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公開番号
2025149269
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-10-08
出願番号
2024049811
出願日
2024-03-26
発明の名称
ハブレスブレード
出願人
株式会社東京精密
代理人
個人
,
個人
,
個人
主分類
B24D
5/12 20060101AFI20251001BHJP(研削;研磨)
要約
【課題】対象ワークの拡大を図ることができるハブレスブレードを提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係るハブレスブレードは、加工装置のスピンドルにブレード固定部を介して固定されるハブレスブレードであって、ブレード本体と、前記ブレード本体の一方の面に接続して把持されることによりハンドリング可能なつかみ部と、を備える。
【選択図】図12
特許請求の範囲
【請求項1】
加工装置のスピンドルにブレード固定部を介して固定されるハブレスブレードであって、
ブレード本体と、
前記ブレード本体の一方の面に接続して把持されることによりハンドリング可能なつかみ部と、を備える、ハブレスブレード。
続きを表示(約 180 文字)
【請求項2】
前記スピンドルに前記ブレード固定部の軸部が嵌め込まれることにより固定され、
前記ブレード本体は、前記軸部に嵌め込み可能な貫通孔を有し、
前記つかみ部は、強磁性を有し、
前記つかみ部は、前記軸部に嵌め込み可能な装着孔を有し、
前記装着孔は、前記貫通孔より小径である、請求項1に記載のハブレスブレード。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、ハブレスブレードに関する。
続きを表示(約 1,600 文字)
【背景技術】
【0002】
例えば、半導体材料等の基板(以下、ワークということがある)を加工してチップ状に個片化する際に、円形状に形成されたブレードが用いられることがある。ブレードを安定して回転させるための一形態として、ブレードをハブに保持させたハブブレードが知られている。ハブブレードは、例えば、アルミニウム合金からなるハブと、ハブの一方側の面にニッケルめっきにより形成した電鋳ブレード本体とを備えている。ハブブレードは、ハブと電鋳ブレード本体とが一体的に接続されている。
【0003】
電鋳ブレード本体は、突出し量が小さく抑えられることにより、蛇行や倒れ等を小さく抑えることができる。よって、ワークを電鋳ブレード本体で品質良く加工することが可能である。また、ハブブレードのハブを把持して搬送(以下、ハンドリングということがある)することにより、ハブブレードの自動交換が可能である(例えば、特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開平5-345281号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、ハブブレードの電鋳ブレード本体は、例えばニッケルがボンド材として使用されている。よって、電鋳ブレード本体は、例えば難削材の加工に適用させることが難しい。また、ワークの厚みが大きい場合には、電鋳ブレード本体の突出し量を大きく確保する必要がある。よって、突出し量が小さく抑えられた電鋳ブレード本体を、厚みが大きいワークの加工に適用させることが難しい。このことが、ハブブレードによる適用可能な対象ワークを拡大する妨げになっている。
【0006】
ここで、ワークを加工するブレードとして、ハブが設けられていないハブレスブレードが知られている。ハブレスブレードのブレード本体には、例えば、樹脂材料(レジン)からなるボンド相に砥粒が分散、配置されている。ハブレスブレードは、製法上、多種のブレード材料を選択することが可能である。加えて、ハブレスブレードは、摩耗を促進させることで、例えば難削材の加工にも適している。
しかし、ハブレスブレードには、把持する部位となるハブが設けられていない。よって、ハブレスブレードの交換を自動化することが難しい。このことが、ハブレスブレードによる効率の良い量産が可能な対象ワークを拡大する妨げになっている。
【0007】
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、対象ワークの拡大を図ることができるハブレスブレードを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
<1>本発明の一態様に係るハブレスブレードは、加工装置のスピンドルにブレード固定部を介して固定されるハブレスブレードであって、ブレード本体と、上記ブレード本体の一方の面に接続して把持されることによりハンドリング可能なつかみ部と、を備える。
【0009】
上記<1>に記載のハブレスブレードによれば、ブレード本体につかみ部を接続した。よって、つかみ部をチャックすることによりハブレスブレードをハンドリングできる。これにより、ハブレスブレードの交換を自動化できる。したがって、適用可能(加工可能)な対象ワークの拡大を図ることができる。
【0010】
さらに、ハブブレードに設けられたハブをチャックしてハブブレードをハンドリングできる。よって、ハブブレードにおける交換を自動化できる。これにより、ハブレスブレード及びハブブレードにおける両ブレードの交換を自動化できる。したがって、適用可能な対象ワークの範囲を一層拡大できる。
(【0011】以降は省略されています)
この特許をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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