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公開番号2025173013
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-27
出願番号2024078316
出願日2024-05-14
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251119BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工装置において、加工時間を長くすることなくウェーハの一方の面を洗浄し、ウェーハの一方の面とチャックテーブルの保持面との間にゴミを介入させないようにする。
【解決手段】加工装置(10)の位置決めユニット(16)は、吸引口(44)が配置された吸引面(18)によってウェーハ(W)を吸引保持するポジショニングテーブル(17)と、ポジショニングテーブルに保持されたウェーハの中心を囲むように配置した複数の噴射口(52)からエアを噴射するエア噴射部(56)と、ポジショニングテーブルを支持するベース(20)と、を備え、制御部(11)は、ロボット(25)によって保持されポジショニングテーブルの上方に待機した状態のウェーハの下面に向かって吸引口からエアを噴射させ、吸引口を吸引源(46)に連通させ吸引面によってウェーハを吸引保持させ、エア噴射部からエアを噴射して、ウェーハの一方の面を洗浄する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、ウェーハを該チャックテーブルに搬送する搬送機構と、該搬送機構によって該チャックテーブルの所定の位置にウェーハが搬送されるようにウェーハを位置決めする位置決めユニットと、ウェーハを収容したカセットを載置するカセットステージと、該カセットステージに載置した該カセットに収容されたウェーハを保持して該位置決めユニットに搬送するロボットと、を備える加工装置であって、
該位置決めユニットは、吸引源に連通する吸引口が配置された吸引面によってウェーハを吸引保持するポジショニングテーブルと、該ポジショニングテーブルに保持されたウェーハの中心を囲むように複数の噴射口を配置し該噴射口からエアを噴射するエア噴射部と、該ポジショニングテーブルを支持するベースと、を備え、
制御部は、該ロボットによって保持され該ポジショニングテーブルの上方に待機した状態のウェーハの下面に向かって該吸引口からエアを噴射させ、該吸引口を吸引源に連通させ該吸引面によってウェーハを吸引保持させ、該エア噴射部からエアを噴射して該ウェーハの一方の面を洗浄する、加工装置。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
該位置決めユニットは、該ポジショニングテーブルを回転可能に支持する回転支持部と、該回転支持部を配置する該ベースと、該ポジショニングテーブルを回転させる回転駆動部と、を備え、
該制御部は、該吸引面によってウェーハを吸引保持した該ポジショニングテーブルを回転させつつ、該エア噴射部からエアを噴射する、請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該ロボットは、該ポジショニングテーブルに吸引保持されたウェーハの下方に進入可能なロボットハンドを有し、該ロボットハンドは、エアを噴射する該エア噴射部を備える、請求項１または２記載の加工装置。
【請求項４】
該制御部は、該エア噴射部からエアを噴射させている該ロボットハンドを、該吸引面に平行に移動させ、該ポジショニングテーブルから離れる、請求項３記載の加工装置。
【請求項５】
該ベースに該エア噴射部を備える、請求項１または２記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、研削装置は、チャックテーブルに保持されたウェーハを研削砥石で研削している。ウェーハをチャックテーブルに搬送する搬送機構を備え、複数枚のウェーハを収容したカセットからウェーハを一枚ずつ取り出してチャックテーブルに搬送して研削する自動研削装置においては、カセットから取り出したウェーハの位置決めと仮置きを行う仮置きテーブルを備えている。そして、仮置きテーブルに仮置きされたウェーハを、搬送機構によってチャックテーブルに搬送している。
【０００３】
仮置きテーブルからチャックテーブルへウェーハを搬送する際に、特許文献２に開示のように、ウェーハの下面に水を供給してウェーハの下面を洗浄している。ウェーハの下面を洗浄してからチャックテーブルに搬送することによって、ウェーハの下面とチャックテーブルの保持面との間にゴミが入ることを防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－０１８８０２号公報
特開２０２２－０３５１３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
仮置きテーブルからチャックテーブルへウェーハを搬送する際にウェーハの下面を洗浄することは、チャックテーブルにウェーハを保持させる時間の足かせになっており、加工時間を長くしているという問題がある。また、研削装置以外にも、研磨装置、切削装置など、仮置きテーブルを備える加工装置において、同様の問題が発生している。
【０００６】
したがって、加工装置は、加工時間を長くすることなくウェーハの一方の面を洗浄し、ウェーハの一方の面とチャックテーブルの保持面との間にゴミを介入させない、という解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工ユニットと、ウェーハを該チャックテーブルに搬送する搬送機構と、該搬送機構によって該チャックテーブルの所定の位置にウェーハが搬送されるようにウェーハを位置決めする位置決めユニットと、ウェーハを収容したカセットを載置するカセットステージと、該カセットステージに載置した該カセットに収容されたウェーハを保持して該位置決めユニットに搬送するロボットと、を備える加工装置であって、該位置決めユニットは、吸引源に連通する吸引口が配置された吸引面によってウェーハを吸引保持するポジショニングテーブルと、該ポジショニングテーブルに保持されたウェーハの中心を囲むように複数の噴射口を配置し該噴射口からエアを噴射するエア噴射部と、該ポジショニングテーブルを支持するベースと、を備え、制御部は、該ロボットによって保持され該ポジショニングテーブルの上方に待機した状態のウェーハの下面に向かって該吸引口からエアを噴射させ、該吸引口を吸引源に連通させ該吸引面によってウェーハを吸引保持させ、該エア噴射部からエアを噴射して該ウェーハの一方の面を洗浄する。
【０００８】
該位置決めユニットは、該ポジショニングテーブルを回転可能に支持する回転支持部と、該回転支持部を配置する該ベースと、該ポジショニングテーブルを回転させる回転駆動部と、を備え、該制御部は、該吸引面によってウェーハを吸引保持した該ポジショニングテーブルを回転させつつ、該エア噴射部からエアを噴射させてもよい。
【０００９】
エア噴射部の構成の一形態として、該ロボットは、該ポジショニングテーブルに吸引保持されたウェーハの下方に進入可能なロボットハンドを有し、該ロボットハンドは、エアを噴射する該エア噴射部を備える。
【００１０】
該制御部は、該エア噴射部からエアを噴射させている該ロボットハンドを、該吸引面に平行に移動させ、該ポジショニングテーブルから離れさせてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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