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公開番号2025158236
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-17
出願番号2024060584
出願日2024-04-04
発明の名称搬送システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251009BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出するために定期的に掃除用自動走行車両を走行路から下ろす必要がないとともに、粉塵を排出する際に自動搬送装置の走行を停止する必要がない搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送システム2においては、掃除用自動走行車両18が走行パネル10に堆積した粉塵を収集する。自動搬送装置8の走行を妨げない領域に掃除用自動走行車両18が収集した粉塵を排出する排出領域20が形成されている。掃除用自動走行車両18は必要に応じて粉塵を排出領域20で排出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムであって、
掃除用自動走行車両が走行パネルに堆積した粉塵を収集し、該自動搬送装置の走行を妨げない領域に該掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出する排出領域が形成され、該掃除用自動走行車両は必要に応じて粉塵を該排出領域で排出する搬送システム。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
該排出領域には、粉塵が排出される排出穴と、該排出穴に連通するダクトと、粉塵を集塵する集塵手段と、を備えた集塵装置が配設され、該掃除用自動走行車両が収集した粉塵が該排出穴と該ダクトを介して該集塵手段に集塵される請求項１記載の搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに形成された後、切削装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
また、本出願人は研削装置、切削装置、レーザー加工装置等の加工装置と複数のウエーハを収容したウエーハ保管装置等を含む処理装置の天板を利用して走行路を配設し、処理装置間を自動搬送装置が走行してウエーハ保管装置から各加工装置にウエーハを搬送したり消耗品を搬送したりする搬送システムを開発した（たとえば特許文献１参照）。
【０００４】
加工装置を含む処理装置はクリーンルームに配設されているが、自動搬送装置が処理装置間を走行すると、走行路に堆積した粉塵が飛散してクリーンルームの精度が低下する。そこで、掃除用自動走行車両が必要に応じて走行し走行路を掃除している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－０１３８９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出するために、定期的に走行路から掃除用自動走行車両を下ろして粉塵を排出しなければならす煩に堪えないとともに、自動搬送装置の走行を停止しなければならない場合があり生産性が低下するという問題がある。
【０００７】
本発明の課題は、掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出するために定期的に掃除用自動走行車両を走行路から下ろす必要がないとともに、粉塵を排出する際に自動搬送装置の走行を停止する必要がない搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の搬送システムが提供される。すなわち、
「複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムであって、
掃除用自動走行車両が走行パネルに堆積した粉塵を収集し、該自動搬送装置の走行を妨げない領域に該掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出する排出領域が形成され、該掃除用自動走行車両は必要に応じて粉塵を該排出領域で排出する搬送システム」が提供される。
【０００９】
好ましくは、該排出領域には、粉塵が排出される排出穴と、該排出穴に連通するダクトと、粉塵を集塵する集塵手段と、を備えた集塵装置が配設され、該掃除用自動走行車両が収集した粉塵が該排出穴と該ダクトを介して該集塵手段に集塵される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の搬送システムは、
複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムであって、
掃除用自動走行車両が走行パネルに堆積した粉塵を収集し、該自動搬送装置の走行を妨げない領域に該掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出する排出領域が形成され、該掃除用自動走行車両は必要に応じて粉塵を該排出領域で排出するので、掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出するために定期的に掃除用自動走行車両を走行路から下ろす必要がない。また、本発明に搬送システムにおいては、掃除用自動走行車両が収集した粉塵を排出する排出領域が自動搬送装置の走行を妨げない領域に形成されるので、粉塵を排出する際に自動搬送装置の走行を停止する必要がなく生産性の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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