特許ウォッチ

公開番号2025160622
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-23
出願番号2024063273
出願日2024-04-10
発明の名称加工装置及び支持柱
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20251016BHJP(研削;研磨)
要約【課題】装置の大型化を抑え、2つの部品の距離を調整する作業時間を短くすること。
【解決手段】研削装置(1)は、ウェーハ(W)を保持する保持ユニット(40)と、保持されたウェーハを研削する研削砥石(39)を装着して回転させる研削ユニット(30)とを備えている。保持ユニットは、ウェーハを保持するチャックテーブル(12)と、チャックテーブルを装着するテーブルベース(45)と、テーブルベースを支持する基台(53)と、基台に立設しテーブルベースと基台との間に配置する調整用支持柱(60)と、調整用支持柱と基台との間に配置するベアリング(312)と、支持柱内に柱状に配置する荷重センサ(67)とを備えている。支持柱は、テーブルベースに設けた雌ねじ部(471)に螺合する第1雄ねじ部(71)と、ベアリングを介して基台に支持され第1雄ねじ部を回転させる操作で調整用支持柱の軸方向の位置を維持する取付面(73)とを備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持する保持ユニットと、該保持ユニットに保持されたウェーハを加工する加工具を装着して回転させる加工ユニットとを備える加工装置であって、
該保持ユニットは、ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを装着し回転させるテーブルベースと、該テーブルベースを支持する基台と、該基台に立設し該テーブルベースと該基台との間に配置する支持柱と、該支持柱と該基台との間に配置する回転支持部と、該支持柱内に柱状に配置する荷重センサとを備え、
該支持柱は、該テーブルベースに設けた雌ねじ部に螺合する雄ねじ部と、該回転支持部を介して該基台に支持され該雄ねじ部を回転させる操作で該支持柱の軸方向の位置を維持する取付面とを備える、加工装置。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
ウェーハを保持する保持ユニットと、該保持ユニットに保持されたウェーハを加工する加工具を装着して回転させる加工ユニットとを備える加工装置であって、
該加工ユニットは、該加工具を先端に装着するスピンドルユニットと、該スピンドルユニットを支持する基台と、該基台に立設し該スピンドルユニットと該基台との間に配置する支持柱と、該支持柱と該基台との間に配置する回転支持部と、該支持柱内に柱状に配置する荷重センサとを備え、
該支持柱は、該スピンドルユニットに設けた雌ねじ部に螺合する雄ねじ部と、該回転支持部を介して該基台に支持され該雄ねじ部を回転させる操作で該支持柱の軸方向の位置を維持する取付面とを備える、加工装置。
【請求項３】
該雌ねじ部及び該雄ねじ部の軸方向にて相反する方向の力を作用させる弾性部材を更に備える請求項１または請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
第１部品に設けた雌ねじ部に螺合する雄ねじ部と、
第２部品に設けた回転支持部を介して該第２部品に支持され該雄ねじ部を回転させる操作で軸方向の位置を維持する取付面と、
該雄ねじ部と該取付面との間で内部に配設する円柱状の荷重センサと、を備える支持柱。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び支持柱に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び２は、チャックテーブルに保持されたウェーハを研削する研削装置を開示している。特許文献１及び２は、チャックテーブルの保持面と研削砥石の研削面とを平行な状態としてウェーハの表面を高精度に仕上げるため、チャックテーブルの傾きを調整する傾き調整機構を備えている。
【０００３】
また、特許文献２は、チャックテーブルが保持したウェーハに研削砥石を押し付けた際のチャックテーブルが受ける荷重を荷重センサで検知している。特許文献２では、チャックテーブルを基台で支持しており、基台とチャックテーブルとの間に荷重センサを配置している。
【０００４】
ここで、特許文献３は、チャックテーブルの傾き調整機構がチャックテーブルと基台とを連結する調整ねじを備えて構成され、調整ねじの内部に荷重センサを設けている。調整ねじは、ねじピッチが異なる２つの雄ねじ部を備え、２つの雄ねじ部の一方がチャックテーブルに設けられる雌ねじに螺合し、２つの雄ねじ部の他方が基台に設けられる雌ねじに螺合している。調整ねじの２つの雄ねじ部はねじピッチが異なるので、調整ねじを回転操作すると、調整ねじに対するチャックテーブルの移動距離と、基台の移動距離とが相違し、該相違によってチャックテーブルと基台との距離を長くしたり短くしたりして傾きを調整可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－００１６５３号公報
特開２０２１－１１５６６９号公報
特開２０２１－１３７８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２にあっては、荷重センサがチャックテーブルと基台との間に挟まれて配置されるので、傾き調整機構が大きくなり、ひいては研削装置全体も大きくなる、という問題がある。
【０００７】
また、特許文献３は、調整ねじにおける２つの雄ねじ部のねじピッチが異なることで、チャックテーブルと基台との距離を調整可能としている。このため、かかる距離の調整量に対し、調整ねじの回転の操作量が多くなり、調整に要する作業時間が長くなる、という問題がある。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、装置の大型化することを抑えることができ、２つの部品の距離を調整する作業時間を短くすることができる加工装置及び支持柱を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の加工装置は、ウェーハを保持する保持ユニットと、該保持ユニットに保持されたウェーハを加工する加工具を装着して回転させる加工ユニットとを備える加工装置であって、該保持ユニットは、ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを装着し回転させるテーブルベースと、該テーブルベースを支持する基台と、該基台に立設し該テーブルベースと該基台との間に配置する支持柱と、該支持柱と該基台との間に配置する回転支持部と、該支持柱内に柱状に配置する荷重センサとを備え、該支持柱は、該テーブルベースに設けた雌ねじ部に螺合する雄ねじ部と、該回転支持部を介して該基台に支持され該雄ねじ部を回転させる操作で該支持柱の軸方向の位置を維持する取付面とを備える。
【００１０】
本発明の他の一態様の加工装置は、ウェーハを保持する保持ユニットと、該保持ユニットに保持されたウェーハを加工する加工具を装着して回転させる加工ユニットとを備える加工装置であって、該加工ユニットは、該加工具を先端に装着するスピンドルユニットと、該スピンドルユニットを支持する基台と、該基台に立設し該スピンドルユニットと該基台との間に配置する支持柱と、該支持柱と該基台との間に配置する回転支持部と、該支持柱内に柱状に配置する荷重センサとを備え、該支持柱は、該スピンドルユニットに設けた雌ねじ部に螺合する雄ねじ部と、該回転支持部を介して該基台に支持され該雄ねじ部を回転させる操作で該支持柱の軸方向の位置を維持する取付面とを備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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