特許ウォッチ

公開番号2025162384
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-27
出願番号2024065653
出願日2024-04-15
発明の名称ウエハの研削装置
出願人株式会社タカトリ
代理人個人
主分類B24B 49/08 20060101AFI20251020BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ウエハを研削する砥石ユニットを正確に装着させた状態で、ウエハを研削できるようにしたウエハの研削装置を提供する。
【解決手段】昇降自在に設けられ、回転軸CLを中心に回転するスピンドル4と、当該スピンドル4に砥石ユニット5を自動で磁着させる装着部6と、当該装着部6によって装着された砥石ユニット5を回転させることによって、ウエハ10を研削させるようにした研削装置1において、前記スピンドル4の回転軸CLに管44を通し、当該管44に空気を通す。そして、圧力センサー92によって、砥石ユニット5の装着状態を検知できるようにする。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
昇降自在に設けられ、回転軸を中心に回転するスピンドルと、
当該スピンドルに砥石ユニットを装着させる装着部と、
当該装着部によって装着された砥石ユニットを回転させることによって、ウエハを研削させるようにした研削装置において、
前記スピンドルに対する砥石ユニットの装着状態を検知する検知手段を設けるようにしたことを特徴とするウエハの研削装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記スピンドルが、回転軸に砥石ユニットの装着面側に貫通する導通路を備えてなるものであり、
前記検知手段が、当該導通路を通る空気の圧力によって、砥石ユニットの装着状態を検知するものである請求項１に記載のウエハの研削装置。
【請求項３】
前記スピンドルが、回転軸に砥石ユニットの装着面側に貫通する導通路を備えてなるものであり、
当該導通路が、空気と水を通すものであり、
前記検知手段が、当該導通路を通る空気の圧力によって、砥石ユニットの装着状態を検知するものであり、
前記導通路を通る水によってウエハを研削させるようにした請求項１に記載のウエハの研削装置。
【請求項４】
前記スピンドルが、回転軸に砥石ユニットの装着面側に貫通する導通路を備えてなるものであり、
前記検知手段が、当該導通路内を通る管に空気を通し、当該空気の圧力によって、砥石ユニットの装着状態を検知するものであり、
当該管と前記導通路の間に、水を通す隙間を形成し、当該水をスピンドルの側方から排出する排出部を備えてなるものである請求項１に記載のウエハの研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハを研削する研削装置に関するものであって、より詳しくは、砥石がスピンドルに装着されているか否かを検知できるようにしたウエハの研削装置に関するものである。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ワイヤーソーで薄く切断された半導体のウエハは、研削装置で更に薄く研削されるが、この研削を行うための砥石ユニットを交換する場合、磁着させて交換できるようにした方法が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
この特許文献１（第６２段落参照）の砥石ユニットの交換方法は、スピンドルの下部に電磁石を設けておくとともに、鉄で構成された砥石フランジを有する砥石ユニットを設けておき、電磁石の磁着状態と消磁状態を切り替えることによって、新しい砥石ユニットに交換できるようにしたものである。このような構成を採用すれば、従来のように、交換作業時に、下方から工具を入れてネジを取り外す必要がなくなるため、交換作業を楽に行うことができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００１―１４８３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このように砥石ユニットを手動以外の方法で交換できるようにした場合、次のような問題を生ずる。
【０００６】
すなわち、従来では、手作業で砥石ユニットを装着するようにしているため、装着状態を手で触って確認することができるが、電磁石などを用いて自動で砥石ユニットを装着させるようにした場合、その装着の状態を確認することができない。
【０００７】
また、砥石ユニットを手作業で装着させるようにした場合であっても、研削加工中に砥石ユニットが緩む可能性があり、そのような場合、砥石ユニットが脱落して、研削装置の破損につながる危険性がある。
【０００８】
そこで、本発明は、ウエハを研削する砥石ユニットを正確に装着させた状態で、ウエハを研削できるようにしたウエハの研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、昇降自在に設けられ、回転軸を中心に回転するスピンドルと、当該スピンドルに砥石ユニットを装着させる装着部と、当該装着部によって装着された砥石ユニットを回転させることによって、ウエハを研削させるようにした研削装置において、前記スピンドルに対する砥石ユニットの装着状態を検知する検知手段を設けるようにしたものである。
【００１０】
このように構成すれば、砥石ユニットが正確に装着されていない場合に、これを検知することができるため、研削作業中に砥石ユニットが外れて、研削装置を損傷させる危険性を低減させることができるようになる。
（【００１１】以降は省略されています）

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