すると、該測定用基板の該一面の外周縁が該吸引面の外周縁よりも内側に位置することで該吸引面の外周部が露出する、又は、
該測定用基板は該一面から該他面まで貫通する貫通孔を有する環状であり、該取得工程において該測定用基板を該保持板に載置すると、該吸引面の中央部が露出することを特徴とする請求項１に記載の診断方法。
【請求項３】
該準備工程では、該厚さ方向において反対側に位置する該一面及び該他面をそれぞれ有し、該一面の面積が該吸引面の面積よりもそれぞれ小さく、且つ、該一面の面積が互いに異なる複数の測定用基板を準備し、
該取得工程では、該複数の測定用基板の各々について、該複数の吸引口のうち一以上の吸引口が該一面で閉塞された該閉塞領域を形成する様に一の測定用基板を該保持板に載置し、次いで、該一の測定用基板を該吸引面で吸引すると共に該吸引路の該圧力を測定することを順次行い、複数の圧力値を取得し、
該診断工程では、該取得工程で得られた該複数の圧力値と、該複数の測定用基板の各々についての該吸引面における該閉塞領域の範囲又は該吸引面における該露出領域と、に基づいて、該複数の吸引口における目詰まりが生じているか否かを診断することを特徴とする請求項１又は２に記載の診断方法。
【請求項４】
該準備工程では、同一の形状及び同一の該一面の面積をそれぞれ有する複数の基板のそれぞれにおいて、
該複数の基板のそれぞれの外周部を切削ブレードで切削して除去することで互いに異なる該一面の径を有する該複数の測定用基板を作成する、又は、該複数の基板のそれぞれの中央部を切削ブレードで切削して除去することで互いに異なる径を有する貫通孔を含む該複数の測定用基板を作成することを特徴とする請求項３に記載の診断方法。
【請求項５】
該準備工程では、同一の形状及び同一の該一面の面積をそれぞれ有する複数の基板のそれぞれにおいて、
該複数の基板のそれぞれの外周部を切削ブレードで切削して該一面から該他面までには至らない深さを有する環状段差を該複数の基板のそれぞれの外周部に形成することで、該一面の面積を該他面の面積よりもそれぞれ小さくすることを特徴とする請求項３に記載の診断方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸引路を介して吸引源に接続されている複数の吸引口を吸引面に有しており当該吸引面で被加工物を吸引可能な保持板における当該複数の吸引口の目詰まりを診断する診断方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
研削装置、切削装置等の加工装置は、半導体ウェーハ等の被加工物を負圧により吸引保持するチャックテーブルを備える（例えば、特許文献１参照）。このチャックテーブルとしては、上面に細孔が露出する多孔質板、上面に開口が露出する支持板等（以下、まとめて保持板と称する）が用いられる。
【０００３】
保持板の上面に露出する細孔及び開口（以下、まとめて吸引口と称する）には、吸引源から負圧が伝達され、これにより、各上面は、被加工物を吸引保持する保持面として機能する。しかし、研削屑、切削屑等の加工屑は、吸引口を閉塞することがあるし、保持板の内部に設けられている流路に詰まることもある。
【０００４】
その結果、保持面での吸引力が低下すると、加工時にチップの飛びが生じたりする等、加工品質に悪影響が及ぶ可能性がある。そこで、チャックテーブルとして多孔質板が使用される場合に、被加工物の加工前に、保持面に露出している細孔の目詰まりを確認する手法が知られている。
【０００５】
具体的には、まず、エアーを含む水を継続的に保持面から噴出させた状態で、保持面を撮像する。次いで、撮像により得られた画像における泡の有無に基づいて、目詰まりの程度を診断する（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
エアーを含む水は、保持面の細孔から噴出する際に泡を形成するので、泡が形成される領域では、目詰まりが生じていない又は目詰まりの程度が低いと、画像に基づいて客観的に診断できる。
【０００７】
しかし、泡の大きさは時間と共に変化し、泡の大きさが安定しない。また、時間と共に泡の発生と消滅とが繰り返されるので、撮像タイミングによっては、目詰まりが生じていない領域であるにもかかわらず、泡が撮像されないこともある。
【０００８】
加えて、得られた画像を二値化処理することにより泡の有無を判定するので、チャックテーブルを照らす光量が変化しただけでも診断結果が変わるという問題もある。それゆえ、泡が形成されている保持面の画像に基づいて目詰まりの程度を診断する手法は、診断結果の安定性に乏しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２０１５－６０９２２号公報
特開２０１８－１１４５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、泡の画像に基づいて目詰まりの程度を診断する場合に比べて、安定的に目詰まりの診断ができる診断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許