特許ウォッチ

公開番号2025136636
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035347
出願日2024-03-07
発明の名称加工装置
出願人株式会社東京精密
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類B24B 7/00 20060101AFI20250911BHJP(研削;研磨)
要約【課題】チャックテーブルや研削部の剛性に拘わらず、チャックテーブルと研削部との間の位置関係の変動を抑制する。
【解決手段】この加工装置1は、略円板形状のワークWを回転可能に支持するチャックテーブル12と、チャックテーブル12を、チャックテーブル12の傾斜角を調整可能に支持する傾斜角調整部80と、ワークWを研削する砥石を回転可能に保持する研削部40,50と、研削部40,50を、研削部40、50の傾斜角を調整可能に支持する傾斜角調整部90とを備える。チャックテーブル12の姿勢変動方向と、研削部40、50の姿勢変動方向とが一致するように、傾斜角調整部80及び傾斜角調整部90が構成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
略円板形状のワークを回転可能に支持するチャックテーブルと、
前記ワークを研削する砥石を回転可能に保持する研削部と、
前記チャックテーブルを支持する第１支持体で構成され、前記チャックテーブルの傾斜角を調整可能に支持するチャックテーブル支持機構と、
前記研削部を支持する第２支持体で構成され、前記研削部の傾斜角を調整可能に支持する研削部支持機構と
を備え、
前記チャックテーブルの姿勢変動方向と、前記研削部の姿勢変動方向とが一致するように、前記チャックテーブル支持機構及び前記研削部支持機構が構成されている、加工装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記第１支持体は複数の第１支持部を有し、
前記複数の第１支持部の支持反力の合力の作用点は、前記チャックテーブルの回転中心に対して偏心している、請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記研削部と前記チャックテーブルとは、前記砥石が前記ワークに接触する円弧状部分を含む加工領域の両端部を除く部分に、前記複数の支持部の支持反力の合力の作用点が含まれるように構成される、請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
前記第１支持体は、複数の第１支持部を有し、
前記第２支持体は、複数の第２支持部を有し、
前記チャックテーブル支持機構、及び前記研削部支持機構は、
前記チャックテーブルの姿勢変動方向と、前記研削部の姿勢変動方向が一致するような前記複数の第１支持部の位置及び支持剛性、並びに前記第２支持部の位置及び支持剛性を有している、請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等のワークを研削加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という）を薄く形成するために、ウェハの裏面を研削する裏面研削が行われている。例えば、特許文献１には、回転可能なチャックテーブル上に搭載されたウェハを、チャックテーブルの上方において回転可能に配置された砥石により研削するインフィード研削装置が開示されている。インフィード研削装置では、研削前にウェハの厚み形状を測定し、その結果に従ってチャックテーブルの傾斜量と砥石の傾斜量を調整し、砥石のエッジの円弧状の部分をウェハに押し当てて研削を実行する。
【０００３】
上述した加工装置では、加工中におけるチャックテーブルや研削部の姿勢の変動を抑制することが求められる。従来、姿勢の変動のためには、チャックテーブルや研削部の剛性の向上を図るための技術が提案されている。しかし、チャックテーブルや研削部の剛性を高めることには限界があり、また剛性を高めることはコストの増大にも繋がる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－２０１４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、チャックテーブルや研削部の剛性に拘わらず、チャックテーブルと研削部との間の位置関係の変動を抑制し、これにより加工の更なる高精度化と、面内厚み変動（ＴＴＶ）の向上を図ることができる加工装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る加工装置は、略円板形状のワークを回転可能に支持するチャックテーブルと、前記ワークを研削する砥石を回転可能に保持する研削部と、前記チャックテーブルを支持する第１支持体で構成され、前記チャックテーブルの傾斜角を調整可能に支持するチャックテーブル支持機構と、前記研削部を支持する第２支持体で構成され、前記研削部の傾斜角を調整可能に支持する研削部支持機構とを備える。前記チャックテーブルの姿勢変動方向と、前記研削部の姿勢変動方向とが一致するように、前記チャックテーブル支持機構及び前記研削部支持機構が構成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、チャックテーブルと研削部とで加工時における姿勢変動方向が略一致しているため、傾斜が変化しても研削部とチャックテーブルとの間の位置関係に大きな影響を与えない。このため、チャックテーブルや研削部の剛性に拘わらず、チャックテーブルと研削部との間の位置関係の変動を抑制し、これにより加工の更なる高精度化と、面内厚み変動（ＴＴＶ）の向上を図ることができる加工装置を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１の実施の形態に係るウェハ研削加工装置１の概略構成を説明する斜視図である。
第１の実施の形態に係るウェハ研削加工装置１のインデックステーブル１１及びチャックテーブル１２の構成を説明する平面図である。
第１の実施の形態に係るウェハ研削加工装置１の加工装置１の制御部１００の構成を説明するブロック図である。
チャックテーブル１２、粗研削部４０又は精研削部５０について説明する概略斜視図である。
チャックテーブル１２、粗研削部４０又は精研削部５０について説明する概略平面図である。
比較例に係る加工装置の問題点を説明する概略図である。
第１の実施の形態の加工装置１の利点を説明する概略図である。
第２の実施の形態の加工装置１の構成を説明する概略図である。
本発明の実施の形態の変形例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して本実施形態について説明する。添付図面は本開示の原理に則った実施形態を示しているが、これらは本開示の理解のためのものであり、決して本開示を限定的に解釈するために用いられるものではない。本明細書の記述は典型的な例示に過ぎず、本開示の特許請求の範囲又は適用例を如何なる意味においても限定するものではない。
【００１０】
本実施形態では、当業者が本開示を実施するのに十分詳細にその説明がなされているが、他の実装・形態も可能で、本開示の技術的思想の範囲と精神を逸脱することなく構成・構造の変更や多様な要素の置き換えが可能であることを理解する必要がある。従って、以降の記述をこれに限定して解釈してはならない。
（【００１１】以降は省略されています）

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