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公開番号2025136697
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035468
出願日2024-03-08
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 53/00 20060101AFI20250911BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ドレッシングボードが湾曲している場合にチャックテーブルに保持することが困難であることに加え、使用済みドレッシングボードを新しいドレッシングボードに交換しなければならず手間が掛かる、という問題が解消される切削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハ10を収容する開口部Faを中央に備えたフレームFの開口部Faにウエーハ10が収容されてテープTによって一体に形成されており、ドレッシング機構20Aは、テープTにドレッシング部材30をウエーハ10の外周10cに隣接して敷設するノズル21Aと、ノズル21Aにドレッシング部材30を送り出すドレッシング部材送り出し手段22と、を含み構成されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切り刃を外周に配設した切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該切削ブレードを目立てするドレッシング機構と、を含み構成された切削装置であって、
該被加工物はウエーハであり、該ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームの該開口部に該ウエーハが収容されてテープによって一体に形成されており、
該ドレッシング機構は、該テープにドレッシング部材をウエーハの外周に隣接して敷設するノズルと、該ノズルに該ドレッシング部材を送り出すドレッシング部材送り出し手段と、を含み構成されている切削装置。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
該ドレッシング部材は、流動性を有するバインダーにドレッシング砥粒を混錬して構成されており、
該ドレッシング部材送り出し手段は、該ドレッシング部材を貯留する貯留部と、該貯留部から該ノズルまで該ドレッシング部材を送り出すチューブと、を含み構成される請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
該ドレッシング部材送り出し手段は、熱可塑性樹脂にドレッシング砥粒を混錬してワイヤー状に形成されたドレッシングワイヤーが巻かれたリールと、該リールからドレッシングワイヤーを該ノズルまで送り出すドレッシングワイヤー送り部と、を備え、
該ノズルは、加熱部を備えており、送り出されたドレッシングワイヤーを加熱して流動化させる請求項１に記載の切削装置。
【請求項４】
該バインダーは、熱可塑性樹脂、ゲル化剤のいずれかを含み、ドレッシング砥粒は、炭化ケイ素、アルミナ、ダイヤモンドのうちいずれかを含む請求項２に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切り刃を外周に配設した切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該切削ブレードを目立てするドレッシング機構と、を含み構成された切削装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
従来の切削装置では、切削ブレードの切削能力が低下した場合、切削ブレードの目立てや、切削ブレードの整形を行うために、切削装置にドレッシングボードを搬入してチャックテーブルに載置して吸引保持し、該ドレッシングボードに切削ブレードを切り込ませて目立て（ドレッシング）を実施し、該ドレッシングが終了した後は、該チャックテーブルからドレッシングボードを搬出して、ドレッシングボードを所定の収容箇所に収容しており、手間が掛かるという問題がある。
【０００５】
また、ドレッシングボードが湾曲している場合は、チャックテーブルに吸引保持することが困難となることから、ドレッシングボードが湾曲しないように管理する必要がある。
【０００６】
さらに、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルとは別に、ドレッシングボードを保持する専用のテーブルを備える切削装置も提案されている（特許文献２を参照）。しかし、前記した従来技術と同様に、ドレッシングボードが湾曲している場合は、専用のテーブルに保持することが困難であることに加え、使用済みドレッシングボードを新しいドレッシングボードに交換しなければならず手間が掛かるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００７－２０３４２９号公報
特開２０１５－２１６３２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、切削ブレードの切削能力が低下した場合にドレッシングを実施する切削装置において、ドレッシングボードが湾曲している場合にチャックテーブルに保持することが困難であることに加え、使用済みドレッシングボードを新しいドレッシングボードに交換しなければならず手間が掛かる、という問題が解消される切削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切り刃を外周に配設した切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該切削ブレードを目立てするドレッシング機構と、を含み構成された切削装置であって、該被加工物はウエーハであり、該ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームの該開口部に該ウエーハが収容されてテープによって一体に形成されており、該ドレッシング機構は、該テープにドレッシング部材をウエーハの外周に隣接して敷設するノズルと、該ノズルに該ドレッシング部材を送り出すドレッシング部材送り出し手段と、を含み構成されている切削装置が提供される。
【００１０】
該ドレッシング部材は、流動性を有するバインダーにドレッシング砥粒を混錬して構成されており、該ドレッシング部材送り出し手段は、該ドレッシング部材を貯留する貯留部と、該貯留部から該ノズルまで該ドレッシング部材を送り出すチューブと、を含み構成される。また、該ドレッシング部材送り出し手段は、熱可塑性樹脂にドレッシング砥粒を混錬してワイヤー状に形成されたドレッシングワイヤーが巻かれたリールと、該リールからドレッシングワイヤーを該ノズルまで送り出すドレッシングワイヤー送り部と、を備え、該ノズルは、加熱部を備えており、送り出されたドレッシングワイヤーを加熱して流動化させる手段であってもよい。該バインダーは、熱可塑性樹脂、ゲル化剤のいずれかを含み、ドレッシング砥粒は、炭化ケイ素、アルミナ、ダイヤモンドのうちいずれかを含むことが好ましい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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