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公開番号2025150685
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024051702
出願日2024-03-27
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20251002BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】設置された環境を汚染することなく、加工装置周辺の破片、水、ゴミ等を除去することができる加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持手段7と、保持手段7に保持された被加工物を加工する加工手段8と、を含む加工装置であって、該加工装置は、掃除手段30Aを備え、掃除手段30Aは、ゴミを吸引する吸引口31Aaを備えたノズル部31Aと、ノズル部31Aに吸引力を生成する吸引力生成部32Aと、吸引力生成部32Aによって生成された吸引力によって吸引されたゴミを収集するゴミ収集部33Aと、を含み構成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、を含む加工装置であって、
該加工装置は、掃除手段を備え、
該掃除手段は、ゴミを吸引する吸引口を備えたノズル部と、該ノズル部に吸引力を生成する吸引力生成部と、該吸引力生成部によって生成された吸引力によって吸引されたゴミを収集するゴミ収集部と、を含み構成される加工装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
該吸引力生成部は、エジェクターと、該エジェクターと高圧エアー源とを連通する高圧エアー経路と、該エジェクターで生成される負圧を該ゴミ収集部に連通する負圧経路と、を備え、
該ノズル部は、該ゴミ収集部に連通するゴミ経路を備える請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該高圧エアー経路を開状態と閉状態とに選択できる高圧開閉弁を備える請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
該負圧経路を開状態と閉状態に選択できる負圧開閉弁を備える請求項２に記載の加工装置。
【請求項５】
該ゴミ収集部は、該負圧経路と連結する負圧室と、該ゴミ経路と連結するゴミ室とを備え、該負圧室と該ゴミ室は、着脱自在に締結されていて、該負圧室から分離して該ゴミ室に溜まったゴミを適宜捨てられる請求項２に記載の加工装置。
【請求項６】
該負圧室と該ゴミ室を仕切るフィルターが配設される請求項５に記載の加工装置。
【請求項７】
該加工装置には、該高圧エアー源と連通するエアコネクターが正面、側面、及び背面の少なくともいずれかを含む複数の箇所に設定されており、
該高圧エアー経路には、該エアコネクターと着脱自在に連結する連結部が配設されている請求項２に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、を含む加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、裏面が研削装置によって研削され所定の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、研削装置、ダイシング装置等を含む加工装置には、高圧エアー源と連通してウエーハ、又は加工室を含む領域にイオン化したエアーを噴射して、該加工室に付着した破片、水、ゴミ等を飛散させて除去するノズルが装着されている（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－１６９６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、該ノズルから高圧エアーを噴出させて破片、水、ゴミ等を除去しようとすると、該破片、水、ゴミ等が周りに飛散、浮遊して残存し、該加工装置が設置されたスペース（クリンルーム）の環境を汚染するという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、設置された環境を汚染することなく、加工装置周辺の破片、水、ゴミ等を除去することができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、を含む加工装置であって、該加工装置は、掃除手段を備え、該掃除手段は、ゴミを吸引する吸引口を備えたノズル部と、該ノズル部に吸引力を生成する吸引力生成部と、該吸引力生成部によって生成された吸引力によって吸引されたゴミを収集するゴミ収集部と、を含み構成される加工装置が提供される。
【０００８】
該吸引力生成部は、エジェクターと、該エジェクターと高圧エアー源とを連通する高圧エアー経路と、該エジェクターで生成される負圧を該ゴミ収集部に連通する負圧経路と、を備え、該ノズル部は、該ゴミ収集部に連通するゴミ経路を備えることが好ましい。高圧エアー経路を開状態と閉状態とに選択できる高圧開閉弁を備えるようにしてもよい。また、該負圧経路を開状態と閉状態に選択できる負圧開閉弁を備えるようにしてもよい。
【０００９】
該ゴミ収集部は、該負圧経路と連結する負圧室と、該ゴミ経路と連結するゴミ室とを備え、該負圧室と該ゴミ室は、着脱自在に締結されていて、該負圧室から分離して該ゴミ室に溜まったゴミを適宜捨てられるようにすることが好ましい。また、該負圧室と該ゴミ室を仕切るフィルターが配設されることが好ましい。さらには、該加工装置には、該高圧エアー源と連通するエアコネクターが正面、側面、及び背面を含む複数の箇所に設定されており、該高圧エアー経路には、該エアコネクターと着脱自在に連結する連結部が配設されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、を含む加工装置であって、該加工装置は、掃除手段を備え、該掃除手段は、ゴミを吸引する吸引口を備えたノズル部と、該ノズル部に吸引力を生成する吸引力生成部と、該吸引力生成部によって生成された吸引力によって吸引されたゴミを収集するゴミ収集部と、を含み構成されることから、加工装置の外部及び内部、さらには加工装置周辺に付着した破片、水、ゴミ等を吸引して除去することが可能になり、飛散した破片、水、ゴミ等が周りに飛散、浮遊してクリンルーム等の環境を汚染するという問題を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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