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公開番号2025154643
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057758
出願日2024-03-29
発明の名称吸着装置及び研削装置
出願人株式会社東京精密
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】吸着体の孔の詰まりを抑制する。
【解決手段】吸着装置12では、ポーラスチャック18が第1吸引路30に吸引されて、ポーラスチャック18にワークWが吸着されると共に、スペーサリング22が第2吸引路34に吸引されて、スペーサリング22にダイシングフレーム46が吸着される。このため、ワークWの研削屑が第2吸引路34に侵入しても、第2吸引路34の研削屑がポーラスチャック18に到達しないため、ポーラスチャック18の気孔が研削屑により詰まることを抑制できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
内周側及び外周側にそれぞれ孔を有する吸着体及び吸着部が設けられ、ダイシングテープの内周側及び外周側にそれぞれワーク及びダイシングフレームが貼付されるワーク体が載置される吸着台と、
前記吸着体に連通され、前記吸着体が吸引されて前記吸着体に前記ダイシングテープを介して前記ワークが吸着される第１吸引路と、
前記第１吸引路とは別路にされて前記吸着部に連通され、前記吸着部が吸引されて前記吸着部に前記ダイシングテープを介して前記ダイシングフレームが吸着される第２吸引路と、
を備える吸着装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記吸着体に連通され、前記吸着体に流体が供給される第１供給路と、
前記第１供給路とは別路にされて前記吸着部に連通され、前記吸着部に流体が供給される第２供給路と、
を備える請求項１記載の吸着装置。
【請求項３】
前記第１吸引路の第１吸引バルブより前記吸着体側と前記第１供給路の第１供給バルブより前記吸着体側とが同一路にされて前記吸着体に連通されると共に、前記第２吸引路の第２吸引バルブより前記吸着部側と前記第２供給路の第２供給バルブより前記吸着部側とが同一路にされて前記吸着部に連通される請求項２記載の吸着装置。
【請求項４】
前記第１吸引路の第１吸引バルブより吸引源側と前記第２吸引路の第２吸引バルブより前記吸引源側とが同一路にされて前記吸引源に連通されると共に、前記第１供給路の第１供給バルブより供給源側と前記第２供給路の第２供給バルブより前記供給源側とが同一路にされて前記供給源に連通される請求項２記載の吸着装置。
【請求項５】
前記吸着部の孔が前記吸着体の孔に比し大きくされる請求項１記載の吸着装置。
【請求項６】
前記吸着体の上面が前記吸着部の上面に対し上側に配置される請求項１記載の吸着装置。
【請求項７】
請求項１記載の吸着装置と、
前記吸着体に吸着される前記ワークを研削する研削機構と、
を備える研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク及びダイシングフレームが吸着される吸着装置及び当該吸着装置を備える研削装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に記載の研削装置では、粘着テープの内周側及び外周側にそれぞれウエーハ及びリングフレームが貼付されており、保持手段のウエーハ保持部及びリングフレーム保持部が吸引路を介して吸引されて、ウエーハ保持部及びリングフレーム保持部にそれぞれウエーハ及びリングフレームが吸着される。
【０００３】
ここで、この研削装置では、ウエーハ保持部及びリングフレーム保持部に吸引路が連通されている。このため、仮にリングフレーム保持部から吸引路に異物が侵入すると、ウエーハ保持部の吸引路を介する吸引が解除される際に、吸引路の異物がウエーハ保持部に到達する可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－１９６７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事実を考慮し、吸着体の孔の詰まりを抑制できる吸着装置及び研削装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様の吸着装置は、内周側及び外周側にそれぞれ孔を有する吸着体及び吸着部が設けられ、ダイシングテープの内周側及び外周側にそれぞれワーク及びダイシングフレームが貼付されるワーク体が載置される吸着台と、前記吸着体に連通され、前記吸着体が吸引されて前記吸着体に前記ダイシングテープを介して前記ワークが吸着される第１吸引路と、前記第１吸引路とは別路にされて前記吸着部に連通され、前記吸着部が吸引されて前記吸着部に前記ダイシングテープを介して前記ダイシングフレームが吸着される第２吸引路と、を備える。
【０００７】
本発明の第２態様の吸着装置は、本発明の第１態様の吸着装置において、前記吸着体に連通され、前記吸着体に流体が供給されて前記吸着体への前記ワークの吸着が解除される第１供給路と、前記第１供給路とは別路にされて前記吸着部に連通され、前記吸着部に流体が供給されて前記吸着部への前記ダイシングフレームの吸着が解除される第２供給路と、を備える。
【０００８】
本発明の第３態様の吸着装置は、本発明の第２態様の吸着装置において、前記第１吸引路の第１吸引バルブより前記吸着体側と前記第１供給路の第１供給バルブより前記吸着体側とが同一路にされて前記吸着体に連通されると共に、前記第２吸引路の第２吸引バルブより前記吸着部側と前記第２供給路の第２供給バルブより前記吸着部側とが同一路にされて前記吸着部に連通される。
【０００９】
本発明の第４態様の吸着装置は、本発明の第２態様又は第３態様の吸着装置において、前記第１吸引路の第１吸引バルブより吸引源側と前記第２吸引路の第２吸引バルブより前記吸引源側とが同一路にされて前記吸引源に連通されると共に、前記第１供給路の第１供給バルブより供給源側と前記第２供給路の第２供給バルブより前記供給源側とが同一路にされて流体の前記供給源に連通される。
【００１０】
本発明の第５態様の吸着装置は、本発明の第１態様～第４態様の何れか１つの吸着装置において、前記吸着部の孔が前記吸着体の孔に比し大きくされる。
（【００１１】以降は省略されています）

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