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公開番号2025154641
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057756
出願日2024-03-29
発明の名称搬送装置
出願人株式会社東京精密
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークに対する機能を多くする。
【解決手段】搬送装置10では、吸着パッド20がワークWを吸着する。また、押圧パッド22がワークWを押圧して、ワークWの変形が制限される。さらに、エッジクランプ機構24のクランプ爪38がワークWを引っ掛けて、ワークWが把持される。ここで、吸着パッド20、押圧パッド22及びエッジクランプ機構24が設けられている。このため、ワークWに対する機能を多くできる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを吸着する吸着部と、
前記ワークを押圧して前記ワークの変形が制限される押圧部と、
前記ワークを外周側から引っ掛けて前記ワークが把持される把持部と、
移動されることで前記吸着部、前記押圧部及び前記把持部が移動されて前記ワークが搬送される移動体と、
を備える搬送装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記把持部は、前記押圧部の外側に設けられている請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記把持部が把持しない前記ワークを前記吸着部が吸着する請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
載置台に載置された前記ワークを前記押圧部が押圧して前記ワークの変形が制限される請求項１記載の搬送装置。
【請求項５】
前記吸着部が吸着しないと共に前記押圧部が押圧しない前記ワークを前記把持部が把持する請求項１記載の搬送装置。
【請求項６】
前記押圧部が揺動可能にされる請求項１記載の搬送装置。
【請求項７】
載置台に載置された前記ワークを前記載置台の上側に浮かせた状態で前記把持部が前記ワークを外周側から引っ掛ける請求項１記載の搬送装置。
【請求項８】
前記吸着部が前記押圧部及び前記把持部に対し下側に配置されて前記ワークを吸着し、前記押圧部が前記吸着部に対し下側に移動されて前記ワークを押圧し、前記把持部が前記吸着部及び前記押圧部に対し下側に配置されて前記ワークを外周側から引っ掛ける請求項１記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを搬送する搬送装置に関する。
続きを表示（約 930 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に記載の搬送機構では、保持本体に吸着パッド及びクランプ爪が設けられており、吸着パッドがウェーハを吸着すると共に、クランプ爪がウェーハを外周側から引っ掛けて、保持本体が移動されることで、ウェーハが搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６２０２９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように搬送することに着眼し、搬送時のウェーハの状態まで配慮されていなかったが、このような搬送機構では、ウェーハに対する機能を多く備えることが好ましい。
【０００５】
本発明は、上記事実を考慮し、ワークに対する機能を多くできる搬送装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様の搬送装置は、ワークを吸着する吸着部と、前記ワークを押圧して前記ワークの変形が制限される押圧部と、前記ワークを外周側から引っ掛けて前記ワークが把持される把持部と、移動されることで前記吸着部、前記押圧部及び前記把持部が移動されて前記ワークが搬送される移動体と、を備える。
【０００７】
本発明の第２態様の搬送装置は、本発明の第１態様の搬送装置において、前記把持部は、前記押圧部の外側に設けられている。
【０００８】
本発明の第３態様の搬送装置は、本発明の第１態様又は第２態様の搬送装置において、前記把持部が把持しない前記ワークを前記吸着部が吸着する。
【０００９】
本発明の第４態様の搬送装置は、本発明の第１態様～第３態様の何れか１つの搬送装置において、載置台に載置された前記ワークを前記押圧部が押圧して前記ワークの変形が制限される。
【００１０】
本発明の第５態様の搬送装置は、本発明の第１態様～第４態様の何れか１つの搬送装置において、前記吸着部が吸着しないと共に前記押圧部が押圧しない前記ワークを前記把持部が把持する。
（【００１１】以降は省略されています）

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