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公開番号2025139328
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-26
出願番号2024038205
出願日2024-03-12
発明の名称加工水供給装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/02 20060101AFI20250918BHJP(研削;研磨)
要約【課題】消費電力を抑制できるとともに加工水が所望の温度に到達するまでの時間を短縮できる加工水供給装置を提供する。
【解決手段】加工水供給装置2は、さらに、加工水源4から送り出される加工水を外部経路16bに導く第一の経路22と、外部経路16bから流出する加工水を電気ヒーター10に導く第二の経路24と、電気ヒーターから流出する加工水を加工装置に導く第三の経路26とを備える。制御部12は、外部経路に導かれた加工水が冷媒から熱を奪い所望の温度に到達するまでの間、電気ヒーターを作動させて加工水を所望の温度に加熱する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段と、を含む加工装置に加工水を供給する加工水供給装置であって、
加工水源と、該加工水源から送り出される加工水を加熱して所望の温度に調整する加熱制御手段と、を備え、
該加熱制御手段は、
冷媒を圧縮する圧縮機と、圧縮された冷媒の熱を外部に放出する外部経路を備えて冷媒を凝縮する凝縮器と、凝縮された冷媒の流量を調整する可変膨張弁と、冷媒を蒸発させて外部から熱を奪う蒸発器とを含む冷媒循環部と、
電気ヒーターと、
制御部と、を備え、
該加工水源から送り出される加工水を該外部経路に導く第一の経路と、該外部経路から流出する加工水を該電気ヒーターに導く第二の経路と、該電気ヒーターから流出する加工水を該加工装置に導く第三の経路と、を備え、
該制御部は、該外部経路に導かれた加工水が冷媒から熱を奪い所望の温度に到達するまでの間、該電気ヒーターを作動させて加工水を所望の温度に加熱する加工水供給装置。
続きを表示（約 210 文字）【請求項２】
該第三の経路には温度センサーが配置され、該制御部は、該温度センサーによって検出される加工水の温度と所望の温度との温度差を求め、該温度差がなくなるように該電気ヒーターおよび該冷媒循環部を作動させて該電気ヒーターの出力がゼロまたは任意の小さい出力に収束するように該圧縮機と該可変膨張弁とを制御して最終的に冷媒の熱で該外部経路に導かれた加工水を所望の温度に加熱する請求項１記載の加工水供給装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段と、を含む加工装置に加工水を供給する加工水供給装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持する保持手段と、保持手段に保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、研削ホイールに研削水（たとえば純水）を供給する研削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に研削することができる（たとえば特許文献１参照）。
【０００４】
ダイシング装置は、ウエーハを保持する保持手段と、保持手段に保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、切削ブレードに切削水（たとえば純水）を供給する切削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば特許文献２参照）。
【０００５】
また、研削装置およびダイシング装置で使用する研削水や切削水、洗浄水、研削手段および切削手段を一定の温度に調整する冷却水等を含む加工水は、加工水源から温度調整手段に送られ、温度調整手段において所望の温度に調整されてから、研削装置やダイシング装置等の加工装置に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－１５８７６８号公報
特開２０１９－１４５５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
研削装置やダイシング装置が寒冷地で使用される場合、加工水源の加工水の温度が所定の温度よりも低くなってしまう場合がある。このような場合には、電気ヒーターによって加工水を所望の温度まで加熱する必要がある。しかし、電気ヒーターの加熱能力は、消費電力に対応しており、成績係数（加熱能力／消費電力）が１と小さいという問題がある。
【０００８】
他方、冷媒を循環させて熱交換する熱交換装置の成績係数は、電気ヒーターの成績係数よりも良好である。しかし、熱交換装置においては、加工水が所望の温度に到達するまでに時間がかかり、生産性が悪いという問題がある。
【０００９】
本発明の課題は、消費電力を抑制できるとともに加工水が所望の温度に到達するまでの時間を短縮できる加工水供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の加工水供給装置が提供される。すなわち、
「被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段と、を含む加工装置に加工水を供給する加工水供給装置であって、
加工水源と、該加工水源から送り出される加工水を加熱して所望の温度に調整する加熱制御手段と、を備え、
該加熱制御手段は、
冷媒を圧縮する圧縮機と、圧縮された冷媒の熱を外部に放出する外部経路を備えて冷媒を凝縮する凝縮器と、凝縮された冷媒の流量を調整する可変膨張弁と、冷媒を蒸発させて外部から熱を奪う蒸発器とを含む冷媒循環部と、
電気ヒーターと、
制御部と、を備え、
該加工水源から送り出される加工水を該外部経路に導く第一の経路と、該外部経路から流出する加工水を該電気ヒーターに導く第二の経路と、該電気ヒーターから流出する加工水を該加工装置に導く第三の経路と、を備え、
該制御部は、該外部経路に導かれた加工水が冷媒から熱を奪い所望の温度に到達するまでの間、該電気ヒーターを作動させて加工水を所望の温度に加熱する加工水供給装置」が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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