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公開番号2025148964
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-08
出願番号2024049364
出願日2024-03-26
発明の名称面取り装置及び面取り方法
出願人株式会社東京精密
代理人スプリング弁理士法人
主分類B24B 9/00 20060101AFI20251001BHJP(研削;研磨)
要約
【課題】円周方向の研削痕の発生を低減しつつ、かつ、研削砥石のツルーイングを行わなくても、多品種のウェーハを面取り加工できる、面取り装置の提供。
【解決手段】
ウェーハの外周部を面取り研削する面取り装置100であって、回転可能とされた研削砥石50を含む、少なくとも1つの砥石回転ユニットと、前記ウェーハに対する前記研削砥石の位置及び姿勢を調整する位置調整機構と、を備え、前記研削砥石は、回転軸と交わる平らな砥石面50SUを備え、前記研削砥石と前記ウェーハとの当接点の、前記砥石面の面内における位置が、前記位置調整機構により調整される、面取り装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの外周部を面取り研削する面取り装置であって、
回転可能とされた研削砥石を含む、少なくとも１つの砥石回転ユニットと、
前記ウェーハに対する前記研削砥石の位置及び姿勢を調整する位置調整機構と、を備え、
前記研削砥石は、回転軸と交わる平らな砥石面を備え、
前記研削砥石と前記ウェーハとの当接点の、前記砥石面の面内における位置が、前記位置調整機構により調整される、面取り装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記位置の調整は、前記当接点における前記ウェーハの回転方向と、前記砥石面の回転方向とが異なり、かつ、完全に反対とならないように行われる、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項３】
前記位置の調整は、前記当接点における前記ウェーハの回転方向と、前記砥石面の回転方向とのなす角が、９０°を超えて、１８０°未満となるように行われる、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの砥石回転ユニットは、複数の前記砥石回転ユニットを含み、
複数の前記砥石回転ユニットは、前記ウェーハの外周部に沿って、所定の間隔を空けて配置される、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項５】
複数の前記砥石回転ユニットに含まれる前記研削砥石は、それぞれ前記ウェーハの外周の異なる箇所を研削し、
前記研削砥石の１つは、前記外周の上面の斜面を研削し、
前記研削砥石の他の１つは、前記外周の下面の斜面を研削する、請求項４に記載の面取り装置。
【請求項６】
前記研削砥石の１つは、前記外周の端面を研削する、請求項５に記載の面取り装置。
【請求項７】
回転可能とされた第２研削砥石を含む、第２砥石回転ユニットを更に備え、
前記第２研削砥石は、第２回転軸を中心とする円筒状の砥石面を備え、
前記位置調整機構により、
前記ウェーハの回転軸に対して、前記第２回転軸を傾けた状態で、前記円筒状の砥石面と前記ウェーハの外周の端面とが当接される、請求項５に記載の面取り装置。
【請求項８】
ウェーハの外周部を面取り研削する面取り方法であって、
回転軸と交わる平らな砥石面を備える研削砥石を回転させ、前記研削砥石と前記ウェーハとの当接点の、前記砥石面における位置を調整することを含む、面取り方法。
【請求項９】
前記調整することは、前記当接点における前記ウェーハの回転方向と、前記砥石面の回転方向とが異なり、かつ、完全に反対とならないように調整することである、請求項８に記載の面取り方法。
【請求項１０】
前記調整することは、前記当接点における前記ウェーハの回転方向と、前記砥石面の回転方向とのなす角が、９０°を超えて、１８０°未満となるように調整することである、請求項８に記載の面取り方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、面取り装置、及び、面取り方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハの面取り加工には、従来、溝形状を有する研削砥石が用いられてきた。典型的には、溝形状をウェーハに転写する総形砥石が用いられてきた。また、面取りの仕上げ加工には、面取り面に円周方向の研削痕が発生するのを抑制するため、ウェーハに対して研削砥石を傾けて当接させて研削する、いわゆるヘリカル研削が採用されることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１６７３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研削砥石の溝形状をウェーハに転写する場合、ウェーハの外周（面取り部）を所望の形状とするためには、それにあわせて研削砥石の溝形状を調整（形直し）すればよい。この調整はツルーイングと呼ばれ、ツルアを用いて行われる（特許文献１）。しかし、ヘリカル研削を採用する場合のツルーイングでは、ウェーハ、（及び、ツルア）の回転軸に対して研削砥石の回転軸が傾いているため、ツルアの反りやうねりを生じやすいという問題があった。ツルアの反りやうねりは、形成される溝の精度、ツルーイング時間等に悪影響を与えることがあった。また、ツルーイング効率も低下しやすかった。
【０００５】
研削後のウェーハに対して求められる形状の精度が高まるほど、同様に溝形状に対する要求精度も高まる。しかし、精密なツルーイングの条件設定には、熟練の技能が必要となる。また、精密なツルーイングには、時間がかかる。そのため、面取り部の目標形状がそれぞれ異なる少量多品種のウェーハを限られた数の研削砥石を用いて製造しようとすれば、ツルーイングに必要な時間、費用は増大し、効率は低下するという問題があった。
【０００６】
また、研削砥石は、一般に砥粒と、砥粒を保持するための結合剤とから構成される。結合剤としてレジンを用いたレジンボンド砥石、及び、結合剤として金属を用いたメタルボンド砥石が知られる。このうち、メタルボンド砥石は、そもそもツルーイングが適さないという問題もある。
【０００７】
本開示は、上記従来技術の課題の少なくともいずれかを解決する。本開示は、円周方向の研削痕の発生を低減しつつ、かつ、研削砥石のツルーイングを行わなくても、多品種のウェーハを面取り加工できる、面取り装置を提供し得る。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の第１の面取り装置は、ウェーハの外周部を面取り研削する面取り装置であって、回転可能とされた研削砥石を含む、少なくとも１つの砥石回転ユニットと、前記ウェーハに対する前記研削砥石の位置及び姿勢を調整する位置調整機構と、を備え、前記研削砥石は、回転軸と交わる平らな砥石面を備え、前記研削砥石と前記ウェーハとの当接点の、前記砥石面の面内における位置が、前記位置調整機構により調整される、面取り装置である。
【０００９】
上記面取り装置は、回転する研削砥石をウェーハに当接させて面取りを行う点で、従来の面取り装置と共通する。しかし、研削砥石が、回転軸と交わる平らな砥石面を備え、その砥石面をウェーハに当接させて面取り加工する点が異なる。上述のとおり、従来の面取り装置では、溝形状を有する研削砥石が採用されていた。
【００１０】
上記面取り装置は、平らな砥石面を当接させることでウェーハを研削する。このため、溝形状の形直し（ツルーイング）を必要としない。研削砥石の位置及び姿勢は位置調整機構により調整されるため、少量多品種のウェーハの製造にも適している。すなわち、要求される面取り部の形状に応じて、砥石面のウェーハへの当接のさせ方（位置、姿勢）を変化させることで、様々な目標形状に対応できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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