特許ウォッチ

公開番号2025154642
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057757
出願日2024-03-29
発明の名称テープ貼付装置
出願人株式会社東京精密
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークへのテープ材の貼付工程を短縮する。
【解決手段】テープ貼付装置10では、テープ材18がワークに貼付されて、テープ材18のダイシングテープ18Aがテープ材18のダイアタッチフィルム18BによってワークWに貼着される。ここで、温風装置38がテープ材18を加温する。このため、ダイアタッチフィルム18Bの加温速度を高くできて、ダイアタッチフィルム18Bを加温する時間を短くでき、ワークへのテープ材の貼付工程を短縮できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ダイシングテープに接着層が一体に設けられるテープ材をワークに貼付して前記ワークに前記接着層によって前記ダイシングテープが貼着される貼付機構と、
前記テープ材を加温する加温機構と、
を備えるテープ貼付装置。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
前記加温機構が温風を前記テープ材に送風して前記テープ材を加温する請求項１記載のテープ貼付装置。
【請求項３】
前記貼付機構に設けられ、前記貼付機構が前記ワークに前記テープ材を貼付する前に前記テープ材の前記接着層側の剥離材を剥離すると共に、前記加温機構が前記テープ材を加温する剥離部材を備える請求項１記載のテープ貼付装置。
【請求項４】
前記貼付機構に設けられ、前記テープ材を前記ワークに押圧して前記テープ材が前記ワークに貼付されると共に、前記加温機構が前記テープ材を加温する押圧部材を備える請求項１記載のテープ貼付装置。
【請求項５】
前記貼付機構が前記ワークに前記テープ材を貼付する際に前記ワークを保持すると共に、前記テープ材を冷却する保持体を備える請求項１記載のテープ貼付装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークにテープ材を貼付するテープ貼付装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に記載のウエハ固定装置では、ダイシングテープに粘着剤層が一体に設けられており、ウエハがウエハテーブルに保持される状態で、ウエハにダイシングテープが粘着剤層によって貼着される。
【０００３】
ここで、このウエハ固定装置では、ウエハテーブルがヒータによって加熱されて、ウエハを介して粘着剤層が加温されることで、粘着剤層が軟化されて、ウエハへのダイシングテープの粘着剤層による貼着力が高くされる。しかしながら、ウエハテーブルを加熱した場合、ダイシングテープが加温されるまで時間を要する上に、ダイシングテープが貼付されたウエハはウエハテーブルが適温になるまで次の処理を行うことができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００１－３０８０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事実を考慮し、ワークへのテープ材の貼付工程を短縮できるテープ貼付装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様のテープ貼付装置は、ダイシングテープに接着層が一体に設けられるテープ材をワークに貼付して前記ワークに前記接着層によって前記ダイシングテープが貼着される貼付機構と、前記テープ材を加温する加温機構と、を備える。
【０００７】
本発明の第２態様のテープ貼付装置は、本発明の第１態様のテープ貼付装置において、前記加温機構が温風を前記テープ材に送風して前記テープ材を加温する。
【０００８】
本発明の第３態様のテープ貼付装置は、本発明の第１態様又は第２態様のテープ貼付装置において、前記貼付機構に設けられ、前記貼付機構が前記ワークに前記テープ材を貼付する前に前記テープ材の前記接着層側の剥離材を剥離すると共に、前記加温機構が前記テープ材を加温する剥離部材を備える。
【０００９】
本発明の第４態様のテープ貼付装置は、本発明の第１態様～第３態様の何れか１つのテープ貼付装置において、前記貼付機構に設けられ、前記テープ材を前記ワークに押圧して前記テープ材が前記ワークに貼付されると共に、前記加温機構が前記テープ材を加温する押圧部材を備える。
【００１０】
本発明の第５態様のテープ貼付装置は、本発明の第１態様～第４態様の何れか１つのテープ貼付装置において、前記貼付機構が前記ワークに前記テープ材を貼付する際に前記ワークを保持すると共に、前記テープ材を冷却する保持体を備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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