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公開番号2025132102
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2024029448
出願日2024-02-29
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 55/06 20060101AFI20250903BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工装置の加工室内のチャックテーブルや加工具の交換作業を容易にする。
【解決手段】被加工物(W)を保持するチャックテーブル(21)と、被加工物をスピンドル(31)の先端に配置した加工具(34)で加工する加工ユニット(25)と、加工ユニットを水平方向に移動させる水平移動機構(27)と、チャックテーブルと加工具とを収容する加工室(50)と、を備える加工装置において、加工室の天井(55)に、スピンドルを貫通させる開口(60)を備えた中央板(57)と、加工ユニットの水平移動方向における中央板の両端側に各々配置して水平方向に伸縮する2つの蛇腹(58、59)と、とを備え、中央板と蛇腹とを脱着する脱着具(61)を備え、加工室の側板は、上部に蛇腹(58)が接続された開閉扉(64)と、開閉扉を外側に開くように開閉扉の下部に配置したヒンジ(65)と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物をスピンドルの先端に配置した加工具で加工する加工ユニットと、該加工ユニットを水平方向に移動させる水平移動機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、を備える加工装置であって、
該加工室の天井は、該スピンドルを貫通させる開口を備えた中央板と、該水平移動機構による該加工ユニットの水平移動方向における該中央板の両端側に各々配置して水平方向に伸縮する２つの蛇腹と、とを備え、
該中央板と該蛇腹とを脱着する脱着具を備え、
該加工室の側板は、上部に該蛇腹が接続された開閉扉と、該開閉扉を外側に開くように該開閉扉の下部に配置したヒンジと、を備える、加工装置。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物をスピンドルの先端に配置した加工具で加工する加工ユニットと、該加工ユニットを水平方向に移動させる水平移動機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、を備える加工装置であって、
該加工室の天井は、該スピンドルを貫通させる開口を備えた中央板と、該水平移動機構による該加工ユニットの水平移動方向における該中央板の両端側に各々配置して水平方向に伸縮する２つの蛇腹と、とを備え、
該中央板は、該開口を２分割する第１中央板と第２中央板と、該第１中央板と該第２中央板とを接続する接続部と、を備え、
該加工室の側板は、上部に該蛇腹が接続された開閉扉と、該開閉扉を外側に開くように該開閉扉の下部に配置したヒンジと、を備える、加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研磨する研磨装置は、ウェーハを保持したチャックテーブルと、ウェーハを研磨する研磨パッドと、を収容する加工室が設けられ、加工室内でウェーハに対する研磨加工が行われる。
【０００３】
特許文献１に開示される研磨装置は、研磨パッドを装着した研磨ユニットを水平方向（チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向）に移動させながら、ウェーハの研磨加工を行う。このタイプの研磨装置の場合、加工室の天板が、研磨パッドを装着したスピンドルを貫通させる開口を設けたプレートと、プレートの両端側に接続する蛇腹とを備え、研磨パッド及びスピンドルが水平方向に移動した際に、プレートと蛇腹を追従して移動させて加工室の天井が覆われる状態を維持する。
【０００４】
研磨装置は、メンテナンスとしてチャックテーブルや研磨パッドの交換を行う。また、研磨以外の加工を行う加工装置においても、同種のメンテナンスを行う。例えば、研削装置では、チャックテーブルや研削ホイールの交換を行う。従って、研磨装置や研削装置のような加工装置のメンテナンスでは、チャックテーブルや加工具を交換する。
【０００５】
加工装置において、上記のようなメンテナンス作業を容易にするために、特許文献２、３及び４に開示のように、加工室の側板が開かれるようにした構成が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１５－０５４３７３号公報
特開２０２３－０６６６９７号公報
特開２０２１－１７６６６６号公報
特開２０２０－０１５１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の加工装置は、加工室の側板が開かれるものであっても、加工室の天井を形成する蛇腹を取り外すことができないため、加工室に形成される開口の大きさに制限があり、チャックテーブルや加工具の交換作業が容易ではない場合があった。
【０００８】
したがって、加工室の天板に蛇腹を備えた加工装置において、加工室内のチャックテーブルや加工具の交換作業を容易にする、という解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物をスピンドルの先端に配置した加工具で加工する加工ユニットと、該加工ユニットを水平方向に移動させる水平移動機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、を備える加工装置であって、該加工室の天井は、該スピンドルを貫通させる開口を備えた中央板と、該水平移動機構による該加工ユニットの水平移動方向における該中央板の両端側に各々配置して水平方向に伸縮する２つの蛇腹と、とを備え、該中央板と該蛇腹とを脱着する脱着具を備え、該加工室の側板は、上部に該蛇腹が接続された開閉扉と、該開閉扉を外側に開くように該開閉扉の下部に配置したヒンジと、を備える。
【００１０】
本発明の一態様は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物をスピンドルの先端に配置した加工具で加工する加工ユニットと、該加工ユニットを水平方向に移動させる水平移動機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、を備える加工装置であって、該加工室の天井は、該スピンドルを貫通させる開口を備えた中央板と、該水平移動機構による該加工ユニットの水平移動方向における該中央板の両端側に各々配置して水平方向に伸縮する２つの蛇腹と、とを備え、該中央板は、該開口を２分割する第１中央板と第２中央板と、該第１中央板と該第２中央板とを接続する接続部と、を備え、該加工室の側板は、上部に該蛇腹が接続された開閉扉と、該開閉扉を外側に開くように該開閉扉の下部に配置したヒンジと、を備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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