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公開番号2025174352
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-28
出願番号2024080652
出願日2024-05-17
発明の名称処理装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/12 20060101AFI20251120BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工室からミストを吸引する吸引ダクトと該吸引ダクトによって吸引するための吸引手段とを設けねばならず、また該吸引手段を常に稼働しなければならなりことから不経済であるという問題を解消できる処理装置を提供する。
【解決手段】ウエーハWを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハWに加工を施す加工工具83を備えた加工手段8と、ウエーハWを該加工工具で加工する領域に、加工水L1を供給する加工水供給手段30と、該チャックテーブルと該加工工具83とが含まれる領域を覆う加工室と、を備え、該加工室の上部に該加工工具83による加工の際に発生したミストを落下させるシャワー手段20が配設されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
処理装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工工具を備えた加工手段と、被加工物を該加工工具で加工する領域に、加工水を供給する加工水供給手段と、該チャックテーブルと該加工工具とが含まれる領域を覆う加工室と、を備え、
該加工室の上部に該加工工具による加工の際に発生したミストを落下させるシャワー手段が配設された処理装置。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
該加工室に配設され該加工水が該加工に使用された後の排水を受けて溜める排水パンと、該排水を貯水するタンクと、該排水パンに溜めた排水を該タンクに流す開閉弁を備えた配管と、該加工室への被加工物の搬送を許容すると共に該加工室を密閉する開閉部と、を備え、
該チャックテーブルに保持された被加工物を該加工手段で加工する際は、該開閉弁を閉にすると共に該開閉部を閉にして該加工室を密閉し、
該加工手段による加工が終了した際は、該シャワー手段を作動して該加工室に浮遊するミストを該排水パンに落下させ、
該排水パンに溜まった排水を該タンクに流す際は、該開閉弁を開にすると共に該開閉部を開にして、該排水パンに溜まった排水を該タンクに流すことで、該加工室に負圧を生成して、該開閉部から外気を取り込む請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
該排水パンに溜まった排水がオーバーフローしないように該排水パンと該タンクとをドレーンパイプで連結し、該ドレーンパイプには、該加工室に負圧を生成した際に、排水の逆流を防止する逆止弁が配設される請求項２に記載の処理装置。
【請求項４】
加工水供給手段は、該タンクに貯水された排水を純水に精製する純水精製手段と、精製された純水を所定の温度に調整して該加工手段に供給すると共に、該シャワー手段に供給する純水供給手段と、を備え、該加工手段と該タンクと該純水精製手段とで該加工水を循環させる請求項２に記載の処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削砥石で研削する領域に純水からなる研削水を加工水として供給する研削水供給手段と、加工領域を覆う加工室と、から概ね構成されていて、ウエーハを所望の厚みに研削することができる。
【０００４】
また、切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削ブレードで切削する領域に、純水からなる切削水を加工水として供給する切削水供給手段と、加工領域を覆う加工室と、から概ね構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる。
【０００５】
そして、上記したいずれの加工装置においても、加工室は、加工水の飛散によって生じるミストで満たされることから、該ミストが該加工装置の構成要素に付着して、錆びや故障等が発生することを回避すべく、該加工室から該ミストを吸引する吸引ダクトを配設すると共に、該吸引ダクトを介して該加工室から吸引したミストを、気液分離手段によって、気体と液体とを分離する処理装置が、本出願人により提案されている（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開第７１３９０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記した特許文献１に記載の技術では、加工室からミストを吸引する吸引ダクトと該吸引ダクトによって吸引するための吸引手段とが配設され、加工に使用された加工水、すなわち排水を貯水するタンクの液面に向けて該吸引ダクトの噴出口が位置付けられて、該ミストを液面に向けて噴射するように構成されている。このため、加工室からミストを除去すべく、常に該吸引手段を稼働させており、不経済であるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、加工室からミストを吸引する吸引ダクトと該吸引ダクトによって吸引するための吸引手段とを設けねばならず、また該吸引手段を常に稼働しなければならなりことから不経済であるという問題を解消できる処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、処理装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工工具を備えた加工手段と、被加工物を該加工工具で加工する領域に、加工水を供給する加工水供給手段と、該チャックテーブルと該加工工具とが含まれる領域を覆う加工室と、を備え、該加工室の上部に該加工工具による加工の際に発生したミストを落下させるシャワー手段が配設された処理装置が提供される。
【００１０】
該加工室に配設され該加工水が該加工に使用された後の排水を受けて溜める排水パンと、該排水を貯水するタンクと、該排水パンに溜めた排水を該タンクに流す開閉弁を備えた配管と、該加工室への被加工物の搬送を許容すると共に該加工室を密閉する開閉部と、を備え、該チャックテーブルに保持された被加工物を該加工手段で加工する際は、該開閉弁を閉にすると共に該開閉部を閉にして該加工室を密閉し、該加工手段による加工が終了した際は、該シャワー手段を作動して該加工室に浮遊するミストを該排水パンに落下させ、該排水パンに溜まった排水を該タンクに流す際は、該開閉弁を開にすると共に該開閉部を開にして、該排水パンに溜まった排水を該タンクに流すことで、該加工室に負圧を生成して、該開閉部から外気を取り込むことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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