特許ウォッチ

公開番号2025148922
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-08
出願番号2024049286
出願日2024-03-26
発明の名称ウェーハセンシング装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/67 20060101AFI20251001BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハのロードに必要なアームの種類を選択して提案できるウェーハセンシング装置を提供する。
【解決手段】ウェーハセンシング装置1は、データ取得部2と、フィードバック部3と、データ蓄積部4と、提案部5と、を備える。データ取得部2は、ウェーハWを撮像して測定データを取得する。フィードバック部3は、ウェーハWをロードする際に、測定データに基づいてアームの挿入高さ及びアームの持ち上げ量を設定してフィードバックする。データ蓄積部4は、測定データ、アームによるロードの成功の是非、及びロードの際に用いるアームの種類をビッグデータとして蓄積する。提案部5は、ウェーハWのロードが失敗した場合に、ビッグデータに基づいてロードに適切なアームの種類を提案する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
カセット内に配列されたウェーハを撮像し、撮像データを用いてウェーハの測定データを取得するデータ取得部と、
前記カセット内から前記ウェーハを搬送ロボットのアームでロードする際に、前記測定データに基づいて前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量を設定して前記搬送ロボットにフィードバックするフィードバック部と、
前記測定データ、前記アームによる前記ロードの成功の是非、及び前記ロードの際に用いる前記アームの種類をビッグデータとして蓄積するデータ蓄積部と、
前記アームによる前記ウェーハの前記ロードが失敗した場合に、前記ビッグデータに基づいて前記ウェーハの前記ロードに適切な前記アームの種類を提案する提案部と、を備える、
ことを特徴とするウェーハセンシング装置。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記フィードバック部は、
前記カセットに配列された前記ウェーハにおいて一枚ごとに前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量を設定する、
ことを特徴とする請求項１に記載のウェーハセンシング装置。
【請求項３】
前記フィードバック部は、
前記ウェーハ間に適切な距離が存在せず、前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量を設定して前記搬送ロボットにフィードバックできない場合、前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量をフィードバックできるように前記ウェーハの入れ替えを提案する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハセンシング装置。
【請求項４】
カセット内に配列されたウェーハを撮像し、撮像データを用いてウェーハの形状、厚さを測定データとして取得するデータ取得部と、
前記カセット内から前記ウェーハを搬送ロボットのアームでロードする際に、前記測定データに基づいて前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量を設定して前記搬送ロボットにフィードバックするフィードバック部と、
前記測定データ、前記アームによる前記ロードの成功の是非、及び前記ロードの際に用いる前記アームの種類をビッグデータとして蓄積するデータ蓄積部と、
前記アームによる前記ウェーハの前記ロードが失敗した場合に、前記ビッグデータに基づいて前記ウェーハの前記ロードに適切な前記アームの種類を提案する提案部と、を備え、
前記フィードバック部は、
前記カセット内に配列されたウェーハを撮像するカメラでセンシングをおこなった際に、前記ウェーハに異常がある場合に異常を通知する、
ことを特徴とするウェーハセンシング装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハセンシング装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコン等のウェーハは、例えば、カセット内に配置されて半導体製造装置に接続され、カセットと半導体製造装置との間で搬送ロボット等のアームにより受け渡される。以下、アームによるウェーハの受け渡しを「ロード」ということがある。ここで、ウェーハを搬送ロボットでロードする際に、ウェーハの配置状態をウェーハマッピング装置によるマッピング処理により確認している。
マッピング処理用の装置として、例えば、カセットを挟むように光源と受光素子とを配置し、光源からの光を受光素子で受光し、受光した受光強度によりウェーハの有無を判別するウェーハマッピング装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、マッピング処理用の装置として、例えば、マッピングセンサを用いたウェーハマッピング情報とカメラを用いたウェーハの撮像データを比較し、ウェーハの有無や異常を検知するウェーハマッピング装置が知られている（例えば、特許文献２参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１９８３８１号公報
特開２０１３－４９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のウェーハマッピング装置は、ウェーハで遮光している間を受光素子でウェーハ有と認識する。このため、例えば、ウェーハに反りや垂れがある場合、ウェーハ厚さや位置を正確に測定することは困難である。
また、特許文献２のウェーハマッピング装置は、例えば、ウェーハの反りや垂れを測定できた場合でも、ウェーハの撮像データを蓄積して、ウェーハのロードに必要なアームの種類を選択して提案することができない。このため、ウェーハの形状とアームの相性によりウェーハのロードが失敗する問題がある。
【０００６】
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、ウェーハのロードに必要なアームの種類を選択して提案できるウェーハセンシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
＜１＞本発明の一態様に係るウェーハセンシング装置は、カセット内に配列されたウェーハを撮像し、撮像データを用いてウェーハの測定データを取得するデータ取得部と、前記カセット内から前記ウェーハを搬送ロボットのアームでロードする際に、前記測定データに基づいて前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量を設定して前記搬送ロボットにフィードバックするフィードバック部と、前記測定データ、前記アームによる前記ロードの成功の是非、及び前記ロードの際に用いる前記アームの種類をビッグデータとして蓄積するデータ蓄積部と、前記アームによる前記ウェーハの前記ロードが失敗した場合に、前記ビッグデータに基づいて前記ウェーハの前記ロードに適切な前記アームの種類を提案する提案部と、を備えている。
【０００８】
ウェーハセンシング装置によれば、カセット内に配列されたウェーハを撮像し、撮像データを用いてウェーハの形状、厚さを測定データとして取得する。測定データを取得した状態において、アームでロードする際に、測定データに基づいてアームの挿入高さ及びアームの持ち上げ量を設定する。設定したアームの挿入高さ及びアームの持ち上げ量を搬送ロボットにフィードバックして、設定したアームの挿入高さ及びアームの持ち上げ量に基づいてアームによるウェーハのロードを開始する。
測定データ、アームによるロードの成功の是非、及びロードの際に用いるアームの種類をビッグデータとして蓄積する。これにより、アームによるウェーハのロードが失敗した場合に、ビッグデータに基づいてウェーハのロードに適切なアームの種類を提案できる。
【０００９】
＜２＞上記＜１＞に係るウェーハセンシング装置では、前記フィードバック部は、前記カセットに配列された前記ウェーハにおいて一枚ごとに前記アームの挿入高さ及び前記アームの持ち上げ量を設定してもよい。
【００１０】
ウェーハセンシング装置によれば、アームの挿入高さ及びアームの持ち上げ量をウェーハの一枚ごとに設定する。これにより、全てのウェーハをアームでロードすることが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許