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公開番号2025173012
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-27
出願番号2024078315
出願日2024-05-14
発明の名称ウェーハ及びウェーハの製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251119BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】センサを変更することなく検出でき、デバイスを形成するエリアを広げられるマークを備えたウェーハを提供する。
【解決手段】ウェーハ(10)の結晶方位を示すマークとして、該ウェーハの厚み方向で貫通する貫通孔(20)を備えるようにした。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの結晶方位を示すマークとして、該ウェーハの厚み方向で貫通する貫通孔を備える、ウェーハ。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
該ウェーハの外周縁に形成された面取り部に該貫通孔を備える、請求項１記載のウェーハ。
【請求項３】
該ウェーハの外周縁に形成された面取り部よりも内側で該ウェーハの外周部分に該貫通孔を備える、請求項１記載のウェーハ。
【請求項４】
該ウェーハは、外周縁に形成されたリング状の補強部と、該補強部よりも径方向の内側の凹部とを有し、該補強部に該貫通孔を備える、請求項１記載のウェーハ。
【請求項５】
ウェーハの結晶方位を示すマークとして、該ウェーハの外周縁に形成された面取り部に該ウェーハの径方向を深さとする凹部を備える、ウェーハ。
【請求項６】
インゴットをスライスしたスライスウェーハからウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、
該スライスウェーハの両面を平坦化する平坦化工程と、
該スライスウェーハの外形を整形し面取り部を形成する外形整形工程と、
該平坦化工程、または該外形整形工程、を経た該スライスウェーハの外周部分に厚み方向で貫通する貫通孔を形成するマーク形成工程と、を含む、ウェーハの製造方法。
【請求項７】
インゴットをスライスしたスライスウェーハからウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、
該スライスウェーハの両面を平坦化する平坦化工程と、
該スライスウェーハの外形を整形し面取り部を形成する外形整形工程と、
該平坦化工程、または該外形整形工程、を経た該スライスウェーハの外周部分に径方向を深さとする凹部を該面取り部に形成するマーク形成工程と、
を含む、ウェーハの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ及びウェーハの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２に開示のように、シリコンウェーハのような結晶体からなるウェーハには、結晶方位を示すマークとして、外周の一部を直線状に形成したオリエンテーションフラットや、外周の一部を切り欠いたノッチなどを形成している。また、特許文献３のように、この種のマークをウェーハの２か所に形成する場合がある。
【０００３】
ウェーハにおいて、オリエンテーションフラットやノッチの部分にはデバイスを形成できないため、オリエンテーションフラットやノッチに制約されて、デバイスを形成するエリアを広げられないという課題がある。この課題を解決するために、特許文献４に開示のように、ウェーハの内部（厚み方向の内側）に、結晶方位を示すマークを形成する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－００３７７３号公報
特開２０１０－２２１３９３号公報
特開２００２－１３４３７４号公報
特開２０１３－０５５１３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ウェーハの内部にマークを形成した場合、当該ウェーハの加工や処理を行う装置において、従来のオリエンテーションフラットやノッチの検出に利用していたセンサでは、マークを検出することができないため、センサを変更する必要があり、費用や手間がかかっていた。
【０００６】
従って、センサを変更することなく検出でき、デバイスを形成するエリアを広げられるマークを備えたウェーハと、そのウェーハの製造方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様のウェーハは、ウェーハの結晶方位を示すマークとして、該ウェーハの厚み方向で貫通する貫通孔を備える。
【０００８】
一例として、該ウェーハの外周縁に形成された面取り部に該貫通孔を備える。あるいは、該ウェーハの外周縁に形成された面取り部よりも内側で該ウェーハの外周部分に該貫通孔を備える。
【０００９】
該ウェーハは、外周縁に形成されたリング状の補強部と、該補強部よりも径方向の内側の凹部とを有し、該補強部に該貫通孔を備えてもよい。
【００１０】
本発明の一態様のウェーハは、ウェーハの結晶方位を示すマークとして、該ウェーハの外周縁に形成された面取り部に該ウェーハの径方向を深さとする凹部を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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