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公開番号2025151660
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024053199
出願日2024-03-28
発明の名称面取り装置、及び、面取り方法
出願人株式会社東京精密
代理人スプリング弁理士法人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】優れた形状精度、又は、表面品質を有する面取り加工済みウェーハを提供する面取り装置の提供。
【解決手段】ウェーハの周縁を所定形状に研削する面取り装置100であって、第1軸を中心に回転し、周縁を前記ウェーハの周縁に当接させて研削する研削砥石16と、第2軸を中心に回転し、周縁を前記研削砥石の周縁に当接させて、前記研削砥石の周縁の形状を整える工具2と、前記工具の周縁と前記研削砥石の周縁との当接位置の移動の軌跡が、前記所定形状と同一となるよう、前記工具と前記研削砥石との相対位置を調整する制御装置30と、を備える面取り装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの周縁を所定形状に研削する面取り装置であって、
第１軸を中心に回転し、周縁を前記ウェーハの周縁に当接させて研削する研削砥石と、
第２軸を中心に回転し、周縁を前記研削砥石の周縁に当接させて、前記研削砥石の周
縁の形状を整える工具と、
前記工具の周縁と前記研削砥石の周縁との当接位置の移動の軌跡が、前記所定形状と同一となるよう、前記工具と前記研削砥石との相対位置を調整する制御装置と、を備える面取り装置。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記研削砥石は、周縁に沿って、溝を備え、
前記溝の形状を前記ウェーハの周縁に転写して、前記ウェーハが面取りされる、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項３】
前記工具は、厚みが前記溝の幅より小さくされ、周縁に砥粒層が形成された金属ブレードである、請求項２に記載の面取り装置。
【請求項４】
スイベル機構を備え、
前記スイベル機構は、前記第２軸の傾きを変更可能に構成される、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項５】
前記制御装置は、前記スイベル機構を制御して、前記第２軸を、前記第１軸と平行とし、前記工具を前記研削砥石に当接させる、請求項４に記載の面取り装置。
【請求項６】
前記制御装置は、少なくとも前記工具の径方向の大きさに基づき前記相対位置を調整する、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項７】
前記工具は、周縁に、砥粒層が形成された金属ブレードであり、前記砥粒層は、電鋳法で形成されたものである、請求項５に記載の面取り装置。
【請求項８】
定常状態において、前記第２軸、前記第１軸、及び、前記ウェーハの回転軸が、この順に、平面視で同一軸上に配置される、請求項１に記載の面取り装置。
【請求項９】
第２軸を中心に工具を回転し、前記工具の周縁を研削砥石の周縁に当接させて、前記研削砥石の周縁の形状を整えることと、
前記研削砥石の周縁をウェーハの周縁に当接させて前記ウェーハの周縁を所定形状に研削することと、を含む面取り方法であって、
前記研削砥石の周縁の形状は、前記工具の周縁と前記研削砥石の周縁との当接位置の移動の軌跡が、前記所定形状と同一となるよう、前記工具と前記研削砥石との相対位置を調整しながら整えられる、面取り方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、面取り装置、及び、面取り方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、板状の被加工材の端面を砥石の溝で面取り加工する面取り装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１６７３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の面取り装置では、被加工材の端面に研削砥石の溝の形状を転写して面取りが行われる。被加工材の端面の形状は、研削砥石の溝の形状を介して、間接的に調整される。そのため、形状の変更のための手順が煩雑であった。更に、各種砥石等と溝との形状の転写が幾度も行われるため、形状精度の管理にも煩雑さがあった。
【０００５】
これに対して、溝形状の異なる研削砥石を交換する方法もあるが、コストの増大にもつながる。また、交換用の予備の研削砥石の溝の形状は、使用されていない間に、所定の形状からズレが生ずる（形崩れが起こる）可能性があった。この場合、結局、溝の形状調整が必要になることがあった。
【０００６】
本開示は、従来技術が有する課題の少なくとも１つを解決する。本開示は、優れた形状精度、又は、表面品質を有する面取り加工済みウェーハを提供する面取り装置を提供し得る。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の第１の面取り装置は、ウェーハの周縁を所定形状に研削する面取り装置であって、第１軸を中心に回転し、周縁を前記ウェーハの周縁に当接させて研削する研削砥石と、第２軸を中心に回転し、周縁を前記研削砥石の周縁に当接させて、前記研削砥石の周縁の形状を整える工具と、前記工具の周縁と前記研削砥石の周縁との当接位置の移動の軌跡が、前記所定形状と同一となるよう、前記工具と前記研削砥石との相対位置を調整する制御装置と、を備える面取り装置である。
【０００８】
本開示の第２の面取り装置は、第１の面取り装置において、前記研削砥石は、周縁に沿って、溝を備え、前記溝の形状を前記ウェーハの周縁に転写して、前記ウェーハが面取りされる、面取り装置である。
【０００９】
本開示の第３の面取り装置は、第２の面取り装置において、前記工具は、厚みが前記溝の幅より小さくされ、周縁に砥粒層が形成された金属ブレードである、面取り装置である。
【００１０】
本開示の第４の面取り装置は、第１の面取り装置において、スイベル機構を備え、前記スイベル機構は、前記第２軸の傾きを変更可能に構成される、面取り装置である。
（【００１１】以降は省略されています）

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