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公開番号2025156860
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-15
出願番号2024059587
出願日2024-04-02
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 7/04 20060101AFI20251007BHJP(研削;研磨)
要約【課題】保持テーブルで保持された被加工物に対して加工工具を鉛直方向に相対的に移動させながら加工する加工装置において、従来よりも加工状況を作業者が直感的に把握できる加工装置を提供すること。
【解決手段】加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルの上方に配設され、スピンドルの先端に装着された加工工具によって保持テーブルで保持された被加工物を加工する加工ユニットと、保持テーブルと加工ユニットとを相対的に接近及び離間する方向に移動させる移動ユニットと、表示部と、を備え、表示部は、保持テーブルまたは保持テーブルが保持する被加工物と、加工ユニットと、を側面方向から見た側面画像10-1,100-1,20-1によって、保持テーブルまたは保持テーブルが保持する被加工物と、加工ユニットと、の位置情報を表示することを特徴とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルの上方に配設され、スピンドルの先端に装着された加工工具によって該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルと該加工ユニットとを相対的に接近及び離間する方向に移動させる移動ユニットと、
少なくとも該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報を表示する表示部と、
を備える加工装置であって、
該表示部は、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、を側面方向から見た側面画像によって、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報を表示することを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
該表示部は、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報に対応する名称を表す文字または記号または図または数字を表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該表示部は、保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、を上面方向から見た上面画像によって、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報を表示し、
該側面画像または該上面画像を選択して表示することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
該加工工具は、研削砥石を配置した研削ホイールまたは研磨パッドであることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の被加工物を薄化加工する際には研削装置や研磨装置等の加工装置が使用される。例えば、研削装置は、環状に配置された研削砥石を有する加工工具である研削ホイールを、スピンドルの先端のマウントに装着して加工ユニットを構成する。スピンドルと共に回転する研削砥石を保持テーブルに保持された被加工物に接近する方向である鉛直方向に沿って移動ユニットによって相対的に移動させて接触させ被加工物を研削する。また、研削装置は、研削加工を施している状況を示す情報や被加工物の位置情報等を作業者に示す表示部を備えている。例えば、特許文献１では、研削装置を上から見たときの各構成要素の配置を示す配置図と、被加工物イラストと、を表示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１９８９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、研削装置や研磨装置等の加工装置は、保持テーブルで保持された被加工物に対して加工ユニットを鉛直方向に移動させながら加工するため、実際の加工状況をリアルタイムで表示する際に、特許文献１のように上から見た配置図を用いた場合、加工状況については、研削砥石の高さ方向の位置座標を数値で表示するくらいしか方法が無い。そして数値情報では、作業者が直感的に加工状況を把握しづらいという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、保持テーブルで保持された被加工物に対して加工工具を鉛直方向に相対的に移動させながら加工する加工装置において、従来よりも加工状況を作業者が直感的に把握できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルの上方に配設され、スピンドルの先端に装着された加工工具によって該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該保持テーブルと該加工ユニットとを相対的に接近及び離間する方向に移動させる移動ユニットと、少なくとも該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報を表示する表示部と、を備える加工装置であって、該表示部は、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、を側面方向から見た側面画像によって、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報を表示することを特徴とする。
【０００７】
該表示部は、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報に対応する名称を表す文字または記号または図または数字を表示してもよい。
【０００８】
該表示部は、保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、を上面方向から見た上面画像によって、該保持テーブルまたは該保持テーブルが保持する該被加工物と、該加工ユニットと、の位置情報を表示し、該側面画像または該上面画像を選択して表示してもよい。
【０００９】
該加工工具は、研削砥石を配置した研削ホイールまたは研磨パッドであってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、表示部が、保持テーブルまたは保持テーブルが保持する被加工物と、加工ユニットと、を側面方向から見た側面画像を配置して表示する画面上の位置によって、保持テーブルまたは保持テーブルが保持する被加工物と、加工ユニットと、の実際の位置情報を作業者が視認可能に表示するので、保持テーブルで保持された被加工物に対して加工工具を鉛直方向に相対的に移動させながら加工する加工装置において、従来よりも、保持テーブルで保持された被加工物に対する加工工具の位置関係及び実行中の動作の種類といった加工状況を、作業者が直感的に把握できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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