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公開番号2025151618
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024053139
出願日2024-03-28
発明の名称温度調整システムおよび循環ユニット
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チャックを迅速に冷却することができる温度調整システムを提供する。
【解決手段】ウェーハを保持するチャックを有するプローバ用温度調整システムであって、流入した冷却液を冷却する冷凍機と、冷凍機に対して冷却液の流出側に配置され、冷凍機で冷却された冷却液を貯溜可能な貯溜タンクと、を有する冷却ユニットと、冷却ユニットで冷却された冷却液をチャックに供給する供給路と、チャックから流出された冷却液が冷却ユニットに回収される回収路と、供給路と回収路とを接続するバイパス路と、供給路とバイパス路との第1接続部に設けられ、冷却ユニットで冷却された冷却液がバイパス路を経由せずに供給路、チャックおよび回収路を循環する第1循環路と、冷却ユニットで冷却された冷却液がチャックを経由せずに供給路、バイパス路および回収路を循環する第2循環路とを切り替える切替部と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持するチャックを有するプローバ用温度調整システムであって、
流入した冷却液を冷却する冷凍機と、前記冷凍機に対して前記冷却液の流出側に配置され、前記冷凍機で冷却された前記冷却液を貯溜可能な貯溜タンクと、を有する冷却ユニットと、
前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液を前記チャックに供給する供給路と、
前記チャックから流出された前記冷却液が前記冷却ユニットに回収される回収路と、
前記供給路と前記回収路とを接続するバイパス路と、
前記供給路と前記バイパス路との第１接続部に設けられ、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記バイパス路を経由せずに前記供給路、前記チャックおよび前記回収路を循環する第１循環路と、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記チャックを経由せずに前記供給路、前記バイパス路および前記回収路を循環する第２循環路とを切り替える切替部と、
を備える、温度調整システム。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記供給路における前記第１接続部よりも前記チャックに近い側に配置され、前記供給路を介して供給される前記冷却液を貯溜可能な第２貯溜タンクと、
前記第２貯溜タンクに貯留された前記冷却液を加熱する加熱部と、
前記第２貯溜タンクに貯留された前記冷却液の温度を測定する温度センサと、
を備える、
請求項１に記載の温度調整システム。
【請求項３】
前記回収路における前記回収路と前記バイパス路との第２接続部よりも前記チャックに近い側に配置され、前記第２貯溜タンクと調整路を介して接続された調整部を備え、
前記調整部は、前記チャックの温度と、前記温度センサの測定結果とに基づいて、前記回収路から流入する前記冷却液のうち前記調整路を介して前記第２貯溜タンクに供給する前記冷却液の量を調整する、
請求項２に記載の温度調整システム。
【請求項４】
前記チャックを有するプローバと、
前記バイパス路、前記切替部、前記第２貯溜タンク、前記加熱部、前記温度センサ、前記調整部および前記調整路を有し、前記プローバおよび前記冷却ユニットと分離可能に設けられた循環ユニットと、
を備える、
請求項３に記載の温度調整システム。
【請求項５】
互いに分離可能な前記プローバと前記循環ユニットを有する組が複数設けられ、
前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液は、複数の組のそれぞれに独立して供給されるとともに、前記冷却ユニットにそれぞれ回収される、
請求項４に記載の温度調整システム。
【請求項６】
流入した冷却液を冷却する冷却ユニットと、チャックを有するプローバとにそれぞれ分離可能に設けられ、
前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記チャックに供給される供給路の一部と、
前記チャックから流出された前記冷却液が前記冷却ユニットに回収される回収路の一部と、
前記供給路の一部と前記回収路の一部とを接続するバイパス路と、
前記供給路の一部と前記バイパス路との第１接続部に設けられ、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記バイパス路を経由せずに前記供給路、前記チャックおよび前記回収路を循環する第１循環路と、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記チャックを経由せずに前記供給路、前記バイパス路および前記回収路を循環する第２循環路とを切り替える切替部と、
前記供給路の一部における前記第１接続部よりも前記チャックに近い側に配置され、前記供給路を介して供給される前記冷却液を貯溜可能な第２貯溜タンクと、
前記第２貯溜タンクに貯留された前記冷却液を加熱する加熱部と、
前記第２貯溜タンクに貯留された前記冷却液の温度を測定する温度センサと、
を備える、循環ユニット。
【請求項７】
前記回収路の一部と前記バイパス路との第２接続部よりも前記チャックに近い側に配置され、前記第２貯溜タンクと調整路を介して接続された調整部を備え、
前記調整部は、前記チャックの温度と、前記温度センサの測定結果とに基づいて、前記回収路から流入する前記冷却液のうち前記調整路を介して前記第２貯溜タンクに供給する前記冷却液の量を調整する、
請求項６に記載の循環ユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度調整システムおよび循環ユニットに関するものである。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、半導体ウェーハに各種の処理を施して、デバイスを有する複数のチップを形成する。各チップは電気的特性が検査され、その後ダイサーで分断された後、リードフレーム等に固定されて組み立てられる。電気的特性の検査は、テスタを備えたプローバによって実施される。プローバは、ウェーハをウェーハチャック保持させて、各チップの電極パッドにプローブを接触させる。テスタは、プローブに接続される端子から電源及び各種の試験信号をチップに供給し、チップの電極に出力される信号を解析することにより正常に動作するかを確認する。
【０００３】
近年のプローバによるウェーハ検査では、測定時間の短縮及びテストコストを低減するため、同時測定するチップ数が増大している。その際、１個のチップでは発熱量の小さいＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）又はフラッシュメモリ等のデバイスであっても、同時測定数が多くなることによってその発熱量が大きくなっている。そのため、上昇した温度を設定温度に戻すために、冷却液を流してチャックを冷却する必要がある。
【０００４】
特許文献１には、熱交換機等を有する冷却液源、冷却液源からチャック冷却液経路に冷却液を供給する供給経路、チャック冷却液経路から冷却液源に冷却液を回収する回収経路を含む循環流路を有し、冷却液が循環することによってチャックを冷却する冷却システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１８０４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の冷却システムでは、チャックの温度が上昇した際に冷却液源において冷却に必要な温度の冷却液を生成するため、チャックにおいて急冷を必要とする場合に時間が掛かるという問題が生じる。
【０００７】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、チャックを迅速に冷却することができる温度調整システムおよび温度調整システムに用いて好適な循環ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は下記の第1の態様を有する。
ウェーハを保持するチャックを有するプローバ用温度調整システムであって、
流入した冷却液を冷却する冷凍機と、前記冷凍機に対して前記冷却液の流出側に配置され、前記冷凍機で冷却された前記冷却液を貯溜可能な貯溜タンクと、を有する冷却ユニットと、
前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液を前記チャックに供給する供給路と、
前記チャックから流出された前記冷却液が前記冷却ユニットに回収される回収路と、
前記供給路と前記回収路とを接続するバイパス路と、
前記供給路と前記バイパス路との第１接続部に設けられ、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記バイパス路を経由せずに前記供給路、前記チャックおよび前記回収路を循環する第１循環路と、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記チャックを経由せずに前記供給路、前記バイパス路および前記回収路を循環する第２循環路とを切り替える切替部と、
を備える、温度調整システム。
【０００９】
本発明は下記の第２の態様を有する。
流入した冷却液を冷却する冷却ユニットと、チャックを有するプローバとにそれぞれ分離可能に設けられ、
前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記チャックに供給される供給路の一部と、
前記チャックから流出された前記冷却液が前記冷却ユニットに回収される回収路の一部と、
前記供給路の一部と前記回収路の一部とを接続するバイパス路と、
前記供給路の一部と前記バイパス路との第１接続部に設けられ、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記バイパス路を経由せずに前記供給路、前記チャックおよび前記回収路を循環する第１循環路と、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却液が前記チャックを経由せずに前記供給路、前記バイパス路および前記回収路を循環する第２循環路とを切り替える切替部と、
前記供給路の一部における前記第１接続部よりも前記チャックに近い側に配置され、前記供給路を介して供給される前記冷却液を貯溜可能な第２貯溜タンクと、
前記第２貯溜タンクに貯留された前記冷却液を加熱する加熱部と、
前記第２貯溜タンクに貯留された前記冷却液の温度を測定する温度センサと、
を備える、循環ユニット。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、チャックを迅速に冷却することができる温度調整システムおよび循環ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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