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公開番号2025167504
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024072184
出願日2024-04-26
発明の名称切削装置、及び被加工物の切削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 55/06 20060101AFI20251030BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削ブレードの切削砥石に付着する屑を除去して被加工物を高品質に切削する。
【解決手段】被加工物を切削する切削装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を切削する円環状の切削砥石を備えた切削ブレードを回転可能に装着できる切削ユニットと、を備え、該切削ユニットは、装着された該切削ブレードの一方の側面に洗浄流体を噴射する第1ノズルと、該切削ブレードの他方の側面に該洗浄流体を噴射する第2ノズルと、を含み、該第1ノズル及び該第2ノズルには、該洗浄流体が噴出する噴射口がそれぞれ形成されており、該洗浄流体は、水及び気体の両方を含む混合流体である。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を切削する切削装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルで保持された該被加工物を切削する円環状の切削砥石を備えた切削ブレードを回転可能に装着できる切削ユニットと、を備え、
該切削ユニットは、装着された該切削ブレードの一方の側面に洗浄流体を噴射する第１ノズルと、該切削ブレードの他方の側面に該洗浄流体を噴射する第２ノズルと、を含み、
該第１ノズル及び該第２ノズルには、該洗浄流体が噴出する噴射口がそれぞれ形成されており、
該洗浄流体は、水及び気体の両方を含む混合流体であることを特徴とする切削装置。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
該噴射口は、水平方向及び鉛直方向の間の方向に向いていることを特徴とする請求項１記載の切削装置。
【請求項３】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を切削する円環状の切削砥石を備えた切削ブレードを装着可能な切削ユニットと、を備え、該切削ユニットは、装着された該切削ブレードの一方の側面に洗浄流体を噴射する第１ノズルと、該切削ブレードの他方の側面に該洗浄流体を噴射する第２ノズルと、を含み、該第１ノズル及び該第２ノズルには、該洗浄流体が噴出する噴射口がそれぞれ形成されており、該噴射口は、水平方向と鉛直方向の間の方向に向いている切削装置を使用して、該被加工物を切削する被加工物の切削方法であって、
該切削ユニットに装着された該切削ブレードの該切削砥石をドレスするドレッシングステップと、
該第１ノズルの該噴射口から該切削砥石の該一方の側面に該洗浄流体を噴射するとともに該第２ノズルの該噴射口から該切削砥石の該他方の側面に該洗浄流体を噴射することで該切削砥石を洗浄する洗浄ステップと、
該洗浄ステップの後に、該チャックテーブルで保持された該被加工物を該切削ユニットに装着された該切削ブレードで切削する切削ステップと、を備え、
該洗浄ステップは、該ドレッシングステップと同時に、該ドレッシングステップ及び該切削ステップの間に、または、該切削ステップと同時に実施されることと特徴とする被加工物の切削方法。
【請求項４】
該洗浄流体は、水及び気体の両方を含む混合流体であることを特徴とする請求項３記載の被加工物の切削方法。
【請求項５】
該噴射口は、水平方向及び鉛直方向の間の方向に向いていることを特徴とする請求項３または請求項４記載の被加工物の切削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードを装着可能な切削ユニットと、を備える切削装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造工程では、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画されたウェーハの表面側の複数の領域に、それぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成される。その後、分割予定ラインに沿って分割することにより、それぞれがデバイスを備える複数のデバイスチップが得られる。デバイスチップは、携帯端末、パーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される。
【０００３】
ウェーハの分割には、切削装置が使用される（特許文献１参照）。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、円環状の切削砥石を備える切削ブレードが装着される切削ユニットと、を備える。切削ユニットは、装着された切削ブレードを回転させる回転駆動機構を備える。切削装置で被加工物を切削する際には、切削ブレードを回転させ、回転する切削ブレードの切削砥石を被加工物に切り込ませる。
【０００４】
被加工物を切削ブレードで切削すると、被加工物及び切削ブレードから加工屑及び加工熱が発生する。そのため、切削装置では、被加工物を切削する間、切削ブレード及び被加工物に純水等で構成される切削水が供給される。特に、切削ブレードの切削砥石には、外周方向から外周面に向けて切削水が供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－７５５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、ウェーハの分割により製造されるチップに求められる品質の水準が高まっている。これに伴い、これまでに大きな問題とはならなかった大きさの屑のチップへの付着が問題視されるようになっている。また、切削ブレードの切削砥石の円環状の側面に付着し残留した屑による切削の品質低下が問題となっている。特に粒子径の小さな屑は、切削砥石の側面に付着したときに切削砥石の外周面に供給される切削水では十分に除去されない。
【０００７】
さらに、切削砥石の側面に屑が付着した切削ブレードで被加工物（ウェーハ）を切削すると、屑が被加工物に接触して切削砥石から分離して被加工物に形成されたデバイスに付着する。そのため、被加工物が分割されて形成されるチップの品質が屑により低下する。
【０００８】
また、切削砥石の切削能力の維持のために、切削ブレードにはドレッシングと呼ばれる処理が定期的に実施される。ドレッシングでは、ドレッシングボードと呼ばれる部材に切削ブレードの切削砥石を切り込ませる。このドレッシングボードには、アルミニウムやニッケル等の金属が含まれる。そのため、ドレッシングによりこれらの金属を含む屑が生じ、切削ブレードの切削砥石の側面に付着する。金属を含む屑が切削砥石に付着した切削ブレードで被加工物を切削すると、この屑が被加工物に付着して汚染源となり問題となる。
【０００９】
よって、本発明の目的は、切削ブレードの切削砥石に付着する屑を除去して被加工物を高品質に切削できる切削装置、及び被加工物の切削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、被加工物を切削する切削装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を切削する円環状の切削砥石を備えた切削ブレードを回転可能に装着できる切削ユニットと、を備え、該切削ユニットは、装着された該切削ブレードの一方の側面に洗浄流体を噴射する第１ノズルと、該切削ブレードの他方の側面に該洗浄流体を噴射する第２ノズルと、を含み、該第１ノズル及び該第２ノズルには、該洗浄流体が噴出する噴射口がそれぞれ形成されており、該洗浄流体は、水及び気体の両方を含む混合流体であることを特徴とする切削装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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