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公開番号2025158440
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-17
出願番号2024060972
出願日2024-04-04
発明の名称加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20251009BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】樹脂の回り込みを抑制することができる加工方法を提供すること。
【解決手段】加工方法は、表面と表面の背面の裏面とを有した板状物の加工方法であって、板状物の表面を保護する保護層を形成する保護ステップ101と、保護ステップ101を実施した後、板状物を保持する保持面を有した保持ユニットで保護層を介して板状物の表面側を保持する保持ステップ102と、板状物を固定する樹脂をシート上に供給する樹脂供給ステップ103と、樹脂が供給されたシートに対して保持ユニットで保持された板状物の裏面を対面させるとともにシートに対して板状物を相対移動させて板状物で樹脂を押し広げ、樹脂を介して板状物をシートに固定する固定ステップ104と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と該第１面の背面の第２面とを有した板状物の加工方法であって、
板状物の該第１面を保護する保護層を形成する保護ステップと、
該保護ステップを実施した後、該板状物を保持する保持面を有した保持ユニットで該保護層を介して該板状物の該第１面側を保持する保持ステップと、
該板状物を固定する樹脂をシート上に供給する樹脂供給ステップと、
該樹脂が供給された該シートに対して該保持ユニットで保持された該板状物の該第２面を対面させるとともに該シートに対して該板状物を相対移動させて該板状物で該樹脂を押し広げ、該樹脂を介して該板状物を該シートに固定する固定ステップと、を備えた加工方法。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
該固定ステップを実施した後、該シートに固定された該板状物の該第１面から該保護層を除去する除去ステップと、
該除去ステップを実施した後、該シートを保持する保持面を有した保持ユニットで該シートを保持するとともに該板状物を露出させるシート保持ステップと、
該シート保持ステップを実施した後、露出した該板状物に加工を施す加工ステップと、を備えた請求項１に記載の加工方法。
【請求項３】
該保護ステップでは、外的刺激を付与することで硬化するとともに硬化後は水に曝すことで剥離自在な樹脂で該板状物の該第１面を被覆して該外的刺激を該樹脂に付与することで該保護層を形成する、請求項１に記載の加工方法。
【請求項４】
該除去ステップでは、該保護層に水を供給することで該保護層を該板状物の該第１面から除去する、請求項２に記載の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウェーハはインゴットをワイヤーソーなどでスライスしたアズスライスウェーハの両面を研削、研磨して形成される。
【０００３】
インゴットからのスライス時に生じるうねりや反りを除去するために、アズスライスウェーハの一方の面に樹脂を塗布し硬化させた後ウェーハを研削しており、樹脂の塗布に用いる装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に示された装置は、樹脂がステージに固着しないためにもシートをステージ上に配設し、その上に供給した樹脂に対して、他方の面側が保持ユニットで保持されたウェーハの一方の面側を押しつけて、ウェーハの一方の面側に樹脂を押し広げ、樹脂を介してウェーハをシートに固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－３３００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示された装置は、ウェーハを樹脂に押しつける際に保持ユニットで保持されているウェーハの他方の面側に樹脂が回り込むおそれがある。ウェーハの他方の面側に樹脂が回り込むと、後の加工時に加工不良を引き起こすおそれがある。
【０００７】
具体的には、後の加工が第２面を研削加工する場合、回り込んだ樹脂を砥石が研削することによる目詰まりが生じる。また、後お加工が切削ブレードによる切削の場合、ウェーハが局所的に厚くなることで切削不良や切削ブレードの刃先だし量が足りずにフランジやブレード基台がウェーハに接触するおそれがある。
【０００８】
また、樹脂の代わりに、テープで保護層を形成すると、例えば板状物が薄いウェーハの場合は、ウェーハを破損させずに剥離することが難しい。このように、樹脂の回り込みに改善が切望されている。
【０００９】
本発明の目的は、樹脂の回り込みを抑制することができる加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工方法は、第１面と該第１面の背面の第２面とを有した板状物の加工方法であって、板状物の該第１面を保護する保護層を形成する保護ステップと、該保護ステップを実施した後、該板状物を保持する保持面を有した保持ユニットで該保護層を介して該板状物の該第１面側を保持する保持ステップと、該板状物を固定する樹脂をシート上に供給する樹脂供給ステップと、該樹脂が供給された該シートに対して該保持ユニットで保持された該板状物の該第２面を対面させるとともに該シートに対して該板状物を相対移動させて該板状物で該樹脂を押し広げ、該樹脂を介して該板状物を該シートに固定する固定ステップと、を備えたことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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