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公開番号2025154644
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057759
出願日2024-03-29
発明の名称研削装置
出願人株式会社東京精密
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類B24B 41/06 20120101AFI20251002BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ワークの研削精度を高くする。
【解決手段】研削装置10では、ウエハステージ42の上面にワークが保持されて、ウエハステージ42がモータ22によって回転されることで、ワークが回転される。さらに、研削機構がワークを研削する。ここで、モータ22のケース24がウエハステージ42を支持しており、冷却機構36がケース24を冷却する。このため、ウエハステージ42で発生した加工熱、軸受ステータ38と軸受ロータ40の間で発生した摩擦熱、モータ22で発生した熱が、軸受ベース20および角度調整機構18へ伝わることを抑制するため、ウエハステージ42が傾いてしまうことを抑制できて、ワークの研削精度を高くできる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ワークが保持されて回転されることで前記ワークが回転される保持体と、
前記保持体を回転可能に支持する支持体と、
前記保持体に保持されて回転される前記ワークを研削する研削機構と、
前記保持体及び前記支持体の少なくとも１つを冷却する冷却機構と、
を備える研削装置。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記保持体を構成する回転軸が設けられ、作動されて前記保持体が回転されるモータを備える請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
外壁が前記支持体を構成し、作動されて前記保持体が回転されると共に、前記冷却機構が前記外壁を冷却するモータを備える請求項１記載の研削装置。
【請求項４】
前記支持体に設けられ、前記保持体を回転軸方向において支持すると共に、前記冷却機構によって冷却される軸支持部を備える請求項１記載の研削装置。
【請求項５】
前記保持体内に設けられ、流体が通過する通過路を備える請求項１記載の研削装置。
【請求項６】
前記保持体の回転速度を検出する検出装置と、
前記検出装置が検出する前記保持体の回転速度に基づき前記保持体の回転速度を制御する制御装置と、
を備える請求項１記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを研削する研削装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に記載の研削装置では、チャックテーブル及びシャフト（支持板を含む）がハウジング及び傾き調整機構に回転可能に支持されており、シャフトが無端ベルトを介してモータの回転軸に連絡されている。そして、チャックテーブルに被加工物が保持されると共に、モータが作動されて無端ベルトを介してチャックテーブル及びシャフトが回転されることで、被加工物が回転されて、研削機構が被加工物を研削する。
【０００３】
ここで、この研削装置では、仮に、シャフトが回転されることで、シャフトとハウジングとの間に摩擦熱が発生して、チャックテーブル、シャフト、ハウジング及び傾き調整機構の少なくとも１つがシャフトの回転軸方向に熱膨張すると、被加工物の回転軸方向の位置が変化して、被加工物の研削後の厚みの精度が低下する。
【０００４】
また、このような研削装置では、チャックテーブルの回転を安定させることで、被加工物の回転周方向における研削ムラを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－１８４３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記事実を考慮し、ワークの研削精度を高くできる研削装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１態様の研削装置は、ワークが保持されて回転されることで前記ワークが回転される保持体と、前記保持体を回転可能に支持する支持体と、前記保持体に保持されて回転される前記ワークを研削する研削機構と、前記保持体及び前記支持体の少なくとも１つを冷却する冷却機構と、を備える。
【０００８】
本発明の第２態様の研削装置は、本発明の第１態様の研削装置において、前記保持体を構成する回転軸が設けられ、作動されて前記保持体が回転されるモータを備える。
【０００９】
本発明の第３態様の研削装置は、本発明の第１態様又は第２態様の研削装置において、外壁が前記支持体を構成し、作動されて前記保持体が回転されると共に、前記冷却機構が前記外壁を冷却するモータを備える。
【００１０】
本発明の第４態様の研削装置は、本発明の第１態様～第３態様の何れか１つの研削装置において、前記支持体に設けられ、前記保持体を回転軸方向において支持すると共に、前記冷却機構によって冷却される軸支持部を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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