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公開番号2025154223
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057105
出願日2024-03-29
発明の名称研磨パッド
出願人ノリタケ株式会社
代理人弁理士法人ぱてな
主分類B24D 11/00 20060101AFI20251002BHJP(研削;研磨)
要約【課題】鋭角な箇所や細かい箇所を有する研磨対象であっても、研磨不良が生じ難く、しかも研磨後の研磨対象の洗浄性に優れ、研磨液の管理、回収、循環を簡便化でき、研磨コストを低廉化できる研磨パッドを提供する。
【解決手段】本発明の研磨パッド1は、バインダ樹脂からなり、複数の気孔が形成された母材と、母材又は気孔内に保持された研磨粒子と、母材又は気孔内に保持された繊維とを有するシート状の研磨パッドである。この研磨パッド1は、曲面で形成された固定面5a、7aに保持可能な可撓性を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
バインダ樹脂からなり、複数の気孔が形成された母材と、前記母材又は前記気孔内に保持された研磨粒子と、前記母材又は前記気孔内に保持された繊維とを有するシート状の研磨パッドであって、
曲面で形成された固定面に保持可能な可撓性を有することを特徴とする研磨パッド。
続きを表示（約 540 文字）【請求項２】
前記可撓性は、曲率半径が２５ｍｍの円柱体の外周面を前記固定面とした場合、裂けずに隙間なく１周分を接着できる特性である請求項１記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記可撓性は、曲率半径が５ｍｍの円柱体の外周面を前記固定面とした場合、裂けずに隙間なく１周分を接着できる特性である請求項２記載の研磨パッド。
【請求項４】
前記母材内又は前記気孔内に保持され、前記研磨粒子の凝集を防止するとともに、前記研磨粒子を弾性的に保持し、研磨時に前記研磨粒子に作用する反力を緩和するフィラーを有する請求項１乃至３のいずれか１項記載の研磨パッド。
【請求項５】
前記バインダ樹脂はポリフッ化ビニリデンであり、
前記研磨粒子はダイヤモンドであり、
前記繊維はポリプロピレンであり、
前記フィラーはシリカ粒子であり、
前記バインダ樹脂は５．３～１８．８体積％であり、
前記気孔は６８．６～７６．８体積％であり、
前記研磨粒子は０．７～２０．４体積％であり、
前記繊維は２．４～６．７体積％であり、
前記フィラーは０～１５．０体積％である請求項４記載の研磨パッド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は研磨パッドに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に従来の研磨パッドが開示されている。この研磨パッドは、バインダ樹脂からなり、複数の気孔が形成された母材と、母材又は気孔内に保持された研磨粒子とを有する。この研磨パッドは、ＬＨＡ（Loosely Held Abrasive）パッドとも称される砥粒内包型研磨パッドである。
【０００３】
この研磨パッドは、所定の面圧下において、円盤形状のウェハの被研磨面と研磨パッドの研磨面とを相対移動させることにより、被研磨面を研磨することができる。この際、ウェハの被研磨面と研磨パッドの研磨面との間には、研磨粒子を含まない研磨液を介在させれば足りるため、研磨後のウェハに残留する研磨粒子であるパーティクルが少ないことから、研磨後のウェハの洗浄性に優れる。また、研磨砥粒を含まない研磨液を用いることができるため、研磨液の管理、回収、循環を簡便化でき、研磨コストを低廉化できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－４９２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、発明者らの試験によれば、従来の研磨パッドは、研磨対象が円盤形状のウェハの被研磨面としていたため、研磨対象が鋭角な箇所や細かい箇所を有する場合、それらの箇所に研磨面が十分に当接せず、局所的な研磨しか行えない。つまり、この研磨パッドは、そのような研磨対象に対して研磨不良を生じやすい。
【０００６】
例えば、３Ｄプリンタで造形した金属や樹脂からなる造形物は、成形時に発生する積層痕が表面に残り、表面品質の悪化の要因となっている。上記従来の研磨パッドでこの造形物を研磨対象とした場合、積層痕を除去しようとしても磨き残しが発生し、造形物の強度低下が著しいことが懸念される。
【０００７】
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、鋭角な箇所や細かい箇所を有する研磨対象であっても、研磨不良が生じ難く、しかも研磨後の研磨対象の洗浄性に優れ、研磨液の管理、回収、循環を簡便化でき、研磨コストを低廉化できる研磨パッドを提供することを解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の研磨パッドは、バインダ樹脂からなり、複数の気孔が形成された母材と、前記母材又は前記気孔内に保持された研磨粒子と、前記母材又は前記気孔内に保持された繊維とを有するシート状の研磨パッドであって、
曲面で形成された固定面に保持可能な可撓性を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の研磨パッドは、曲面で形成された固定面に保持可能な可撓性を有するため、研磨対象が鋭角な箇所や細かい箇所を有する場合であっても、それらの箇所に研磨パッドの研磨面を十分に当接させ、全体を研磨し易い。
【００１０】
また、本発明の研磨パッドは、バインダ樹脂と無数の研磨粒子と繊維とを含む研磨層が研磨面を構成するため、研磨砥粒を含まない研磨液を用いることができ、研磨後の研磨対象に残留する研磨粒子であるパーティクルが少ないことから、研磨後の研磨対象の洗浄性に優れる。また、研磨砥粒を含まない研磨液を用いることができるため、研磨液の管理、回収、循環を簡便化でき、研磨コストを低廉化できる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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