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公開番号2025161349
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-24
出願番号2024064460
出願日2024-04-12
発明の名称搬送システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251017BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】自動搬送装置が走行しても粉塵が飛散することがない搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送システム2においては、自動搬送装置8の走行を妨げないように複数の穴16が走行パネル10に形成され、粉塵が複数の穴16から排出され走行パネル10に粉塵が堆積するのを防止する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムであって、
該走行パネルには、該自動搬送装置の走行を妨げないように複数の穴が形成され、粉塵が該複数の穴から排出され該走行パネルに粉塵が堆積するのを防止する搬送システム。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
複数の加工装置を含む処理装置はクリーンルームに配設され、該クリーンルームの天井から供給され該クリーンルームの床から排出される空気の流れによって該走行パネルに形成された該複数の穴を通して粉塵が排出される請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
該走行パネルの下部にフィルタが配設され該複数の穴から排出された粉塵が該フィルタによって捕獲される請求項２記載の搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに形成された後、切削装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
また、本出願人は研削装置、切削装置、レーザー加工装置等の加工装置と複数のウエーハを収容したウエーハ保管装置等を含む処理装置の天板を利用して走行路を配設し、処理装置間を自動搬送装置が走行してウエーハ保管装置から各加工装置にウエーハを搬送したり消耗品を搬送したりする搬送システムを開発した（たとえば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－０１３８９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
加工装置を含む処理装置はクリーンルームに配設されているが、自動搬送装置が処理装置間を走行すると、走行路に堆積した粉塵が飛散してクリーンルームの精度が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、自動搬送装置が走行しても粉塵が飛散することがない搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の搬送システムが提供される。すなわち、
「複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムであって、
該走行パネルには、該自動搬送装置の走行を妨げないように複数の穴が形成され、粉塵が該複数の穴から排出され該走行パネルに粉塵が堆積するのを防止する搬送システム」が提供される。
【０００８】
好ましくは、複数の加工装置を含む処理装置はクリーンルームに配設され、該クリーンルームの天井から供給され該クリーンルームの床から排出される空気の流れによって該走行パネルに形成された該複数の穴を通して粉塵が排出される。
【０００９】
該走行パネルの下部にフィルタが配設され該複数の穴から排出された粉塵が該フィルタによって捕獲されるのが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の搬送システムは、
複数の加工装置を含む処理装置の天板に自動搬送装置が走行する走行パネルが配設された搬送システムであって、
該走行パネルには、該自動搬送装置の走行を妨げないように複数の穴が形成され、粉塵が該複数の穴から排出され該走行パネルに粉塵が堆積するのを防止するので、自動搬送装置が走行しても粉塵が飛散することがない。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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