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公開番号2025168791
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-12
出願番号2024073545
出願日2024-04-30
発明の名称洗浄装置及び洗浄方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251105BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄ブラシへのパーティクルの付着を抑制し、ウェーハを確実に洗浄すること。
【解決手段】保持部3と、洗浄ブラシ2を備えるウェーハ洗浄ユニット1と、洗浄ブラシ2に接触して該洗浄ブラシ2を洗浄する洗浄板21を備えるブラシ洗浄ユニット20と、洗浄ブラシ2と洗浄板21とを近接及び離間する方向に相対的に移動させる移動ユニット30と、コントローラ40を備える洗浄装置において実施される洗浄方法は、ウェーハWの表面を洗浄ブラシによって洗浄した後、コントローラによって移動ユニットを制御して洗浄ブラシと洗浄板2とを接触させた状態から両者をさらに近接させて洗浄ブラシ2を変形させた後、洗浄ブラシ2と洗浄板21とを離間させて洗浄ブラシ2を変形前の状態に復元させる変形動作を少なくとも1回行うことを特徴とする。
【選択図】図8C
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持する保持部と、該保持部に保持されたウェーハに接触して該ウェーハを洗浄する洗浄ブラシと、ウェーハに向けて洗浄液を供給する洗浄液供給手段を備えるウェーハ洗浄ユニットと、
前記洗浄ブラシに接触して該洗浄ブラシを洗浄する洗浄板を備えるブラシ洗浄ユニットと、
前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを近接及び離間する方向に相対的に移動させる移動ユニットと、
を含んで構成される洗浄装置であって、
前記移動ユニットを制御して前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを接触させた状態から両者をさらに近接させて前記洗浄ブラシを変形させた後、前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを離間させて前記洗浄ブラシを変形前の状態に復元させる変形動作を少なくとも１回行わせるコントローラを備えることを特徴とする洗浄装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記ブラシ洗浄ユニットは、
前記洗浄ブラシにアルカリ性溶液を供給するアルカリ性溶液供給手段と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記ブラシ洗浄ユニットは、
少なくとも前記アルカリ性溶液を超音波振動させる超音波発振器を備えることを特徴とする請求項２記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄ブラシは、
中心部に円孔を形成して円環状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄ブラシの外周の円環状部分に複数の溝が放射状に形成されていることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄ブラシのウェーハの表面に接触する接触領域に格子状または放射状の溝が形成されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項７】
請求項１～６の何れかに記載の洗浄装置において実施される洗浄方法であって、
ウェーハを前記洗浄ブラシによって洗浄した後、前記コントローラによって前記移動ユニットを制御して前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを接触させた状態から両者をさらに近接させて前記洗浄ブラシを変形させた後、前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを離間させて前記洗浄ブラシを変形前の状態に復元させる変形動作を少なくとも１回行わせることを特徴とする洗浄方法。
【請求項８】
前記洗浄ブラシの前記変形動作中または前記変形動作を実施した後、前記洗浄ブラシにアルカリ性溶液を供給して該洗浄ブラシに前記アルカリ性溶液を含浸させることを特徴とする請求項７記載の洗浄方法。
【請求項９】
前記洗浄ブラシに前記アルカリ性溶液を含浸させる前に、前記洗浄ブラシに洗浄水を供給して該洗浄ブラシに洗浄水を含浸させることを特徴とする請求項８記載の洗浄方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを洗浄するウェーハ洗浄ユニットと洗浄ブラシを洗浄するブラシ洗浄ユニットを備える洗浄装置及び該洗浄装置を用いて実施される洗浄方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程においては、例えば、ウェーハを研削及び研磨した後にウェーハの表面に付着した研削屑など（以下、「パーティクル」と称する）を除去して該ウェーハの表面を洗浄する洗浄工程が各種洗浄装置によって実施されている。このような洗浄装置には、ウェーハを保持してこれを周方向に回転させる保持部と、該保持部に保持されて回転するウェーハの表面に接触しながら回転及び該ウェーハの径方向に揺動する洗浄ブラシを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記洗浄装置においては、洗浄液を供給しつつ、回転しながらウェーハの径方向に揺動する洗浄ブラシを回転するウェーハの表面に接触させることによって、ウェーハの全面が洗浄ブラシによって洗浄され、該ウェーハの表面に付着したパーティクルが除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－０１７４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、洗浄によってウェーハの表面から除去されたパーティクルが洗浄ブラシ自身に付着するため、次に洗浄されるウェーハの洗浄が不十分になってしまう可能性があるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、洗浄ブラシへのパーティクルの付着を抑制し、ウェーハを確実に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための第１発明は、ウェーハを保持する保持部と、該保持部に保持されたウェーハに接触して該ウェーハを洗浄する洗浄ブラシと、ウェーハに向けて洗浄液を供給する洗浄液供給手段を備えるウェーハ洗浄ユニットと、前記洗浄ブラシに接触して該洗浄ブラシを洗浄する洗浄板を備えるブラシ洗浄ユニットと、前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを近接及び離間する方向に相対的に移動させる移動ユニットと、を含んで構成される洗浄装置であって、前記移動ユニットを制御して前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを接触させた状態から両者をさらに近接させて前記洗浄ブラシを変形させた後、前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを離間させて前記洗浄ブラシを変形前の状態に復元させる変形動作を少なくとも１回行わせるコントローラを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、第２発明は、第１発明に係る洗浄装置において実施される洗浄方法であって、ウェーハの表面を前記洗浄ブラシによって洗浄した後、前記コントローラによって前記移動ユニットを制御して前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを接触させた状態から両者をさらに近接させて前記洗浄ブラシを変形させた後、前記洗浄ブラシと前記洗浄板とを離間させて前記洗浄ブラシを変形前の状態に復元させる変形動作を少なくとも１回行わせることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る洗浄装置において実施される本発明に係る洗浄方法によれば、洗浄液供給手段によってウェーハに洗浄液を供給しながら、ウェーハの表面を洗浄ブラシによって洗浄した後、コントローラによって移動ユニットを制御して洗浄ブラシの変形動作、つまり、洗浄ブラシと洗浄板とを接触させた状態から両者をさらに近接させて洗浄ブラシを変形させた後、洗浄ブラシと洗浄板とを離間させて洗浄ブラシを変形前の状態に復元させる変形動作を少なくとも１回行わせるようにしたため、ウェーハの洗浄によって洗浄ブラシに吸収された洗浄液が洗浄ブラシの変形動作によるポンピング作用によってパーティクルと共に洗浄ブラシから効果的に排出される。このため、洗浄によってウェーハの表面から除去されたパーティクルが洗浄ブラシ自身に付着するという問題が解消され、洗浄ブラシによる次のウェーハの洗浄を十分効果的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係る洗浄装置のブラシ洗浄ユニット要部の構成を示す斜視図である。
本発明に係る洗浄装置のブラシ洗浄ユニット要部（移動ユニット部分）の部分縦断面図である。
（ａ）～（ｄ）は本発明に係る洗浄装置の洗浄ブラシの種々の形態を示す斜視図である。
本発明に係る洗浄装置要部の部分縦断面図である。
本発明に係る洗浄方法の手順を示すフローチャートである。
本発明に係る洗浄装置のウェーハ洗浄ユニットによってウェーハを洗浄している状態を示す部分縦断面図である。
本発明に係る洗浄装置のウェーハ洗浄ユニットによってウェーハを洗浄している状態を示す部分平面図である。
本発明に係る洗浄方法における洗浄ブラシの変形動作（洗浄ブラシの近接動作）を示す部分縦断面図である。
本発明に係る洗浄方法における洗浄ブラシの変形動作（洗浄ブラシの接触動作）を示す部分縦断面図である。
本発明に係る洗浄方法における洗浄ブラシの変形動作（洗浄ブラシの押圧動作）を示す部分縦断面図である。
本発明に係る洗浄方法における洗浄ブラシの変形動作（洗浄ブラシの復元動作）を示す部分縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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