特許ウォッチ

公開番号2025170842
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-20
出願番号2024075628
出願日2024-05-08
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 7/04 20060101AFI20251113BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ユーザにおいて加工レシピをカスタマイズする際に安全率が過度に低下するのを防止できる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、制御手段8とを含む。制御手段8は、被加工物に対応した加工レシピを記憶するレシピ記憶部36と、レシピ記憶部36に記憶された加工レシピを表示する表示部38とを含む。レシピ記憶部36は、標準レシピを記憶する標準レシピ記憶部42と、標準レシピの内容をカスタマイズして作成した特別レシピを記憶する特別レシピ記憶部44とを備える。制御手段8は、さらに、標準レシピ記憶部42に記憶された標準レシピを表示部38に表示させ、標準レシピの内容をカスタマイズする際、標準レシピの複数の要素の相互関係からカスタマイズを制限するカスタマイズ制限部40を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、制御手段とを含む加工装置であって、
該制御手段は、被加工物に対応した加工レシピを記憶するレシピ記憶部と、該レシピ記憶部に記憶された加工レシピを表示する表示部と、を含み、
該レシピ記憶部は、標準レシピを記憶する標準レシピ記憶部と、該標準レシピの内容をカスタマイズして作成した特別レシピを記憶する特別レシピ記憶部と、を備え、
該制御手段は、さらに、該標準レシピ記憶部に記憶された該標準レシピを該表示部に表示させ、該標準レシピの内容をカスタマイズする際、該標準レシピの複数の要素の相互関係からカスタマイズを制限するカスタマイズ制限部を備える加工装置。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
該保持手段は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるチャックテーブル回転部と、を含み、
該加工手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工具と、該加工具を装着し回転するスピンドルを備えるハウジングと、該加工具を被加工物に接近または離反させる加工送り部と、を含み、
該カスタマイズ制限部は、該スピンドルの回転数と該チャックテーブルの回転数と該加工送り部の加工送り速度との相互関係からカスタマイズを制限する請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、制御手段とを含む加工装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所望の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、研削手段をウエーハに接近および離反させる加工送り手段と、ウエーハの厚みを計測する厚み計測手段と、を含んでいて、ウエーハを高精度に所望の厚みに仕上げることができる（たとえば特許文献１参照）。
【０００４】
また、研削装置によって研削されるウエーハは、シリコンウエーハ、サファイアウエーハ、窒化ガリウムウエーハ、ＳｉＣウエーハ等、多種におよぶことから、ウエーハを研削する加工レシピ（加工条件）もウエーハの種類に応じて設定される。そして、研削装置を提供するメーカにおいては、あらかじめウエーハの種類に応じた標準的な加工レシピをユーザごとに設定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－０６７７６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、標準的な加工レシピは、安全率が比較的高く設定され、生産性が抑えられている場合がある。このような場合には、ユーザにおいて生産性を高めるために安全率を犠牲にして標準的な加工レシピをカスタマイズするときがある。そうすると、安全率が低くなってしまうため、研削装置の損傷頻度が増え、ウエーハの破損頻度も増加するという問題がある。
【０００７】
本発明の課題は、ユーザにおいて加工レシピをカスタマイズする際に安全率が過度に低下するのを防止できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の加工装置が提供される。すなわち、
「被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、制御手段とを含む加工装置であって、
該制御手段は、被加工物に対応した加工レシピを記憶するレシピ記憶部と、該レシピ記憶部に記憶された加工レシピを表示する表示部と、を含み、
該レシピ記憶部は、標準レシピを記憶する標準レシピ記憶部と、該標準レシピの内容をカスタマイズして作成した特別レシピを記憶する特別レシピ記憶部と、を備え、
該制御手段は、さらに、該標準レシピ記憶部に記憶された該標準レシピを該表示部に表示させ、該標準レシピの内容をカスタマイズする際、該標準レシピの複数の要素の相互関係からカスタマイズを制限するカスタマイズ制限部を備える加工装置」が提供される。
【０００９】
該保持手段は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるチャックテーブル回転部と、を含み、
該加工手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工具と、該加工具を装着し回転するスピンドルを備えるハウジングと、該加工具を被加工物に接近または離反させる加工送り部と、を含み、
該カスタマイズ制限部は、該スピンドルの回転数と該チャックテーブルの回転数と該加工送り部の加工送り速度との相互関係からカスタマイズを制限するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の加工装置は、
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、制御手段とを含む加工装置であって、
該制御手段は、被加工物に対応した加工レシピを記憶するレシピ記憶部と、該レシピ記憶部に記憶された加工レシピを表示する表示部と、を含み、
該レシピ記憶部は、標準レシピを記憶する標準レシピ記憶部と、該標準レシピの内容をカスタマイズして作成した特別レシピを記憶する特別レシピ記憶部と、を備え、
該制御手段は、さらに、該標準レシピ記憶部に記憶された該標準レシピを該表示部に表示させ、該標準レシピの内容をカスタマイズする際、該標準レシピの複数の要素の相互関係からカスタマイズを制限するカスタマイズ制限部を備えるので、ユーザにおいて加工レシピをカスタマイズする際に安全率が過度に低下するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許