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公開番号2025165555
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069675
出願日2024-04-23
発明の名称シート固着装置及びシートが固着されている被固着物を製造する方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251028BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】シートに異物が付着した状態でウェーハ等の被固着物の被固着面にシートを固着することを防止することが可能なシート固着装置を提供する。
【解決手段】シート固着装置であって、被固着面に対応する形状を有する固着領域と固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、準備ユニットによって準備された個片シートの固着領域を被固着物の被固着面に固着するための固着ユニットと、固着ユニットによって被固着面に固着領域が固着された個片シートから余剰領域を除去するための除去ユニットと、準備ユニット、固着ユニット及び除去ユニットを制御するためのコントローラと、を備える。コントローラは、個片シートとなる部分を含む原反ロールから当該部分を引き出しながら当該部分に付着した異物を除去してから原反ロールから当該部分を切り出すことによって個片シートが準備されるように準備ユニットを制御する。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
被固着物の被固着面に該被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置であって、
該被固着面に対応する形状を有する固着領域と該固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、
該準備ユニットによって準備された該個片シートの該固着領域を該被固着物の該被固着面に固着するための固着ユニットと、
該固着ユニットによって該被固着面に該固着領域が固着された該個片シートから該余剰領域を除去するための除去ユニットと、
該準備ユニット、該固着ユニット及び該除去ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、
該準備ユニットは、
該個片シートとなる部分を含む原反ロールから該部分を引き出すための引き出し部と、
該部分に付着した異物を除去するための異物除去部と、
該原反ロールから該部分を切り出すための切り出し部と、を有し、
該コントローラは、該引き出し部によって該部分を引き出しながら該異物除去部によって該部分に付着した該異物を除去してから該切り出し部によって該原反ロールから該部分を切り出すことによって該個片シートが準備されるように該準備ユニットを制御する、シート固着装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
該原反ロールは、
該部分を含む帯状シートと、
該帯状シートの一面の全域に設けられ、かつ、該帯状シートとともに巻回されている保護シートと、を有し、
該準備ユニットは、
該保護シートのうち該個片シートの該固着領域と重なる被剥離領域を切り抜くための切り抜き部と、
該被剥離領域を該個片シートから剥離するための剥離部と、をさらに有し、
該コントローラは、該切り抜き部によって切り抜かれた該保護シートの該被剥離領域を該剥離部によって該個片シートから剥離するように該準備ユニットを制御する、請求項１に記載のシート固着装置。
【請求項３】
該剥離部は、
吸着端を含むとともに、第１方向に沿って延在し、かつ、該第１方向において移動可能なロッドと、
それぞれが該第１方向に直交する第２方向に沿って延在し、かつ、該第１方向及び該第２方向のそれぞれに直交する第３方向において互いの相対移動が可能な一対のローラと、を有し、
該コントローラは、該保護シートの該被剥離領域に該吸着端を吸着させてから該吸着端とともに該被剥離領域の一部を該個片シートから剥離するように該ロッドを該第１方向において往復させた後に、該被剥離領域の該一部を該一対のローラによって挟持するように該一対のローラを該第３方向において相対移動させてから該被剥離領域の残部を該個片シートから剥離するように該一対のローラのそれぞれを回転させるように該準備ユニットの該剥離部を制御する、請求項２に記載のシート固着装置。
【請求項４】
該準備ユニットは、該個片シートの該固着領域を撮像するためのカメラを含む撮像部をさらに有し、
該コントローラは、該個片シートの該固着領域を撮像するように該撮像部を制御することによって形成される画像に基づいて該個片シートの該固着領域に異物が付着しているか否かを判定する、請求項１乃至３のいずれかに記載のシート固着装置。
【請求項５】
該固着ユニットは、
該被固着物を保持するための第１保持部と、
該個片シートを保持するための第２保持部と、
該被固着物の該被固着面に向けて該個片シートの該固着領域を押圧するための押圧部と、を有し、
該コントローラは、該第１保持部によって該被固着面が露出された状態で該被固着物を保持し、かつ、該第２保持部によって該固着領域が露出されるとともに該被固着面と対向した状態で該個片シートを保持しながら、該押圧部によって該被固着面に向けて該固着領域を押圧するように該固着ユニットを制御する、請求項１乃至３のいずれかに記載のシート固着装置。
【請求項６】
該押圧部は、該第１保持部によって保持されている該被固着物とともに該第２保持部によって保持されている該個片シートを挟持するように位置付けられているローラを含み、
該コントローラは、該ローラを転動させることによって該固着領域が該被固着面に向けて押圧されるように該固着ユニットの該押圧部を制御する、請求項５に記載のシート固着装置。
【請求項７】
該固着ユニットは、該固着領域の該被固着面への固着を大気圧よりも減圧された空間において行わせるための減圧部をさらに有し、
該減圧部は、
該被固着物を保持する該第１保持部と該個片シートを保持する該第２保持部と該ローラとを収容するためのチャンバと、
該チャンバの内部空間を減圧するためのポンプと、を含み、
該コントローラは、該ポンプによって該チャンバの該内部空間を減圧した状態で該固着領域が該被固着面に向けて押圧されるように該固着ユニットの該押圧部及び該減圧部を制御する、請求項６に記載のシート固着装置。
【請求項８】
該準備ユニット、該固着ユニット及び該除去ユニットを収容するための筐体と、
該筐体内にダウンフローを生じさせるためのファンと、
該筐体内の微粒子数を計測するためのカウンタと、をさらに備え、
該コントローラは、該カウンタによって計測された微粒子数に応じて動作条件を変更するように該ファンを制御する、請求項１乃至３のいずれかに記載のシート固着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被固着物の被固着面に被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハを薄化してから個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
ウェーハの薄化は、例えば、研削装置において裏面側を研削することによって行われる。また、ウェーハの分割は、例えば、切削装置又はレーザー加工装置において複数のデバイスの境界を除去することによって行われる。
【０００４】
ただし、ウェーハを薄化する際には、その表面側が強く押圧されて複数のデバイスが破損するおそれがある。また、ウェーハを分割する際には、製造されるチップが離散してそれらの取り扱いが困難になるおそれがある。
【０００５】
これらの点を踏まえて、ウェーハを加工する前には、シート固着装置においてウェーハにシートを固着することが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このシート固着装置においては、巻回されているシート（原反ロール）から所望の部分を引き出して切り出した後に、切り出された部分（個片シート）をウェーハに固着することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－８１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
シートに微細なゴミ等の異物が付着していると、この異物を挟持するようにウェーハにシートが固着されることがある。この場合、ウェーハを加工する際に局所的に大きな応力が生じてウェーハが破損するおそれがある。
【０００８】
この点に鑑み、本発明の目的は、シートに異物が付着した状態でウェーハ等の被固着物の被固着面にシートを固着することを防止することが可能なシート固着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、被固着物の被固着面に該被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置であって、該被固着面に対応する形状を有する固着領域と該固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、該準備ユニットによって準備された該個片シートの該固着領域を該被固着物の該被固着面に固着するための固着ユニットと、該固着ユニットによって該被固着面に該固着領域が固着された該個片シートから該余剰領域を除去するための除去ユニットと、該準備ユニット、該固着ユニット及び該除去ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、該準備ユニットは、該個片シートとなる部分を含む原反ロールから該部分を引き出すための引き出し部と、該部分に付着した異物を除去するための異物除去部と、該原反ロールから該部分を切り出すための切り出し部と、を有し、該コントローラは、該引き出し部によって該部分を引き出しながら該異物除去部によって該部分に付着した該異物を除去してから該切り出し部によって該原反ロールから該部分を切り出すことによって該個片シートが準備されるように該準備ユニットを制御するシート固着装置が提供される。
【００１０】
なお、本発明のシート固着装置においては、該原反ロールは、該部分を含む帯状シートと、該帯状シートの一面の全域に設けられ、かつ、該帯状シートとともに巻回されている保護シートと、を有し、該準備ユニットは、該保護シートのうち該個片シートの該固着領域と重なる被剥離領域を切り抜くための切り抜き部と、該被剥離領域を該個片シートから剥離するための剥離部と、をさらに有し、該コントローラは、該切り抜き部によって切り抜かれた該保護シートの該被剥離領域を該剥離部によって該個片シートから剥離するように該準備ユニットを制御することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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