特許ウォッチ

公開番号2025156377
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-14
出願番号2025119952,2024096639
出願日2025-07-16,2019-11-29
発明の名称加工品質測定装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B24B 49/12 20060101AFI20251002BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ワークに形成された被加工部の加工品質を精度良く測定することができる加工品質測定装置を提供する。
【解決手段】加工ヘッドと一体に設けられた白色干渉計24であって、ワークWに形成されている被加工部に向けて白色光を出射し且つ被加工部で反射された白色光と参照面で反射された白色光との干渉信号を検出する白色干渉計24と、相対移動機構49を駆動して、加工ヘッド及び白色干渉計24の垂直走査を実行して、被加工部で反射される白色光の光路長を変化させる走査制御部(移動制御部72)と、垂直走査の間に白色干渉計24から出力される干渉信号に基づき、被加工部の加工品質を測定する加工品質測定部82と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された前記ワークの加工を行う加工ヘッドと、
前記テーブルに対して前記加工ヘッドを相対移動させる相対移動機構と、
を備えるワーク加工装置により前記ワークに形成された被加工部の加工品質を測定する加工品質測定装置において、
前記加工ヘッドと一体に設けられた白色干渉計であって、前記ワークに形成されている被加工部に向けて白色光を出射し且つ前記被加工部で反射された前記白色光と参照面で反射された前記白色光との干渉信号を検出する白色干渉計と、
前記相対移動機構を駆動して、前記加工ヘッド及び前記白色干渉計を前記テーブルに対して垂直な方向に一体に相対移動させる垂直走査を実行して、前記被加工部で反射される前記白色光の光路長を変化させる走査制御部と、
前記垂直走査の間に前記白色干渉計から出力される前記干渉信号に基づき、前記被加工部の加工品質を測定する加工品質測定部と、
を備える加工品質測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの加工を行うワーク加工装置、ワーク加工装置の制御方法、及びこのワーク加工装置に接続されたサーバに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
スピンドルによって高速に回転される円盤状のブレードによってウェーハ等のワークを切削加工するダイシング装置（ワーク加工装置）が知られている。このダイシング装置のブレードは使用により磨耗するため、ブレードによるワークの切断面にチッピングが生じる場合がある。また、ブレードの熱変形の影響を受けて、ブレードによりワークに形成された溝（カーフ）の位置がストリートの中心からずれる場合がある。このためダイシング装置では、予め設定されたタイミングでブレードのカーフチェックを実施している。例えばダイシング装置では、ブレードによりワークに形成された溝をカメラ（アライメント用の顕微鏡等）で撮影し、このカメラの撮影画像に基づき溝のカーフ位置、カーフ幅、及びチッピングの有無等を計測している（特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、ダイシング装置として、ブレードが装着されるスピンドルを２本備えたツインスピンドルダイサが知られている。そして、ツインスピンドルダイサによりワークを切削又は切断する方式としてミーティング切削方式とステップカット方式とが知られている。ミーティング切削方式は、２枚のブレードによって一度に２本のストリートを切断する方式である。また、ステップカット方式は、第１ブレードでストリートに沿って所定深さの溝を切削し、その後、第２ブレードでその溝の底部を切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断する方式である。
【０００４】
ステップカット方式を採用するツインスピンドルダイサの２つのブレードのカーフチェックを行う方法として、以下の２つの方法が知られている。第１の方法では、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削された溝をカメラで撮影してこの溝の撮影画像に基づき第１ブレードのカーフチェックを実施する。次いで、その第１ブレードで切削した溝の底部を第２ブレードで切削し、第２ブレードで切削した溝をカメラで撮影してこの溝の撮影画像に基づき第２のブレードのカーフチェックを実施する。
【０００５】
第２の方法では、ワークの未切削箇所を第１ブレードによって切削加工するとともに、ワークの別の未切削箇所を第２ブレードによって切削加工し、各ブレードにより形成された２本の溝をカメラでそれぞれ撮影した撮影画像に基づき、各ブレードのカーフチェックを行う（特許文献２参照）。この第２の方法のカーフチェックは、ステップカーフチェック又は追い越しカーフチェックともいう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１１－１６５８２６号公報
特開２００１－１２９８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図３４は、上記第１の方法のカーフチェックの課題を説明するための説明図である。図３４に示すように、第１の方法でカーフチェックを行う場合には、第２ブレードでワークＷに形成した溝２５Ｂが第１ブレードでワークＷに形成した溝２５Ａに重なるため、溝２５Ｂの撮影画像に基づいた溝２５Ｂの加工品質（カーフ位置及びカーフ幅等）の判別が困難である。その結果、第２ブレードのカーフチェックが極めて困難であるという欠点がある。
【０００８】
図３５は、上記第２の方法のカーフチェックの課題を説明するための説明図である。図３５に示すように、第２の方法でカーフチェックを行う場合には、第２ブレードでワークＷの未切削箇所を切削加工する必要があるが、第２ブレードは第１ブレードよりも厚みが薄いので第２ブレードで未切削箇所を切削加工すると、この第２ブレードへの負荷が大きくなる。また、ステップカット時とカーフチェック時とにおいて第２ブレードによるワークの加工条件が異なるため、例えばカーフチェック時には第２ブレードがよれることでステップカット時とは異なる位置に溝２５Ｂが形成される可能性がある。すなわち、ステップカット時とカーフチェック時とにおいて同一位置に溝２５Ｂが形成されない可能性があり、その結果、ステップカット時の溝２５Ｂの加工品質を正確に測定することができない可能性がある。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ワークに形成された被加工部の加工品質を精度良く測定することができるワーク加工装置、このワーク加工装置の制御方法、及びこのワーク加工装置に接続されたサーバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の目的を達成するためのワーク加工装置は、平板状のワークを保持するテーブルと、テーブルに保持されたワークの加工を行う加工ヘッドと、テーブルに対して加工ヘッドを相対移動させる相対移動機構と、加工ヘッドと一体に設けられた白色干渉計であって、ワークに形成されている被加工部に向けて白色光を出射し且つ被加工部で反射された白色光と参照面で反射された白色光との干渉信号を画素ごとに検出する白色干渉計と、相対移動機構を駆動して、加工ヘッド及び白色干渉計をテーブルに対して垂直な方向に一体に相対移動させる垂直走査を実行する走査制御部と、垂直走査の間に白色干渉計から出力される画素ごとの干渉信号に基づき、被加工部の加工品質を測定する加工品質測定部と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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